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一種高含銅蝕刻液再生循環(huán)系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12232714閱讀:來源:國知局
技術總結
本實用新型公開了一種高含銅蝕刻液再生循環(huán)系統(tǒng),它包括蝕刻線(1),溶解再生缸(3)、過濾器(10),蝕刻線(1)與溶解再生缸(3)通過管道連接,且在該管道上設置有廢液提升泵(2),溶解再生缸(3)與過濾器(10)通過管道連接,且在該管道上設置有蝕刻液提升泵(11),過濾器(10)與蝕刻線(1)連通。本實用新型的有益效果是:它具有零排放、無污染和生產(chǎn)成本低的優(yōu)點。

技術研發(fā)人員:韋建敏;趙興文;張曉蓓;張小波
受保護的技術使用者:成都虹華環(huán)??萍脊煞萦邢薰?br/>文檔號碼:201620854967
技術研發(fā)日:2016.08.09
技術公布日:2017.02.22

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