等離子體處理檢測用墨液組合物及等離子體處理檢測指示器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及等離子體處理檢測用墨液組合物及使用其的等離子體處理檢測指示 器。另外，本說明書中的等離子體處理是指利用了通過使用等離子體產(chǎn)生用氣體并施加交 流電壓、脈沖電壓、高頻、微波等而產(chǎn)生的等離子體的等離子體處理，減壓等離子體及大氣 壓等離子體這兩者符合。
【背景技術(shù)】
[0002] 醫(yī)院、研究所等中使用的各種器材、器具等為了消毒及殺菌而實(shí)施滅菌處理。作為 該滅菌處理之一，已知有等離子體滅菌處理（例如，非專利文獻(xiàn)1的"3. 3. 1使用了低壓力 放電等離子體的滅菌實(shí)驗(yàn)"欄）。
[0003] 詳細(xì)而言，等離子體滅菌處理是在等離子體產(chǎn)生用氣體氣氛下產(chǎn)生等離子體并利 用低溫氣體等離子體對器材、器具等進(jìn)行滅菌的處理，從可以進(jìn)行低溫滅菌處理的方面考 慮是有利的。
[0004] 此外，等離子體處理不僅用于滅菌處理，還用于半導(dǎo)體元件的制造工序中的等離 子體干式蝕刻及電子部件等被處理物的表面的等離子體洗滌。
[0005] 等離子體干式蝕刻通常對配置于作為真空容器的反應(yīng)腔室內(nèi)的電極施加高頻電 力，將導(dǎo)入至反應(yīng)腔室內(nèi)的等離子體產(chǎn)生用氣體等離子體化而對半導(dǎo)體晶圓以高精度進(jìn)行 蝕刻。此外，等離子體洗滌通過將在電子部件等被處理物的表面析出或附著的金屬氧化物、 有機(jī)物、毛刺卩）等除去來改善焊接性或軟釬料的潤濕性而提高粘接強(qiáng)度，或者改善與 密封樹脂的密合性或潤濕性。
[0006] 作為檢測這些等離子體處理的終點(diǎn)的方法，例如在專利文獻(xiàn)1中記載了"一種等 離子體干式蝕刻的終點(diǎn)檢測方法，其特征在于，其使用了通過使來自氣體等離子體中的發(fā) 光光譜在波長范圍300~650nm的光電培增管所具有的波長頻帶下全部受光而得到的發(fā)光 光譜強(qiáng)度曲線。"。
[0007] 此外，在專利文獻(xiàn)2中記載了"一種等離子體處理的終點(diǎn)檢測方法，其特征在于， 其包括以下工序：使用僅使某一特定波長區(qū)域選擇性透射的帶通濾波器中監(jiān)視的來自等離 子體光源的入射角度發(fā)生變化的入射角變化單元使透射波長發(fā)生變化的透射工序；利用檢 測器檢測該透射工序中透射的分光的檢測工序；通過輸入該檢測工序的來自檢測器的檢測 輸出及上述透射工序的入射角變化單元的角度輸出，利用具備波長轉(zhuǎn)換單元、輸出補(bǔ)正單 元的演算輸出裝置對反應(yīng)中和反應(yīng)前進(jìn)行比較演算，在輸出裝置中輸出等離子體處理的終 點(diǎn)的演算輸出工序，其中，所述波長轉(zhuǎn)換單元是按照達(dá)到即使入射角度發(fā)生變化而透射波 長的檢測輸出也不會使入射角度發(fā)生變化的情況下得到的值的方式進(jìn)行的。"。
[0008] 這些以往的終點(diǎn)檢測方法需要發(fā)光光譜的解析裝置、演算輸出裝置等裝置，并且 難以對經(jīng)等離子體處理的被處理物各自進(jìn)行個別檢測。因而，期望開發(fā)不需要大型的裝置 的簡便的方法，并且可以對被處理物各自個別檢測等離子體處理的完成的技術(shù)。
[0009] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0010] 專利文獻(xiàn)
[0011] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開平6-069165號公報
[0012] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開2004-146738號公報
[0013] 非專利文獻(xiàn)
[0014]非專利文獻(xiàn) 1:JournalofPlasmaandFusionResearchVol. 83,No. 7July2007

【發(fā)明內(nèi)容】

[0015] 發(fā)明所要解決的課題
[0016] 本發(fā)明的主要目的在于提供不需要大型的裝置、能夠?qū)Ρ惶幚砦锔髯詡€別檢測等 離子體處理的完成的墨液組合物及使用其的指示器。
[0017] 用于解決課題的方案
[0018] 本發(fā)明人為了達(dá)成上述目的反復(fù)進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過采用特定組成 的墨液組合物可以達(dá)成上述目的，從而完成本發(fā)明。
[0019]S卩，本發(fā)明涉及下述的等離子體處理檢測用墨液組合物及等離子體處理檢測指示 器。
[0020] 1. -種墨液組合物，其是含有色素及非離子系表面活性劑的等離子體處理檢測用 墨液組合物，
[0021] (1)上述色素為選自由蒽醌系色素、次甲基系色素、偶氮系色素、酞菁系色素、三苯 基甲烷系色素及咕噸系色素組成的組中的至少1種，
[0022] (2)上述非離子系表面活性劑為通式⑴~（V)所示的非離子系表面活性劑中的 至少1種，
[0023][化學(xué)式1]
[0024] (I) RrX-(A0)n-R2
[0028] (V) R「X-(A0)p-R2-C三C-R3=X-(AO)q_R4
[0029] 〔其中，上述通式中，4分別獨(dú)立地表示氫、碳原子數(shù)為1~30的直鏈 或支鏈的脂肪族烴基。X表示氧或酯鍵。A0表示來自環(huán)氧烷烴的重復(fù)單元。η表示1~200 的整數(shù)。a+b+c表示3~200的整數(shù)。p+q表示0~20的整數(shù)。〕。
[0030] 2.根據(jù)上述項1所述的墨液組合物，其還含有粘合劑樹脂及增量劑中的至少1種。
[0031] 3.根據(jù)上述項2所述的墨液組合物，其中，上述粘合劑樹脂的一部分或全部為含 氮高分子。
[0032] 4.根據(jù)上述項3所述的墨液組合物，其中，上述含氮高分子的一部分或全部為聚 酰胺樹脂。
[0033] 5.上述項2所述的墨液組合物，其中，上述粘合劑樹脂的一部分或全部為酚醛系 樹脂。
[0034] 6.根據(jù)上述項2~5中任一項所述的墨液組合物，其中，上述增量劑的一部分或全 部為二氧化娃。
[0035] 7.根據(jù)上述項1~6中任一項所述的墨液組合物，其還含有在上述等離子體處理 氣氛下不變色的色素成分中的至少1種。
[0036] 8. -種等離子體處理檢測指示器，其包含變色層，所述變色層含有上述項1~7中 任一項所述的墨液組合物。
[0037]9.根據(jù)上述項8所述的指示器，其還含有在上述等離子體處理氣氛下不變色的非 變色層。
[0038]10.根據(jù)上述項8或9所述的指示器，其中，上述變色層的形狀為條型碼的形狀。
[0039]11.根據(jù)上述項10所述的指示器，其中，通過在等離子體處理環(huán)境下上述變色層 發(fā)生變色而能夠利用條型碼閱讀器進(jìn)行讀取來進(jìn)行等離子體處理管理。
[0040] 12.-種等離子體處理用包裝體，其在透氣性包裝體的內(nèi)表面設(shè)置有上述項8~ 11中任一項所述的指示器。
[0041]13.根據(jù)上述項12所述的包裝體，其中，按照能夠從外部確認(rèn)上述指示器的方式， 在包裝體的一部分中設(shè)置有透明窗部。
[0042]14.一種等離子體處理方法，其具有以下工序：在上述項12或13所述的包裝體中 裝填被處理物的工序；將裝填有被處理物的包裝體密封的工序；以及將該包裝體放置在上 述等離子體處理氣氛下的工序。
[0043]15.根據(jù)上述項14所述的處理方法，其中，在上述等離子體處理氣氛下放置包裝 體直到上述指示器的變色層發(fā)生變色為止。
[0044] 16.-種描繪工具，其填充有上述項1~7中任一項所述的墨液組合物。
[0045] 以下，對本發(fā)明的等離子體處理檢測用墨液組合物及等離子體處理檢測指示器進(jìn) 行詳細(xì)說明。
[0046] 1.等離子體處理檢測用墨液組合物
[0047] 本發(fā)明的等離子體處理檢測用墨液組合物（以下，也簡稱為"墨液組合物"）的特 征在于，其含有色素及非離子系表面活性劑，
[0048] (1)上述色素為選自由蒽醌系色素、次甲基系色素、偶氮系色素及酞菁系色素組成 的組中的至少1種，
[0049] (2)上述非離子系表面活性劑為通式⑴~（V)所示的非離子系表面活性劑中的 至少1種，
[0050][化學(xué)式2]
[0051] (I) RrX-(A0) n-R2
[0055] (V) R「X-(A0)p-R2-C三C-R3= X-(AO) q_R4
[0056]〔其中，上述通式中，1^、1?2、1?3及1?4分別獨(dú)立地表示氫、碳原子數(shù)為1~30的直鏈 或支鏈的脂肪族烴基。X表示氧或酯鍵。AO表示來自環(huán)氧烷烴的重復(fù)單元。n表示1~200 的整數(shù)。a+b+c表示3~200的整數(shù)。p+q表示0~20的整數(shù)。〕。
[0057] 著色劑（色素）
[0058] 本發(fā)明的墨液組合物使用選自由蒽醌系色素、次甲基色素、偶氮系色素及酞菁系 色素組成的組中的至少1種作為著色劑（也稱為色素、變色色素）。
[0059] 蒽醌系色素只要是以蒽醌為基本骨架的色素則沒有限定，也可以使用公知的蒽醌 系分散染料等。特別優(yōu)選具有氨基的蒽醌系色素。更優(yōu)選為具有伯氨基及仲氨基中的至少 1種氨基的蒽醌系色素。該情況下，各氨基也可以具有2個以上，它們可以彼此相同或不同。
[0060] 更具體而言，可列舉出例如1，4-二氨基蒽醌（C.I.分散紫1)、1-氨基-4-羥 基-2-甲基氨基蒽醌（C.I.分散紅4)、1-氨基-4-甲基氨基蒽醌（C.I.分散紫4)、1，4-二氨 基-2-甲氧基蒽醌（C.I.分散紅11)、1-氨基-2-甲基蒽醌（C.I.分散橙11)、1-氨基-4-羥 基蒽醌（C.I.分散紅15)、1，4, 5, 8-四氨基蒽醌（C.I.分散藍(lán)1)、1，4-二氨基-5-硝基蒽 醌（C.I.分散紫8)等（括弧內(nèi)為顏色索引名）。
[0061] 除此以外，還可以使用作為C.I.溶劑藍(lán)14、C.I.溶劑藍(lán)35、C.I.溶劑藍(lán)63、 C.I.溶劑紫13、C.I.溶劑紫14、C.I.溶劑紅52、C.I.溶劑紅114、C.I.還原藍(lán)21、C.I.還 原藍(lán)30、C.I.還原紫15、C.I.還原紫17、C.I.還原紅19、C.I.還原紅28、C.I.酸性藍(lán)23、 C.I.酸性藍(lán)80、C.I.酸性紫43、C.I.酸性紫48、C.I.酸性紅81、C.I.酸性紅83、C.I.活 性藍(lán)4、C.I.活性藍(lán)19、C.I.分散藍(lán)7等已知的色素。
[0062] 這些蒽醌系色素可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上并用。這些蒽醌系色素中，優(yōu)選C.I 分散藍(lán)7、C.I分散紫1等。此外，本發(fā)明中，也可以通過改變這些蒽醌系色素的種類（分子 結(jié)構(gòu)等）來進(jìn)行檢測靈敏度的控制。