本發(fā)明涉及玻璃生產(chǎn)，具體為一種基于真空環(huán)境應(yīng)用的雙軸柔性密封運(yùn)動(dòng)裝置。

背景技術(shù)：

1、鑒于fpd行業(yè)持續(xù)繁榮發(fā)展，智能化、智顯化需求持續(xù)增長(zhǎng)，玻璃面板在質(zhì)量與數(shù)量方面均展現(xiàn)出顯著的增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。鑒于此，終端客戶對(duì)國(guó)產(chǎn)化密封柔性真空運(yùn)動(dòng)裝置的需求日益明顯，為響應(yīng)市場(chǎng)需求，提升產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力，故發(fā)明在真空環(huán)境下應(yīng)用的柔性密封動(dòng)力裝置。

2、在玻璃生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一些高端玻璃制品的生產(chǎn)過(guò)程中，如光學(xué)玻璃、電子顯示玻璃等，常常需要在真空環(huán)境下進(jìn)行特定的工藝操作。例如，在光學(xué)玻璃的鍍膜工藝中，為了獲得高質(zhì)量、均勻性好的鍍膜層，需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行蒸發(fā)鍍膜，以確保鍍膜材料能夠準(zhǔn)確地沉積在玻璃表面，避免雜質(zhì)的混入影響玻璃的光學(xué)性能。在電子顯示玻璃的制造過(guò)程中，真空環(huán)境下的刻蝕、離子注入等工藝對(duì)于精確控制玻璃表面的微觀結(jié)構(gòu)和性能至關(guān)重要。

3、然而，現(xiàn)有的用于玻璃生產(chǎn)真空環(huán)境的雙軸運(yùn)動(dòng)裝置存在諸多問(wèn)題，一方面，傳統(tǒng)的密封方式難以滿足復(fù)雜工況下的密封要求。例如，在玻璃生產(chǎn)的高溫、高真空交替的環(huán)境中，普通的機(jī)械密封容易出現(xiàn)磨損、變形，導(dǎo)致密封失效，使外界空氣或雜質(zhì)進(jìn)入真空腔，影響玻璃的生產(chǎn)質(zhì)量，而且，機(jī)械密封在雙軸相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，會(huì)產(chǎn)生較大的摩擦阻力，影響雙軸運(yùn)動(dòng)的靈活性和精度，難以滿足玻璃生產(chǎn)工藝對(duì)運(yùn)動(dòng)精度的高要求。

4、此外，在玻璃生產(chǎn)的真空環(huán)境中，對(duì)裝置的適應(yīng)性也有較高要求。不同的玻璃生產(chǎn)工藝可能需要不同的溫度、壓力等工況條件，現(xiàn)有的雙軸運(yùn)動(dòng)裝置往往難以在多種工況下穩(wěn)定運(yùn)行，限制了其在玻璃生產(chǎn)中的應(yīng)用范圍。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種基于真空環(huán)境應(yīng)用的雙軸柔性密封運(yùn)動(dòng)裝置，解決了密封要求和不同溫度的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種基于真空環(huán)境應(yīng)用的雙軸柔性密封運(yùn)動(dòng)裝置，包括箱體，所述箱體的頂部設(shè)置有第一密封墊，所述箱體的內(nèi)壁頂部滑動(dòng)連接有頂蓋，所述箱體的一側(cè)貫穿并滑動(dòng)連接有第一密封蓋，所述第一密封蓋的一側(cè)貫穿并滑動(dòng)連接有第二密封墊，所述箱體的兩端一側(cè)均固定連接有法蘭，所述箱體的另一側(cè)設(shè)置有散熱組件，所述頂蓋的底部一側(cè)固定連接有減速機(jī)，所述減速機(jī)的一端固定連接有伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的輸出端固定連接有聯(lián)軸器，且聯(lián)軸器的一端與減速機(jī)固定連接，所述減速機(jī)的輸出端均固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端固定連接有傳動(dòng)桿，所述傳動(dòng)桿的外壁中間設(shè)置有法蘭式密封磁流體裝置，且法蘭式密封磁流體裝置與法蘭接觸，所述箱體的兩端另一側(cè)均貫穿并開(kāi)設(shè)有視窗，所述傳動(dòng)桿的外圈一側(cè)固定連接有同步輪。

3、優(yōu)選的，所述散熱組件包括有水箱，所述水箱與箱體的另一側(cè)固定連接，所述水箱的內(nèi)壁頂部設(shè)置有蓋板，所述蓋板的頂部一側(cè)貫穿并螺紋連接有第二密封蓋，所述蓋板的頂部一側(cè)貫穿并固定連接有蒸汽管。

4、優(yōu)選的，所述蒸汽管的一端固定連接有機(jī)械真空泵，且機(jī)械真空泵與箱體貫穿并固定連接，所述蒸汽管的外壁貫穿并固定連接有冷卻管，所述冷卻管的外壁頂部貫穿并固定連接有出水口，所述冷卻管的外壁底部貫穿并固定連接有進(jìn)水口。

5、優(yōu)選的，所述伺服電機(jī)的底部固定連接有第二均溫板，所述第二均溫板的底部固定連接有分布均勻的第二散熱翅片，所述減速機(jī)的底部固定連接有第一均溫板，所述第一均溫板的底部固定連接有分布均勻的第一散熱翅片。

6、優(yōu)選的，所述頂蓋的頂部貫穿并螺紋連接有分布均勻的第一螺栓，且第一螺栓貫穿第一密封墊并與箱體螺紋連接。

7、優(yōu)選的，所述第二密封墊的一側(cè)貫穿并螺紋連接有分布均勻的第一螺栓，且第一螺栓貫穿第二密封墊并與箱體螺紋連接。

8、優(yōu)選的，所述水箱和箱體之間開(kāi)設(shè)有進(jìn)水管。

9、優(yōu)選的，所述法蘭式密封磁流體裝置的外壁一端貫穿并螺紋連接有第二螺栓，且第二螺栓與法蘭螺紋連接。

10、本發(fā)明提供了一種基于真空環(huán)境應(yīng)用的雙軸柔性密封運(yùn)動(dòng)裝置。具備以下有益效果：

11、1、本發(fā)明箱體通過(guò)第一密封墊密封保證整個(gè)內(nèi)部腔室的密封性，第一密封蓋可以把箱體備用的孔位密封，作為預(yù)留口，伺服電機(jī)和減速機(jī)直連組成動(dòng)力機(jī)構(gòu)安裝于箱體內(nèi)腔，完全與外部隔離，法蘭式密封磁流體裝置安裝在減速機(jī)的輸出軸上，起到減速機(jī)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的密封隔離作用，防止持續(xù)高速、高溫運(yùn)動(dòng)過(guò)程中造成泄露，同步輪安裝在法蘭式密封磁流體裝置上，可以直連同步帶傳遞動(dòng)力。

12、2、本發(fā)明蒸發(fā)的水蒸氣通過(guò)機(jī)械真空泵將水蒸氣送往蒸汽管內(nèi)，通過(guò)冷卻管對(duì)蒸汽管內(nèi)的水蒸氣進(jìn)行降溫，從而將水蒸氣轉(zhuǎn)化為水，使水進(jìn)入水箱，在通過(guò)進(jìn)水管進(jìn)入箱體內(nèi)，第一均溫板、第一散熱翅片、第二均溫板和第二散熱翅片通過(guò)水升華，將溫度帶走，從而對(duì)伺服電機(jī)和減速機(jī)的溫度帶走。

技術(shù)特征：

1.一種基于真空環(huán)境應(yīng)用的雙軸柔性密封運(yùn)動(dòng)裝置，包括箱體（1），其特征在于，所述箱體（1）的頂部設(shè)置有第一密封墊（3），所述箱體（1）的內(nèi)壁頂部滑動(dòng)連接有頂蓋（4），所述箱體（1）的一側(cè)貫穿并滑動(dòng)連接有第一密封蓋（7），所述第一密封蓋（7）的一側(cè)貫穿并滑動(dòng)連接有第二密封墊（6），所述箱體（1）的兩端一側(cè)均固定連接有法蘭（8），所述箱體（1）的另一側(cè)設(shè)置有散熱組件，所述頂蓋（4）的底部一側(cè)固定連接有減速機(jī)（23），所述減速機(jī)（23）的一端固定連接有伺服電機(jī)（21），所述伺服電機(jī)（21）的輸出端固定連接有聯(lián)軸器（22），且聯(lián)軸器（22）的一端與減速機(jī)（23）固定連接，所述減速機(jī)（23）的輸出端均固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿（24），所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿（24）的一端固定連接有傳動(dòng)桿（19），所述傳動(dòng)桿（19）的外壁中間設(shè)置有法蘭式密封磁流體裝置（18），且法蘭式密封磁流體裝置（18）與法蘭（8）接觸，所述箱體（1）的兩端另一側(cè)均貫穿并開(kāi)設(shè)有視窗（2），所述傳動(dòng)桿（19）的外圈一側(cè)固定連接有同步輪（20）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于真空環(huán)境應(yīng)用的雙軸柔性密封運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述散熱組件包括有水箱（9），所述水箱（9）與箱體（1）的另一側(cè)固定連接，所述水箱（9）的內(nèi)壁頂部設(shè)置有蓋板（10），所述蓋板（10）的頂部一側(cè)貫穿并螺紋連接有第二密封蓋（11），所述蓋板（10）的頂部一側(cè)貫穿并固定連接有蒸汽管（12）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于真空環(huán)境應(yīng)用的雙軸柔性密封運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述蒸汽管（12）的一端固定連接有機(jī)械真空泵（16），且機(jī)械真空泵（16）與箱體（1）貫穿并固定連接，所述蒸汽管（12）的外壁貫穿并固定連接有冷卻管（13），所述冷卻管（13）的外壁頂部貫穿并固定連接有出水口（15），所述冷卻管（13）的外壁底部貫穿并固定連接有進(jìn)水口（14）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于真空環(huán)境應(yīng)用的雙軸柔性密封運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述伺服電機(jī)（21）的底部固定連接有第二均溫板（27），所述第二均溫板（27）的底部固定連接有分布均勻的第二散熱翅片（28），所述減速機(jī)（23）的底部固定連接有第一均溫板（25），所述第一均溫板（25）的底部固定連接有分布均勻的第一散熱翅片（26）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于真空環(huán)境應(yīng)用的雙軸柔性密封運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述頂蓋（4）的頂部貫穿并螺紋連接有分布均勻的第一螺栓（5），且第一螺栓（5）貫穿第一密封墊（3）并與箱體（1）螺紋連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于真空環(huán)境應(yīng)用的雙軸柔性密封運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述第二密封墊（6）的一側(cè)貫穿并螺紋連接有分布均勻的第一螺栓（5），且第一螺栓（5）貫穿第二密封墊（6）并與箱體（1）螺紋連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于真空環(huán)境應(yīng)用的雙軸柔性密封運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述水箱（9）和箱體（1）之間開(kāi)設(shè)有進(jìn)水管（29）。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于真空環(huán)境應(yīng)用的雙軸柔性密封運(yùn)動(dòng)裝置，其特征在于，所述法蘭式密封磁流體裝置（18）的外壁一端貫穿并螺紋連接有第二螺栓（17），且第二螺栓（17）與法蘭（8）螺紋連接。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及玻璃生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種基于真空環(huán)境應(yīng)用的雙軸柔性密封運(yùn)動(dòng)裝置，包括箱體，所述箱體的頂部設(shè)置有第一密封墊，所述箱體的內(nèi)壁頂部滑動(dòng)連接有頂蓋，所述箱體的一側(cè)貫穿并滑動(dòng)連接有第一密封蓋，所述第一密封蓋的一側(cè)貫穿并滑動(dòng)連接有第二密封墊，所述箱體的兩端一側(cè)均固定連接有法蘭，所述箱體的另一側(cè)設(shè)置有散熱組件。蒸發(fā)的水蒸氣通過(guò)機(jī)械真空泵將水蒸氣送往蒸汽管內(nèi)，通過(guò)冷卻管對(duì)蒸汽管內(nèi)的水蒸氣進(jìn)行降溫，從而將水蒸氣轉(zhuǎn)化為水，使水進(jìn)入水箱，再通過(guò)進(jìn)水管進(jìn)入箱體內(nèi)，第一均溫板、第一散熱翅片、第二均溫板和第二散熱翅片通過(guò)水升華，將溫度帶走，從而對(duì)伺服電機(jī)和減速機(jī)的溫度帶走。

技術(shù)研發(fā)人員：謝威,盧永俊,陳德海
受保護(hù)的技術(shù)使用者：合肥塞美克智能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/22