一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，屬于廢酸液處理領(lǐng)域。本實(shí)用新型包括蒸發(fā)濃縮單元、稀酸回收單元、負(fù)壓真空單元和冷卻水循環(huán)單元，利用高真空低溫蒸發(fā)濃縮的方法實(shí)現(xiàn)電子級磷酸的濃縮處理，蒸發(fā)溫度低，對設(shè)備管道的材質(zhì)腐蝕性降低，且由于工作溫度降低，使得設(shè)備在選取材質(zhì)方面有很多有利條件和廣泛可能性，有效降低項目投資；并且，處理過程均在負(fù)壓狀態(tài)下完成，酸性氣體外泄減少，改善了操作環(huán)境；同時，該裝置還具有蒸發(fā)效率高、能連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)、操作簡單、處理費(fèi)用低、環(huán)保效益明顯等諸多優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】
一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種廢液處理裝置，更具體地說，涉及一種采用高真空低溫蒸發(fā)法的電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在電子行業(yè)、液晶行業(yè)、等離子行業(yè)生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢酸液，如果沒有得到正確的處理就進(jìn)行排放，勢必會對環(huán)境造成不可逆轉(zhuǎn)的損害；另一方面，上述電子廢酸液中還含有過硝酸和醋酸，目前業(yè)內(nèi)都在尋求一種針對該電子廢酸液回收處理的技術(shù)，力求能夠讓電子廢酸液中的磷酸濃度和純度提高，最大程度去除硝酸和醋酸以重新使用，目標(biāo)就是實(shí)現(xiàn)電子廢酸液的變廢為寶。
[0003]電子廢酸液在常壓下蒸發(fā)溫度較高，腐蝕性很強(qiáng)，設(shè)備維修量大、壽命短，是磷酸廢液處理運(yùn)行費(fèi)用和設(shè)備日常維護(hù)費(fèi)用高的主要原因。稀磷酸提濃技術(shù)在工藝上主要是因?yàn)榱姿釢舛忍岣哌^程中沸點(diǎn)升高很大，加上該電子廢酸液中含硝酸和醋酸，揮發(fā)性高，腐蝕性強(qiáng)，氧化性大，所以普通的濃縮工藝和設(shè)備根本無法滿足該電子廢酸液濃縮回用的要求。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]1.實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題
[0005]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有電子廢酸液處理存在的上述不足，提供一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，采用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，利用高真空低溫蒸發(fā)濃縮的方法實(shí)現(xiàn)電子級磷酸的濃縮處理，蒸發(fā)溫度低，對設(shè)備管道的材質(zhì)腐蝕性降低，且由于工作溫度降低，使得設(shè)備在選取材質(zhì)方面有很多有利條件和廣泛可能性，有效降低項目投資；并且，處理過程均在負(fù)壓狀態(tài)下完成，酸性氣體外泄減少，改善了操作環(huán)境；同時，該裝置還具有蒸發(fā)效率高、能連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)、操作簡單、處理費(fèi)用低、環(huán)保效益明顯等諸多優(yōu)點(diǎn)。
[0006]2.技術(shù)方案
[0007]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案為:
[0008]本實(shí)用新型的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，包括蒸發(fā)濃縮單元、稀酸回收單元、負(fù)壓真空單元和冷卻水循環(huán)單元，其中:
[0009]所述的蒸發(fā)濃縮單元包括預(yù)熱器、蒸發(fā)器和分離器，所述的蒸發(fā)器的殼程與預(yù)熱器的殼程相連，來自鍋爐生蒸汽依次經(jīng)過蒸發(fā)器的殼程和預(yù)熱器的殼程后外排或回用；所述的預(yù)熱器的進(jìn)液口通過進(jìn)料栗連接原液罐，預(yù)熱器的出液口連接分離器的進(jìn)液口，所述的分離器的循環(huán)液出口通過循環(huán)栗連接蒸發(fā)器的進(jìn)液口，蒸發(fā)器的出液口與分離器的循環(huán)液進(jìn)口相連，分離器的出液口通過出料栗與濃縮液冷卻器的進(jìn)液口相連，濃縮液冷卻器的出料口連接成品酸罐；
[0010]所述的稀酸回收單元包括冷凝器、不凝氣體冷凝器和稀酸罐，所述的分離器的蒸汽出口與冷凝器的進(jìn)氣口相連，冷凝器的不凝氣出口與不凝氣體冷凝器的進(jìn)氣口相連，冷凝器的冷凝液出口與稀酸罐的進(jìn)液口相連，稀酸罐的氣體出口與冷凝器的進(jìn)氣口相連，稀酸罐的出液口通過稀酸栗分別與不凝氣體冷凝器的噴淋口以及稀酸收集罐相連，不凝氣體冷凝器的出液口與稀酸罐的進(jìn)液口相連；
[0011]所述的負(fù)壓真空單元包括氣液分離罐和真空機(jī)組，所述的不凝氣體冷凝器的氣體出口通過氣液分離罐與真空機(jī)組相連；
[0012]所述的冷卻水循環(huán)單元包括冷卻塔和冷卻水栗，所述的冷卻塔通過冷卻水栗分別與冷凝器的殼程以及濃縮液冷卻器的殼程形成冷卻水循環(huán)。
[0013]更進(jìn)一步地，所述的分離器的出液口與出料栗之間還設(shè)有在線測試裝置或取樣
□ O
[0014]更進(jìn)一步地，所述的蒸發(fā)器和預(yù)熱器采用聚四氟乙烯高溫浸漬石墨蒸發(fā)器。
[0015]更進(jìn)一步地，所述的分離器采用鋼襯四氟分離器，該分離器上具有獨(dú)立的進(jìn)液口和觀察孔，用于觀察和控制進(jìn)料流量。
[0016]更進(jìn)一步地，所述的真空機(jī)組采用羅茨雙級水環(huán)真空機(jī)組。
[0017]更進(jìn)一步地，所述的稀酸栗采用F46氟塑料化工離心栗。
[0018]更進(jìn)一步地，所述的進(jìn)料栗、循環(huán)栗和出料栗采用夾板式氟合金離心栗。
[0019]更進(jìn)一步地，所述的稀酸罐和氣液分離罐的材質(zhì)為纖維增強(qiáng)聚丙烯。
[0020]3.有益效果
[0021]采用本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，與已有的公知技術(shù)相比，具有如下有益效果:
[0022](I)本實(shí)用新型的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，其利用單效高真空低溫蒸發(fā)濃縮的方法實(shí)現(xiàn)電子級磷酸的濃縮處理，蒸汽消耗低，節(jié)約能源，蒸發(fā)溫度低，對設(shè)備管道的材質(zhì)腐蝕性降低，且由于工作溫度降低，使得設(shè)備在選取材質(zhì)方面有很多有利條件和廣泛可能性，有效降低項目投資;并且，處理過程均在負(fù)壓狀態(tài)下完成，酸性氣體外泄減少，改善了操作環(huán)境；
[0023](2)本實(shí)用新型的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，其分離器的出液口與出料栗之間還設(shè)有在線測試裝置或取樣口，可方便有效地檢測到濃縮的磷酸濃度，在達(dá)到電子級磷酸濃度后重新利用；
[0024](3)本實(shí)用新型的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，其蒸發(fā)器和預(yù)熱器采用聚四氟乙烯高溫浸漬石墨蒸發(fā)器，分離器采用鋼襯四氟分離器，對于酸類介質(zhì)具有工作性能可靠、使用壽命長、操作維護(hù)簡便等優(yōu)點(diǎn)；
[0025](4)本實(shí)用新型的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，其稀酸栗采用F46氟塑料化工離心栗，可在負(fù)壓狀態(tài)下連續(xù)工作，保證裝置穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)和具有較長的使用壽命;進(jìn)料栗、循環(huán)栗和出料栗采用夾板式氟合金離心栗，在負(fù)壓狀態(tài)下，能使高濃度物料或結(jié)晶物料連續(xù)出料工作；
[0026](5)本實(shí)用新型的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，其稀酸罐和氣液分離罐的材質(zhì)為纖維增強(qiáng)聚丙烯，既能滿足耐腐蝕性的要求，又比較經(jīng)濟(jì)合理，降低設(shè)備成本；
[0027](6)本實(shí)用新型的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，其還具有蒸發(fā)效率高、能連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)、操作簡單、處理費(fèi)用低、環(huán)保效益明顯等諸多優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0028]圖1為本實(shí)用新型的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0029]示意圖中的標(biāo)號說明:
[0030]E201、蒸發(fā)器;E202、冷凝器;E203、不凝氣體冷凝器;E204、濃縮液冷卻器;E205、預(yù)熱器;V101、原液罐;V201、稀酸罐;V202、氣液分離罐;P201、進(jìn)料栗;P202、循環(huán)栗;P203、出料栗;P204、稀酸栗;P205、真空機(jī)組;P206、冷卻水栗;S201、分離器;C201、冷卻塔。
【具體實(shí)施方式】
[0031]為進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的內(nèi)容，結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作詳細(xì)描述。
[0032]實(shí)施例
[0033]本實(shí)施例的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，主要用于電子、液晶、等離子等行業(yè)產(chǎn)生的含有硝酸和醋酸的廢酸液的回收處理，實(shí)質(zhì)上是一種溶液中含有的幾種溶質(zhì)分離的物理過程，其基本原理是將含有磷酸、硝酸和醋酸等溶質(zhì)的水溶液，在真空狀態(tài)下加熱，使溶液中可揮發(fā)性的溶質(zhì)硝酸、醋酸和水一起蒸發(fā)，通過冷凝器利用冷卻水冷凝，形成混合酸返回車間使用；同時，隨著溶液的體積減小，溶液中不可揮發(fā)的溶質(zhì)磷酸的濃度增加，形成指定濃度的成品酸。具體地，結(jié)合圖1所示，該電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，其主要由蒸發(fā)濃縮單元、稀酸回收單元、負(fù)壓真空單元和冷卻水循環(huán)單元等組成，其中:
[0034]蒸發(fā)濃縮單元包括預(yù)熱器E205、蒸發(fā)器E201和分離器S201，蒸發(fā)器E201的殼程與預(yù)熱器E205的殼程相連，來自鍋爐生蒸汽依次經(jīng)過蒸發(fā)器E201的殼程和預(yù)熱器E205的殼程后外排或回用，具體可將預(yù)熱器E205的殼程中的蒸汽冷凝水連接至地溝;預(yù)熱器E205的進(jìn)液口通過進(jìn)料栗P201連接原液罐VlOI，預(yù)熱器E205的出液口連接分離器S201的進(jìn)液口，分離器S201的循環(huán)液出口通過循環(huán)栗P202連接蒸發(fā)器E201的進(jìn)液口，蒸發(fā)器E201的出液口與分離器S201的循環(huán)液進(jìn)口相連，分離器S201的出液口通過出料栗P203與濃縮液冷卻器E204的進(jìn)液口相連，濃縮液冷卻器E204的出料口連接成品酸罐;為了方便有效地檢測到濃縮的磷酸濃度，在分離器S201的出液口與出料栗P203之間還設(shè)有在線測試裝置或取樣口，在磷酸濃度達(dá)到電子級后重新利用。上述的蒸發(fā)器E201為外加熱式蒸發(fā)器，在工藝布置上采取蒸發(fā)器E201與分離器S201上高下低的錯落布置，廢酸液在重力差和熱力差的雙重作用及系統(tǒng)真空條件下，蒸發(fā)器E201內(nèi)的物料因加熱而上竄、分離器S201內(nèi)的相對冷物料下降的強(qiáng)烈循環(huán)，物料循環(huán)的速度可達(dá)1.5m/s以上，在這種高速激烈運(yùn)動狀態(tài)下，能使正常生產(chǎn)中設(shè)備運(yùn)彳丁更加穩(wěn)定。
[0035]稀酸回收單元包括冷凝器E202、不凝氣體冷凝器E203和稀酸罐V201，分離器S201的蒸汽出口與冷凝器E202的進(jìn)氣口相連，冷凝器E202的不凝氣出口與不凝氣體冷凝器E203的進(jìn)氣口相連，冷凝器E202的冷凝液出口與稀酸罐V201的進(jìn)液口相連，稀酸罐V201的氣體出口與冷凝器E202的進(jìn)氣口相連，稀酸罐V201的出液口通過稀酸栗P204分別與不凝氣體冷凝器E203的噴淋口以及稀酸收集罐相連，不凝氣體冷凝器E203的出液口與稀酸罐V201的進(jìn)液口相連。
[0036]負(fù)壓真空單元包括氣液分離罐V202和真空機(jī)組P205，不凝氣體冷凝器E203的氣體出口通過氣液分離罐V202與真空機(jī)組P205相連。
[0037]冷卻水循環(huán)單元包括冷卻塔C201和冷卻水栗P206，冷卻塔C201通過冷卻水栗P206分別與冷凝器E202的殼程以及濃縮液冷卻器E204的殼程形成冷卻水循環(huán);具體地，冷凝器E202和濃縮液冷卻器E204的鋼殼下方為連接冷卻塔C201的循環(huán)冷卻水入口，上方為連接冷卻塔C201的循環(huán)冷卻水出口。
[0038]本實(shí)施例的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，利用單效高真空低溫蒸發(fā)濃縮的方法實(shí)現(xiàn)電子級磷酸的濃縮處理，蒸汽消耗低，節(jié)約能源，蒸發(fā)溫度低，對設(shè)備管道的材質(zhì)腐蝕性降低，且由于在負(fù)壓真空狀態(tài)進(jìn)行蒸發(fā)濃縮，工作溫度降低，使得設(shè)備在選取材質(zhì)方面有很多有利條件和廣泛可能性，有效降低項目投資;并且，處理過程均在負(fù)壓狀態(tài)下完成，酸性氣體外泄減少，改善了操作環(huán)境。
[0039]本實(shí)施例的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，蒸發(fā)器E201和預(yù)熱器E205采用聚四氟乙烯高溫浸漬石墨蒸發(fā)器;分離器S201采用鋼襯四氟分離器，該分離器S201上具有獨(dú)立的進(jìn)液口和觀察孔，用于觀察和控制進(jìn)料流量。蒸發(fā)器E201和分離器S201是本實(shí)施例的電子級磷酸回收處理裝置中最關(guān)鍵的設(shè)備，是根據(jù)外循環(huán)蒸發(fā)濃縮操作的特點(diǎn)專門精心設(shè)計的產(chǎn)品，具有耐高溫、耐腐蝕的特點(diǎn)。蒸發(fā)器E201和分離器S201組成的蒸發(fā)單元合理排列布置，縮短了裝置的總長度，既便于操作，又減少了占地面積。本實(shí)施例中的蒸發(fā)器E201和分離器S201對于鹽酸、磷酸、氫氟酸、醋酸、硝酸等強(qiáng)酸性介質(zhì)具有極強(qiáng)的耐腐蝕性能和良好的導(dǎo)熱性能，工作性能可靠、使用壽命長、操作維護(hù)簡便。針對電子廢酸液中含有硝酸和醋酸，考慮到實(shí)際生產(chǎn)中的安全性和可靠性，降低廢液的蒸發(fā)溫度，本實(shí)施例中的真空機(jī)組P205采用羅茨雙級水環(huán)真空機(jī)組，保證了裝置低溫蒸發(fā)，也保證了真空度的穩(wěn)定及設(shè)備基本無檢修。另外。稀酸栗P204采用密封性能良好、耐腐蝕性能極強(qiáng)的F46氟塑料化工離心栗，可在負(fù)壓狀態(tài)下連續(xù)工作，保證裝置穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)和具有較長的使用壽命。進(jìn)料栗P201、循環(huán)栗P202和出料栗P203采用美國杜邦PFA材質(zhì)的耐高溫、耐腐蝕、無泄漏夾板式氟合金離心栗，在負(fù)壓狀態(tài)下，能使高濃度物料或結(jié)晶物料連續(xù)出料工作;并且采用德國博格曼技術(shù)特制的SiC雙端面集裝式機(jī)械密封，保證了栗的安全運(yùn)行和較長的檢修周期。稀酸罐V201和氣液分離罐V202的材質(zhì)為纖維增強(qiáng)聚丙烯(FRPP)，既能滿足耐腐蝕性的要求，又比較經(jīng)濟(jì)合理，降低設(shè)備成本。
[0040]本實(shí)施例的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，是根據(jù)磷酸、硝酸和醋酸的物理特性及磷酸、硝酸和醋酸在水中溶解度的規(guī)律，采用蒸汽間接加熱、負(fù)壓蒸發(fā)濃縮工藝，蒸發(fā)產(chǎn)生的氣體經(jīng)冷凝器冷凝成為混合酸返回生產(chǎn)車間重新使用;廢液經(jīng)蒸發(fā)濃縮使磷酸含量達(dá)到電子級濃度(85%);其工藝流程如下:
[0041]I)、物料流程:
[0042]常溫的磷酸廢液由進(jìn)料栗P201將原液罐VlOl中的原液經(jīng)過預(yù)熱器E205，預(yù)熱器E205內(nèi)的廢液利用蒸發(fā)器E201的蒸汽冷凝水預(yù)熱計量后進(jìn)入分離器S201，循環(huán)蒸發(fā)濃縮后達(dá)到出料標(biāo)準(zhǔn)(磷酸含量多85%)的濃縮液，然后通過出料栗P203打入成品酸罐;途中經(jīng)過濃縮液冷卻器E204對濃縮液進(jìn)行冷卻。
[0043]2)、加熱蒸汽與冷凝水流程:
[0044]來自鍋爐的生蒸汽進(jìn)入蒸發(fā)器E201殼程，換熱冷凝后經(jīng)過疏水閥、預(yù)熱器E205殼程熱能利用后外排或者回于鍋爐；
[0045]分離器S201的二次蒸汽進(jìn)入冷凝器E202，冷凝后進(jìn)入稀酸罐V201;通過稀酸栗P204打出至廢水處理中心；部分稀酸進(jìn)入不凝氣體冷凝器E203對不凝氣體進(jìn)行冷卻，冷卻后的稀酸回到稀酸罐V201。
[0046]3)、真空系統(tǒng)流程:
[0047]真空系統(tǒng)由冷凝器E202、不凝氣體冷凝器E203、真空機(jī)組P205、汽液分離罐V202組成，將系統(tǒng)中的不凝氣抽出，維持蒸發(fā)系統(tǒng)真空，實(shí)現(xiàn)負(fù)壓低溫蒸發(fā)。
[0048]本實(shí)用新型的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，利用高真空低溫蒸發(fā)濃縮的方法實(shí)現(xiàn)電子級磷酸的濃縮處理，蒸發(fā)溫度低，對設(shè)備管道的材質(zhì)腐蝕性降低，且由于工作溫度降低，使得設(shè)備在選取材質(zhì)方面有很多有利條件和廣泛可能性，有效降低項目投資；并且，處理過程均在負(fù)壓狀態(tài)下完成，酸性氣體外泄減少，改善了操作環(huán)境；同時，該裝置還具有蒸發(fā)效率高、能連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)、操作簡單、處理費(fèi)用低、環(huán)保效益明顯等諸多優(yōu)點(diǎn)。
[0049]以上示意性地對本實(shí)用新型及其實(shí)施方式進(jìn)行了描述，該描述沒有限制性，附圖中所示的也只是本實(shí)用新型的實(shí)施方式之一，實(shí)際的結(jié)構(gòu)并不局限于此。所以，如果本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員受其啟示，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造宗旨的情況下，不經(jīng)創(chuàng)造性地設(shè)計出與該技術(shù)方案相似的結(jié)構(gòu)方式及實(shí)施例，均應(yīng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項】
1.一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，包括蒸發(fā)濃縮單元、稀酸回收單元、負(fù)壓真空單元和冷卻水循環(huán)單元，其特征在于: 所述的蒸發(fā)濃縮單元包括預(yù)熱器(E205)、蒸發(fā)器(E201)和分離器(S201)，所述的蒸發(fā)器(E201)的殼程與預(yù)熱器(E205)的殼程相連，來自鍋爐生蒸汽依次經(jīng)過蒸發(fā)器(E201)的殼程和預(yù)熱器(E205)的殼程后外排或回用;所述的預(yù)熱器(E205)的進(jìn)液口通過進(jìn)料栗(P201)連接原液罐(VlOl)，預(yù)熱器(E205)的出液口連接分離器(S201)的進(jìn)液口，所述的分離器(S201)的循環(huán)液出口通過循環(huán)栗(P202)連接蒸發(fā)器(E201)的進(jìn)液口，蒸發(fā)器(E201)的出液口與分離器(S201)的循環(huán)液進(jìn)口相連，分離器(S201)的出液口通過出料栗(P203 )與濃縮液冷卻器(E204 )的進(jìn)液口相連，濃縮液冷卻器(E204 )的出料口連接成品酸罐； 所述的稀酸回收單元包括冷凝器(E202)、不凝氣體冷凝器(E203)和稀酸罐(V201)，所述的分離器(S201)的蒸汽出口與冷凝器(E202)的進(jìn)氣口相連，冷凝器(E202)的不凝氣出口與不凝氣體冷凝器(E203 )的進(jìn)氣口相連，冷凝器(E202 )的冷凝液出口與稀酸罐(V201)的進(jìn)液口相連，稀酸罐(V201)的氣體出口與冷凝器(E202 )的進(jìn)氣口相連，稀酸罐(V201)的出液口通過稀酸栗(P204)分別與不凝氣體冷凝器(E203)的噴淋口以及稀酸收集罐相連，不凝氣體冷凝器(E203)的出液口與稀酸罐(V201)的進(jìn)液口相連； 所述的負(fù)壓真空單元包括氣液分離罐(V202)和真空機(jī)組(P205)，所述的不凝氣體冷凝器(E203)的氣體出口通過氣液分離罐(V202)與真空機(jī)組(P205)相連； 所述的冷卻水循環(huán)單元包括冷卻塔(C201)和冷卻水栗(P206)，所述的冷卻塔(C201)通過冷卻水栗(P206)分別與冷凝器(E202)的殼程以及濃縮液冷卻器(E204)的殼程形成冷卻水循環(huán)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，其特征在于:所述的蒸發(fā)器(E201)和預(yù)熱器(E205)采用聚四氟乙烯高溫浸漬石墨蒸發(fā)器。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，其特征在于:所述的分離器(S201)采用鋼襯四氟分離器，該分離器(S201)上具有獨(dú)立的進(jìn)液口和觀察孔，用于觀察和控制進(jìn)料流量。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，其特征在于:所述的真空機(jī)組(P205)采用羅茨雙級水環(huán)真空機(jī)組。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，其特征在于:所述的稀酸栗(P204)采用F46氟塑料化工離心栗。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，其特征在于:所述的進(jìn)料栗(P201)、循環(huán)栗(P202)和出料栗(P203)采用夾板式氟合金離心栗。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子廢酸液電子級磷酸回收處理裝置，其特征在于:所述的稀酸罐(V201)和氣液分離罐(V202)的材質(zhì)為纖維增強(qiáng)聚丙烯。
【文檔編號】C01B25/234GK205699506SQ201620450057
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年5月17日
【發(fā)明人】錢鈞
【申請人】常州泰特環(huán)境設(shè)備工程有限公司