本發(fā)明屬于電子材料制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種中高壓電子鋁箔腐蝕方法。

背景技術(shù)：

中高壓電子鋁箔腐蝕工藝就是通過對具有{100}織構(gòu)的高純鋁箔進(jìn)行電解腐蝕，發(fā)孔、擴(kuò)孔，擴(kuò)大其比表面積，得到符合一定規(guī)格要求的腐蝕箔。腐蝕工序一般包括前處理、發(fā)孔腐蝕、擴(kuò)孔腐蝕、后處理、烘干等步驟；其中發(fā)孔腐蝕和擴(kuò)孔腐蝕是鋁箔獲得表面蝕孔分布均勻、尺寸（孔徑、孔長）合理的隧道孔、電容量一致性高的關(guān)鍵。而電流密度分布又是影響發(fā)孔、擴(kuò)孔腐蝕，影響電容量一致性的主要原因。

現(xiàn)有腐蝕方法中，發(fā)孔腐蝕和擴(kuò)孔腐蝕都是將高純鋁箔置于兩塊平行的平面長方形石墨極板中間、在腐蝕電解液中進(jìn)行電化學(xué)腐蝕，制得符合一定規(guī)格要求的腐蝕箔。整個腐蝕過程，鋁箔與極板平行，即鋁箔整個表面與石墨極板之間的距離是相等的。這種“等距離”腐蝕方式，電解電流分布存在邊緣效應(yīng)，極板邊緣部分電流密度相對較大、中間部分電流密度相對較小。這樣，通常會造成鋁箔邊緣部分蝕孔密度、失鋁量均相對較大、而中間部分蝕孔密度、失鋁量相對較小；邊緣部分電容量相對較高、中間部分電容量相對較低；最終結(jié)果造成鋁箔電容量離散率高、一致性偏差，影響產(chǎn)品質(zhì)量。電解腐蝕過程，鋁箔在兩塊極板中間縱向前進(jìn)，雖然有一些采用如極板兩邊緣加裝分流板等措施，但效果不理想，仍無法做到均勻分布電解電流，解決鋁箔兩邊和中間部分電流密度不均、腐蝕不均問題。采用弧面長方形石墨極板進(jìn)行不等距離（兩邊往中間逐步縮?。└g的方法在整個電子鋁箔制造業(yè)未有報道。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種中高壓電子鋁箔腐蝕方法，可以有效的解決現(xiàn)有腐蝕方法中存在的電流密度分布不均、腐蝕不均、電容量離散率高、一致性偏差等問題，制得品質(zhì)優(yōu)良的腐蝕箔。

本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

提供一種中高壓電子鋁箔腐蝕方法, 包括高純鋁箔經(jīng)前處理、電解腐蝕（包括發(fā)孔腐蝕和擴(kuò)孔腐蝕）、后處理、烘干等步驟；所述電解腐蝕的方法為不等距離腐蝕。所述電解腐蝕是將已經(jīng)經(jīng)過前處理的高純鋁箔放置在兩塊平行曲率半徑為45～310cm的弧面長方形石墨極板中間，鋁箔與極板間最小距離為10～20cm，進(jìn)行發(fā)孔及擴(kuò)孔腐蝕。

本發(fā)明的總體構(gòu)思：所用的腐蝕方法為不等距離腐蝕，具體為將高純鋁箔經(jīng)前處理后，置于兩塊弧面長方形石墨極板中間進(jìn)行不等距離電解腐蝕發(fā)孔和擴(kuò)孔、再后處理、烘干，制得符合一定規(guī)格要求的腐蝕箔。

進(jìn)一步，所述前處理為置于磷酸溶液中前處理，取出清洗干凈。

進(jìn)一步，所述電解腐蝕過程供電極板為橫向弧面的長方形石墨板，弧面曲率半徑為45～310cm 。

進(jìn)一步，所述鋁箔與兩塊石墨極板之間的距離是不相等的，間距由兩邊往中間逐步縮小。

進(jìn)一步，所述鋁箔與兩塊極板最小距離為10～20cm。

進(jìn)一步，所述后處理為清洗干凈電解液后置于稀硝酸溶液中，接著取出清洗干凈，烘干。

最后根據(jù)“中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T 11140-2012：鋁電解電容器用電極箔”進(jìn)行不同電壓化成。

本發(fā)明的有益效果：

1、“不等距離”腐蝕方式，電解電流分布不存在邊緣效應(yīng)，避免了極板邊緣部分電流密度相對較大、中間部分電流密度相對較小的問題；

2、不僅避免造成鋁箔邊緣部分蝕孔密度和失鋁量相對較大，而中間部分蝕孔密度和失鋁量相對較小的問題；還避免了邊緣部分電容量相對較高、中間部分電容量相對較低的問題；從而避免造成鋁箔電容量離散率高、一致性偏差，影響產(chǎn)品質(zhì)量的問題。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合各項(xiàng)說明、實(shí)施例描述本發(fā)明。

本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

提供一種中高壓電子鋁箔腐蝕方法, 包括高純鋁箔經(jīng)前處理、電解腐蝕（包括發(fā)孔腐蝕和擴(kuò)孔腐蝕）、后處理、烘干等步驟；所述電解腐蝕的方法為不等距離腐蝕。

所述電解腐蝕是將已經(jīng)經(jīng)過前處理的高純鋁箔放置在兩塊曲率半徑為45～310cm的橫向弧面長方形石墨極板中間。

所述電解腐蝕過程供電極板為橫向弧面的長方形石墨板，弧面曲率半徑為45～310cm 。

所述鋁箔與兩塊石墨極板之間的距離是不相等的，間距由兩邊往中間逐步縮小。

所述鋁箔與兩塊極板最小距離為10～20cm。

所述前處理為置于磷酸溶液中前處理，取出清洗干凈。

所述后處理為清洗干凈電解液后置于稀硝酸溶液中，接著取出清洗干凈，烘干

最后根據(jù)“中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T 11140-2012：鋁電解電容器用電極箔”進(jìn)行不同電壓化成。

對比例1：

將純度為99.99%、立方織構(gòu)占有率大于95%、厚度125 μm的鋁箔置于磷酸溶液中前處理，取出清洗干凈；接著置于兩塊平面長方形極板中間，置于鹽酸和硫酸混合溶液中進(jìn)行“等距離”電解發(fā)孔腐蝕；取出清洗干凈；接著置于兩塊平面長方形極板中間、置于鹽酸或硝酸溶液中進(jìn)行“等距離”電解擴(kuò)孔腐蝕；取出清洗干凈；接著置于稀硝酸溶液中進(jìn)行后處理；取出清洗干凈，烘干。最后根據(jù)“中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T 11140-2012：鋁電解電容器用電極箔”進(jìn)行600V化成；檢測失鋁量、電容量；計(jì)算失鋁量偏差、電容量離散率。

實(shí)施例1：

將與對比例1相同的純度為99.99%、立方織構(gòu)占有率大于95%、厚度125 μm的鋁箔，置于與對比例1相同的磷酸溶液中前處理，取出清洗干凈；接著置于兩塊曲率半徑為310cm的弧面長方形石墨極板中間、鋁箔與弧面石墨極板間最小距離為20cm，置于與對比例1相同的鹽酸和硫酸混合溶液中進(jìn)行“不等距離”電解發(fā)孔腐蝕；取出清洗干凈；接著置于兩塊曲率半徑為310cm的弧面長方形石墨極板中間、鋁箔與弧面石墨極板間最小距離為20cm，置于與對比例1相同的鹽酸或硝酸溶液中進(jìn)行“不等距離”電解擴(kuò)孔腐蝕；取出清洗干凈；接著置于與對比例1相同的稀硝酸溶液中進(jìn)行后處理；取出清洗干凈，烘干。最后根據(jù)“中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T 11140-2012：鋁電解電容器用電極箔”進(jìn)行600V化成；檢測失鋁量、電容量；計(jì)算失鋁量偏差、電容量離散率。

對比例2：

將純度為99.99%、立方織構(gòu)占有率大于95%、厚度120μm的鋁箔置于磷酸溶液中前處理，取出清洗干凈；接著置于兩塊平面長方形極板中間，置于鹽酸和硫酸混合溶液中進(jìn)行“等距離”電解發(fā)孔腐蝕；取出清洗干凈；接著置于兩塊平面長方形極板中間、置于鹽酸或硝酸溶液中進(jìn)行“等距離”電解擴(kuò)孔腐蝕；取出清洗干凈；接著置于稀硝酸溶液中進(jìn)行后處理；取出清洗干凈，烘干。最后根據(jù)“中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T 11140-2012：鋁電解電容器用電極箔”進(jìn)行520V化成；檢測失鋁量、電容量；計(jì)算失鋁量偏差、電容量離散率。

實(shí)施例2：

將與對比例2相同的純度為99.99%、立方織構(gòu)占有率大于95%、厚度120 μm的鋁箔，置于與對比例2相同的磷酸溶液中前處理，取出清洗干凈；接著置于兩塊曲率半徑為100cm的弧面長方形石墨極板中間、鋁箔與弧面石墨極板間最小距離為16cm，在與對比例2相同的鹽酸和硫酸混合溶液中進(jìn)行“不等距離”電解發(fā)孔腐蝕；取出清洗干凈；接著置于兩塊曲率半徑為100cm的弧面長方形石墨極板中間、鋁箔與弧面石墨極板間最小距離為16cm，置于與對比例2相同的鹽酸或硝酸溶液中進(jìn)行“不等距離”電解擴(kuò)孔腐蝕；取出清洗干凈；接著置于與對比例2相同的稀硝酸溶液中進(jìn)行后處理；取出清洗干凈，烘干。最后根據(jù)“中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T 11140-2012：鋁電解電容器用電極箔”進(jìn)行520V化成；檢測失鋁量、電容量；計(jì)算失鋁量偏差、電容量離散率。

對比例3：

將純度為99.99%、立方織構(gòu)占有率大于95%、厚度80 μm的鋁箔置于磷酸溶液中前處理，取出清洗干凈；接著置于兩塊平面長方形極板中間，置于鹽酸和硫酸混合溶液中進(jìn)行“等距離”電解發(fā)孔腐蝕；取出清洗干凈；接著置于兩塊平面長方形極板中間、置于鹽酸或硝酸溶液中進(jìn)行“等距離”電解擴(kuò)孔腐蝕；取出清洗干凈；接著置于稀硝酸溶液中進(jìn)行后處理；取出清洗干凈，烘干。最后根據(jù)“中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T 11140-2012：鋁電解電容器用電極箔”進(jìn)行375V化成；檢測失鋁量、電容量；計(jì)算失鋁量偏差、電容量離散率。

實(shí)施例3：

將與對比例3相同的純度為99.99%、立方織構(gòu)占有率大于95%、厚度80 μm的鋁箔，置于與對比例3相同的磷酸溶液中前處理，取出清洗干凈；接著置于兩塊曲率半徑為55cm的弧面長方形石墨極板中間、鋁箔與弧面石墨極板間最小距離為10cm，置于與對比例3相同的鹽酸和硫酸混合溶液中進(jìn)行“不等距離”電解發(fā)孔腐蝕；取出清洗干凈；接著置于兩塊曲率半徑為55cm的弧面長方形石墨極板中間、鋁箔與弧面石墨極板間最小距離為10cm，置于與對比例3相同的鹽酸或硝酸溶液中進(jìn)行“不等距離”電解擴(kuò)孔腐蝕；取出清洗干凈；接著置于與對比例3相同的稀硝酸溶液中進(jìn)行后處理；取出清洗干凈，烘干。最后根據(jù)“中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T 11140-2012：鋁電解電容器用電極箔”進(jìn)行375V化成；檢測失鋁量、電容量；計(jì)算失鋁量偏差、電容量離散率。

對比例和使用本發(fā)明腐蝕方法獲得鋁箔的失鋁量、失鋁量偏差、電容量、電容量離散率數(shù)據(jù)：

從表中數(shù)據(jù)對比可以看出，使用本發(fā)明腐蝕方法可以均衡電流密度分布，大幅降低鋁箔腐蝕失鋁量偏差及電容量離散率，使鋁箔電容量一致性更好。

需要指出的是，上述實(shí)施例僅為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。