一種水槽密封結(jié)構(gòu)、水槽及硅外延設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種硅外延技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種水槽密封結(jié)構(gòu)、水槽及硅外延設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]娃外延是一種在娃片基底上外延生長(zhǎng)娃的工藝。娃外延設(shè)備一般包括傳輸、工藝、加熱等幾個(gè)系統(tǒng)。硅外延工藝通常是在一個(gè)石英材料制作的腔室內(nèi)完成，上述腔室稱之為工藝腔室。工藝腔室內(nèi)的工藝溫度可高達(dá)上千度，因此需要水冷系統(tǒng)來(lái)冷卻。
[0003]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中水冷系統(tǒng)的立體圖。如圖1所示，水冷系統(tǒng)包括工藝腔室100，工藝腔室100的上方設(shè)置有一個(gè)噴水裝置(圖中未示出)，所述噴水裝置用于噴淋工藝腔室100。圖2為圖1所示水冷系統(tǒng)的剖視圖。如圖2所示，工藝腔室100的下方設(shè)置一個(gè)水槽120，水槽120承載冷卻水，位于水槽120內(nèi)部的加熱線圈180浸泡在冷卻水中，水槽里的冷卻水會(huì)通過一個(gè)循環(huán)系統(tǒng)再次進(jìn)入水冷系統(tǒng)。水槽120既可用于承載冷卻水，又可用于浸泡加熱線圈180從而達(dá)到冷卻的目的。
[0004]由于工藝腔室100兩側(cè)開口要與其它腔室對(duì)接，因此用于承載冷卻水的水槽120不能做到四面封閉，水槽120與工藝腔室開口同側(cè)的兩個(gè)方向必須做成如圖1所示的開口形狀，所述開口為工藝腔室開口 140。而且硅外延設(shè)備通過感應(yīng)加熱，因此水槽120不能使用金屬材質(zhì)，通常選用陶瓷，這使得螺釘?shù)氖褂梅浅＠щy。因此，如何將冷卻水密封在水槽120內(nèi)部成為了一個(gè)難題。
[0005]圖3為現(xiàn)有技術(shù)中水槽密封結(jié)構(gòu)的剖視圖。如圖3所示，水槽密封結(jié)構(gòu)在水槽120需要密封的兩面上開設(shè)有密封圈固定槽210，密封圈固定槽210內(nèi)設(shè)置有由發(fā)泡硅橡膠材料制成的密封圈240。密封圈240的兩端與水槽120固定鎖死，在其中一端靠近固定鎖死的位置處開設(shè)有可以通入壓縮干燥空氣(Compressed Dry Air, CDA)的通氣孔220。當(dāng)通氣孔220通入CDA時(shí)，密封圈240頂起，增大了密封圈密封的力量。當(dāng)需要拆裝工藝腔室100時(shí)，取消通入CDA，改為通過通氣孔220抽取真空，則密封圈240縮回，從而便于拆裝工藝腔室 100。
[0006]圖4為圖3所示水槽密封結(jié)構(gòu)在封裝密封圈之后的A-A剖視圖。如圖4所示，圖中雙箭頭代表密封圈的運(yùn)動(dòng)方向。現(xiàn)有技術(shù)提供的硅外延設(shè)備動(dòng)作時(shí)，通氣孔220通入CDA，密封圈240從密封圈固定槽210內(nèi)沿雙箭頭向右運(yùn)動(dòng)，由于剛開始只有兩端通氣，造成部分密封圈不能順利頂起。當(dāng)進(jìn)氣壓力增大時(shí)，容易導(dǎo)致部分密封圈240從密封圈固定槽210中擠壓脫落，導(dǎo)致無(wú)法達(dá)到密封效果，出現(xiàn)漏水現(xiàn)象，這樣不利于硅外延設(shè)備散熱降溫，嚴(yán)重影響硅外延設(shè)備的運(yùn)行安全。另外，由于密封圈240裝配時(shí)是擠入密封圈固定槽210內(nèi)的，當(dāng)某一部分密封圈脫落時(shí)，這部分也無(wú)法再安裝回密封圈固定槽210內(nèi)，這樣不利于硅外延設(shè)備的設(shè)備維護(hù)。
[0007]當(dāng)通氣孔220抽取真空時(shí)，靠近通氣孔220的一部分密封圈首先沿雙箭頭向左運(yùn)動(dòng)，吸入密封圈固定槽210內(nèi)，這樣容易把水槽120的整個(gè)氣體孔道堵死，導(dǎo)致其它部分密封圈不能及時(shí)的沿雙箭頭向左運(yùn)動(dòng)，吸入密封圈固定槽210內(nèi)。上述情況的出現(xiàn)會(huì)干擾升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的使用，使得密封圈240在升起的過程中容易劃傷。在這種水槽密封結(jié)構(gòu)中，密封圈是一種耗材，而且由于維護(hù)的數(shù)次頻繁，會(huì)導(dǎo)致密封圈消耗成本過高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]為解決上述問題，本發(fā)明提供一種水槽密封結(jié)構(gòu)、水槽及硅外延設(shè)備，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中水槽密封結(jié)構(gòu)無(wú)法達(dá)到密封效果，不利于硅外延設(shè)備散熱降溫，而且拆裝與維護(hù)特別麻煩的問題。
[0009]為此，本發(fā)明提供一種水槽密封結(jié)構(gòu)，包括:密封圈固定槽和密封圈；所述密封圈固定槽開設(shè)于水槽的密封面上；所述密封圈放置于所述密封圈固定槽內(nèi)；所述密封圈的兩端封堵，所述密封圈固定槽上開設(shè)有向水槽外側(cè)延伸的通氣孔；所述密封圈固定槽的底部開設(shè)有與所述通氣孔聯(lián)通的通氣槽。
[0010]優(yōu)選的，所述通氣孔用于在安裝所述密封圈時(shí)向所述通氣槽通入氣體。
[0011]優(yōu)選的，所述通氣孔用于在拆卸所述密封圈時(shí)將所述通氣槽抽取真空。
[0012]優(yōu)選的，所述通氣孔開設(shè)在所述密封圈固定槽的靠近封堵內(nèi)側(cè)的位置。
[0013]優(yōu)選的，所述通氣孔為多個(gè)。
[0014]優(yōu)選的，所述密封圈的兩端通過固定架封堵。
[0015]優(yōu)選的，所述所述固定架包括螺栓。
[0016]優(yōu)選的，所述水槽、密封圈和通氣槽均為U型結(jié)構(gòu)。
[0017]本發(fā)明還提供一種水槽，包括水槽主體和上述任一所述的水槽密封結(jié)構(gòu)。
[0018]本發(fā)明還提供一種硅外延設(shè)備，包括上述水槽。
[0019]本發(fā)明具有下述有益效果:
[0020]本發(fā)明提供的水槽密封結(jié)構(gòu)、水槽及硅外延設(shè)備中，所述水槽密封結(jié)構(gòu)利用通氣槽通入氣體或者抽取真空，由此產(chǎn)生的壓強(qiáng)通過密封圈固定槽底部的通氣槽均勻傳遞給密封圈。均勻受力的密封圈整體擠出密封圈固定槽或者整體吸入密封圈固定槽，從而達(dá)到良好的密封效果，有利于硅外延設(shè)備散熱降溫，而且便于拆裝與維護(hù)。
【附圖說明】
[0021]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中水冷系統(tǒng)的立體圖；
[0022]圖2為圖1所示水冷系統(tǒng)的剖視圖；
[0023]圖3為現(xiàn)有技術(shù)中水槽密封結(jié)構(gòu)的剖視圖；
[0024]圖4為圖3所示水槽密封結(jié)構(gòu)在封裝密封圈之后的A-A剖視圖；
[0025]圖5為本發(fā)明水槽密封結(jié)構(gòu)一個(gè)實(shí)施例的剖視圖；
[0026]圖6為本發(fā)明水槽密封結(jié)構(gòu)一個(gè)實(shí)施例的局部放大剖視圖；
[0027]圖7為圖5所示水槽密封結(jié)構(gòu)在封裝密封圈之后的B-B剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合說明書附圖對(duì)本發(fā)明提供的水槽密封結(jié)構(gòu)、水槽及硅外延設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0029]圖5為本發(fā)明水槽密封結(jié)構(gòu)一個(gè)實(shí)施例的剖視圖，圖7為圖5所示水槽密封結(jié)構(gòu)在封裝密封圈之后的B-B剖視圖。所述水槽密封結(jié)構(gòu)包括密封圈固定槽210和密封圈240，所述密封圈固定槽210開設(shè)于水槽120的密封面230上。優(yōu)選的，所述水槽120是U型槽，更優(yōu)選的，所述密封圈240也是U型密封圈。在一個(gè)實(shí)施例中，所述密封圈固定槽210開設(shè)在水槽120需要密封的兩面上。所述密封圈240放置于密封圈固定槽210內(nèi)。優(yōu)選的，密封圈240由發(fā)泡硅橡膠材料制成，使得密封圈240的內(nèi)部為疏松設(shè)計(jì)，更加具有彈性，從而達(dá)到更好的密封效果。所述密封圈240的兩端與水槽120固定鎖死，而且密封圈240的兩端封堵。在一個(gè)實(shí)施例中，密封圈240的兩端通過固定架250封堵。優(yōu)選的，密封圈240的兩端通過螺栓封堵。更優(yōu)選的，水槽加裝鋼絲螺套，密封圈240的兩端通過螺栓與鋼絲螺套封堵。在一個(gè)實(shí)施例中，將鋼絲螺套旋入并緊固在水槽的螺紋孔中形成標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)螺紋，再將螺栓擰入其中，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)密封圈兩端的封堵。通過對(duì)密封圈兩端的封堵，所述水槽密封結(jié)構(gòu)能夠達(dá)到良好的密封效果，有利于硅外延設(shè)備散熱降溫，便于拆裝與維護(hù)。
[0030]本實(shí)施例中，所述密封圈固定槽210上開設(shè)有向水槽外側(cè)延伸的通氣孔220，所述密封圈固定槽210的底部開設(shè)有與所述通氣孔聯(lián)通的通氣槽260?？蛇x的，所述通氣孔220用于在安裝所述密封圈240時(shí)向所述通氣槽260通入氣體。所述水槽密封結(jié)構(gòu)通入氣體時(shí)