技術總結
一種稀土鎳基氧化物多晶薄膜材料的制備方法，屬于無機非金屬薄膜材料領域，本發(fā)明是在襯底材料表面生長具有與稀土鎳基鈣鈦礦氧化物材料晶格參數相近的氧化物材料緩沖層；在緩沖層表面進一步利用真空沉積法沉積稀土鎳基鈣鈦礦氧化物薄膜。所述稀土鎳基鈣鈦礦氧化物材料的晶體結構為ABO3的鈣鈦礦結構ReNiO3：Re位為單一稀土元素或多種稀土元素的組合；所述緩沖層材料的組分優(yōu)選：鍶銣氧、鈦酸鍶、鑭摻雜鈦酸鍶、釹摻雜鈦酸鍶、鈦酸鋇、鈦酸鈣。本發(fā)明提供了一種簡便高效制備稀土鎳基鈣鈦礦氧化物多晶薄膜材料的方法，所制備的薄膜材料具有優(yōu)異的溫致與氫致性能，可以進一步應用于功能電子器件、燃料電池、紅外探測器件等領域。

技術研發(fā)人員：陳吉堃;姜勇;徐曉光;苗君;吳勇;孟康康
受保護的技術使用者：北京科技大學
文檔號碼：201611141905
技術研發(fā)日：2016.12.12
技術公布日：2017.03.08