1.一種乙硅烷精餾裝置，包括第一精餾塔和第二精餾塔，其特征在于，所述第一精餾塔從上向下依次設(shè)有第一精餾段、第一反應(yīng)段和第一提餾段，所述第一精餾段頂部設(shè)有排氣口，所述第一提餾段下方與第一再沸器連接，所述第一精餾段內(nèi)部設(shè)有2個第一冷凝器；所述第二精餾塔從上向下依次設(shè)有第二精餾段、第二反應(yīng)段和第二提餾段，所述第二提餾段下方與第二再沸器連接，所述第二精餾段內(nèi)部設(shè)有一個第二冷凝器，所述第二精餾塔的出料口與乙硅烷存儲罐連接；所述第一精餾塔的出料口通過2根導管分別與第二反應(yīng)段、乙硅烷存儲罐連接，與第一精餾塔的出料口連接的2根導管上均分別設(shè)有一個閥門開關(guān)，當氨氣完全排出，關(guān)閉通往第二反應(yīng)段的閥門開關(guān)，打開通往乙硅烷存儲罐的閥門開關(guān)，使乙硅烷直接進入乙硅烷存儲罐，完成精餾處理；所述第二冷凝器的溫度大于或等于最上方的所述第一冷凝器的溫度且所述第二冷凝器的溫度為-20℃~-14℃。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種乙硅烷精餾裝置，其特征在于，最上方的所述第一冷凝器的溫度為-30℃~-20℃。