本實用新型涉及一種靶材,具體地說是一種旋轉(zhuǎn)磁控多弧靶。
背景技術:
真空鍍膜采用的多弧靶,通常為圓形小平面靶,焊接的工作面積較小。工作時,由于焊接的工作面積小,使得單位面積轟擊電流較大,導致鍍膜層的金屬顆粒較為粗大,并且轟擊電流不均勻,使得焊接效果較差。嚴重時會出現(xiàn)金屬液滴,或者飛弧現(xiàn)象進而損壞工件。
技術實現(xiàn)要素:
本實用新型要解決的技術問題是提供轟擊電流均勻分布的旋轉(zhuǎn)磁控多弧靶。
為了解決上述技術問題,本實用新型采取以下方案:
一種旋轉(zhuǎn)磁控多弧靶,包括圓柱靶管,所述圓柱靶管上設有旋轉(zhuǎn)機構,該旋轉(zhuǎn)機構通過轉(zhuǎn)軸與圓柱靶管連接,圓柱靶管內(nèi)固定磁鐵極靴,該磁鐵極靴上設有磁鐵組,圓柱靶管內(nèi)設有冷卻水進管,該冷卻水進管穿出圓柱靶管外,旋轉(zhuǎn)機構上設有冷卻水出口,圓柱靶管上通過管路與冷卻水出口連接。
所述磁鐵組包括從左至右依次排列的S極磁鐵、N極磁鐵和S極磁鐵,N極磁鐵上端和下端各設一個S極磁鐵,各個磁鐵構成一個磁場回路。
所述磁鐵為鐵淦氧磁鐵。
所述旋轉(zhuǎn)機構設置在圓柱靶管的上方。
所述N極磁鐵兩側(cè)的S極磁鐵對稱分布。
所述磁鐵組呈“丁”字型。
本實用新型通過旋轉(zhuǎn)圓柱靶管,使轟擊弧斑線呈長橢圓形,弧斑線較長轟擊電流均勻分布,使得鍍膜層的金屬顆粒細小且均勻,消除了飛弧燒損工件的現(xiàn)象。
附圖說明
附圖1為本實用新型剖面結(jié)構示意圖;
附圖2為本實用新型磁鐵的分布示意圖;
附圖3為附圖1徑向剖面結(jié)構示意圖;
附圖4為本實用新型弧班線結(jié)構示意圖。
具體實施方式
為了便于本領域技術人員的理解,下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的描述。
如附圖1、2和3所示,本實用新型揭示了一種旋轉(zhuǎn)磁控多弧靶,包括圓柱靶管1,所述圓柱靶管1上設有旋轉(zhuǎn)機構2,該旋轉(zhuǎn)機構2通過轉(zhuǎn)軸與圓柱靶管連接,圓柱靶管1內(nèi)固定磁鐵極靴6,該磁鐵極靴6上設有磁鐵組5,圓柱靶管1內(nèi)設有冷卻水進管3,該冷卻水進管3穿出圓柱靶管1外,旋轉(zhuǎn)機構2上設有冷卻水出口4,圓柱靶管1上通過管路與冷卻水出口4連接。本實用新型中通過引入高達30A的多弧電流,保證穩(wěn)定工作。
磁鐵組5包括從左至右依次排列的S極磁鐵、N極磁鐵和S極磁鐵,N極磁鐵上端和下端各設一個S極磁鐵,各個磁鐵構成一個磁場回路,N極磁鐵兩側(cè)的S極磁鐵對稱分布。磁鐵組呈“丁”字型。磁鐵為鐵淦氧磁鐵。選擇磁場強度適中的鐵淦氧磁鐵,各個磁鐵構成一個閉合磁場回路,電焊時多弧電流保持在該磁場回路內(nèi)。通過該特定的磁鐵分布,形成長橢圓形的弧斑線。
旋轉(zhuǎn)機構2設置在圓柱靶管1的上方。該旋轉(zhuǎn)機構可以為一個電機及相應的連接機構,帶動圓柱靶管轉(zhuǎn)動?;蛘呤瞧渌愋偷男D(zhuǎn)機構,只要滿足能夠帶動旋轉(zhuǎn)靶管轉(zhuǎn)動即可。
本實用新型中,工作時,旋轉(zhuǎn)機構帶動圓柱靶管均速轉(zhuǎn)動,磁鐵在圓柱靶管內(nèi)保持不動。冷卻水經(jīng)冷卻水進管進入到圓柱靶管內(nèi),并且經(jīng)換熱后的冷卻水從冷卻水出口排出,形成循環(huán)。通過長橢圓形的弧斑線焊接,使轟擊電流均勻分布,保證鍍膜層上的金屬顆粒細小且均勻,不會出現(xiàn)飛弧燒損工件的現(xiàn)象。
需要說明的是,以上所述并非是對本實用新型的限定,在不脫離本實用新型的創(chuàng)造構思的前提下,任何顯而易見的替換均在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。