技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供沉積源。作為示例，沉積源包括：收納沉積物質(zhì)的坩堝；布置在所述坩堝的外側(cè)并且以所述坩堝為中心彼此相隔開的第一加熱器和第二加熱器；以及在所述坩堝的下方以連續(xù)的形態(tài)布置于所述第一加熱器與所述第二加熱器之間并且與所述第一加熱器和所述第二加熱器結(jié)合的第一防止變形部件。

技術(shù)研發(fā)人員：薛在完;姜有珍;金東昱;尹日燮;車龍俊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三星顯示有限公司
文檔號(hào)碼：201610080804
技術(shù)研發(fā)日：2016.02.05
技術(shù)公布日：2017.02.15