專利名稱：檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及一種檢查方法。更具體而言，本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及一種利用形狀測(cè)量裝置來(lái)檢查測(cè)量目標(biāo)的檢查方法。
背景技術(shù)：
一般來(lái)說(shuō)，在電子裝置中使用至少一個(gè)印刷電路板(PCB)，在PCB上安裝例如電路圖案、連接焊片部、電連接到連接焊片部的驅(qū)動(dòng)芯片等各種電路元件。形狀檢查裝置通常用于檢查形成或構(gòu)造在印刷電路板上的各種電路元件是否良好。在常規(guī)形狀檢查裝置中，設(shè)定預(yù)定的檢查區(qū)域，以檢查在檢查區(qū)域中形成的電路元件是否良好。在常規(guī)的設(shè)定檢查區(qū)域的方法中，簡(jiǎn)單地將理論上布置電路元件的區(qū)域設(shè)定為檢查區(qū)域。當(dāng)將檢查區(qū)域設(shè)定在正確位置時(shí)，可以良好地對(duì)所需電路元件進(jìn)行檢查。然而，在例如PCB等測(cè)量目標(biāo)中，基板可產(chǎn)生例如翹曲、扭曲等變形。因此，在常規(guī)的設(shè)定檢查區(qū)域的方法中，檢查區(qū)域不被設(shè)定在所需位置，并且與圖像捕獲部的照相機(jī)所獲取的圖像對(duì)應(yīng)的位置與電路元件實(shí)際存在的位置略有不同。因此，需要設(shè)定檢查區(qū)域，以便補(bǔ)償測(cè)量目標(biāo)的變形。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的示例性實(shí)施例提供一種檢查裝置，即使在板(例如印刷板)上的目標(biāo)測(cè)量區(qū)域中用于確立特征對(duì)象的形狀信息缺失或者不足，該檢查裝置也能夠設(shè)定補(bǔ)償板的變形的檢查區(qū)域，并且能夠通過(guò)獲取基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)之間的轉(zhuǎn)換關(guān)系來(lái)正確地設(shè)定檢查區(qū)域。本發(fā)明的其他特征將在下面的說(shuō)明中敘述，部分地根據(jù)隨后的說(shuō)明變得顯而易見(jiàn)，或者可通過(guò)本發(fā)明的實(shí)施來(lái)獲悉。本發(fā)明的示例性實(shí)施例公開(kāi)了一種檢查方法。該檢查方法包括在板上設(shè)定多個(gè)測(cè)量區(qū)域；在多個(gè)測(cè)量區(qū)域中獲取與用于檢查測(cè)量目標(biāo)的目標(biāo)測(cè)量區(qū)域相鄰的至少一個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)；從相鄰測(cè)量區(qū)域提取至少一個(gè)特征對(duì)象；通過(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和與特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)互相比較來(lái)獲取變形度；以及補(bǔ)償變形度，以便在目標(biāo)測(cè)量區(qū)域中設(shè)定檢查區(qū)域。從相鄰測(cè)量區(qū)域提取至少一個(gè)特征對(duì)象的步驟可包括確立特征對(duì)象的基準(zhǔn)類型和基準(zhǔn)數(shù)；以及在從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域提取的特征對(duì)象的數(shù)目小于基準(zhǔn)數(shù)的情況下，從相鄰測(cè)量區(qū)域提取與基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象。相鄰測(cè)量區(qū)域可以是多個(gè)。在從相鄰測(cè)量區(qū)域提取與基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象之前，從相鄰測(cè)量區(qū)域提取至少一個(gè)特征對(duì)象的步驟還包括在多個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域中選擇用于提取特征對(duì)象的相鄰測(cè)量區(qū)域。在示例性實(shí)施例中，在從相鄰測(cè)量區(qū)域提取至少一個(gè)特征對(duì)象之前，該檢查方法還包括為每個(gè)測(cè)量區(qū)域確立特征對(duì)象；對(duì)于每個(gè)測(cè)量區(qū)域核對(duì)所確立的特征對(duì)象的數(shù)目是否小于基準(zhǔn)數(shù)；以及對(duì)于確立的特征對(duì)象的數(shù)目小于基準(zhǔn)數(shù)的測(cè)量區(qū)域選擇用于提取特征對(duì)象的相鄰測(cè)量區(qū)域。在示例性實(shí)施例中，可從在獲取目標(biāo)測(cè)量區(qū)域的測(cè)量數(shù)據(jù)之前獲取了測(cè)量數(shù)據(jù)的特定相鄰測(cè)量區(qū)域提取特征對(duì)象。在示例性實(shí)施例中，從相鄰測(cè)量區(qū)域提取至少一個(gè)特征對(duì)象的步驟可包括確立特征對(duì)象的基準(zhǔn)類型和基準(zhǔn)數(shù)；將目標(biāo)測(cè)量區(qū)域擴(kuò)大預(yù)定面積；在擴(kuò)大的區(qū)域中提取與基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象；以及在提取的特征對(duì)象的數(shù)目小于基準(zhǔn)數(shù)的情況下，重復(fù)將目標(biāo)測(cè)量區(qū)域擴(kuò)大預(yù)定面積的步驟以及在擴(kuò)大的區(qū)域中提取與基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象的步驟?？赏ㄟ^(guò)下述方式執(zhí)行將目標(biāo)測(cè)量區(qū)域擴(kuò)大預(yù)定面積的步驟在位于擴(kuò)大的區(qū)域和所選擇的至少一個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域之間的相交區(qū)域中提取與基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象。在將目標(biāo)測(cè)量區(qū)域擴(kuò)大預(yù)定面積之前，從相鄰測(cè)量區(qū)域提取至少一個(gè)特征對(duì)象的步驟還可包括從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域中提取與基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象，以及在從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域提取的特征對(duì)象的數(shù)目小于基準(zhǔn)數(shù)的情況下，可執(zhí)行將目標(biāo)測(cè)量區(qū)域擴(kuò)大預(yù)定面積的步驟。在示例性實(shí)施例中，所提取的特征對(duì)象可以是多個(gè)。特征對(duì)象和目標(biāo)測(cè)量區(qū)域之間的距離越近，該特征對(duì)象可被賦予的加權(quán)值越大，可通過(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和基于加權(quán)值選擇的與特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)互相比較來(lái)獲取變形度。該距離可以是從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域的邊界線、目標(biāo)測(cè)量區(qū)域的中心點(diǎn)和測(cè)量目標(biāo)的中心點(diǎn)中的至少一者測(cè)量的(即，以目標(biāo)測(cè)量區(qū)域的邊界線、中心點(diǎn)或測(cè)量目標(biāo)的中心點(diǎn)為測(cè)量基準(zhǔn)點(diǎn))。在示例性實(shí)施例中，所提取的特征對(duì)象可以是多個(gè)?；鶞?zhǔn)數(shù)據(jù)和與特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)之間的形狀差異越小，該特征對(duì)象可被賦予的分?jǐn)?shù)越大，可通過(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和基于分?jǐn)?shù)選擇的與特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)互相比較來(lái)獲取變形度。在示例性實(shí)施例中，所提取的特征對(duì)象可以是多個(gè)。特征對(duì)象和目標(biāo)測(cè)量區(qū)域之間的距離越近，該特征對(duì)象可被賦予的加權(quán)值越大?；鶞?zhǔn)數(shù)據(jù)和與特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)之間的形狀差異越小，該特征對(duì)象可被賦予的分?jǐn)?shù)越大?？赏ㄟ^(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和基于加權(quán)值和分?jǐn)?shù)中的至少一者選擇的與特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)互相比較來(lái)獲取變形度。在示例性實(shí)施例中，相鄰測(cè)量區(qū)域可以是多個(gè)，所提取的特征對(duì)象可以是多個(gè)。對(duì)于多個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域，可均勻地提取特征對(duì)象。本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例公開(kāi)一種檢查方法。該檢查方法包括在板上設(shè)定多個(gè)測(cè)量區(qū)域；在多個(gè)測(cè)量區(qū)域中獲取與用于檢查測(cè)量目標(biāo)的目標(biāo)測(cè)量區(qū)域相鄰的至少一個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)；從相鄰測(cè)量區(qū)域提取至少一個(gè)具有塊單元的特征塊；通過(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和與特征塊對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)互相比較來(lái)獲取變形度；以及補(bǔ)償變形度，以便在目標(biāo)測(cè)量區(qū)域中設(shè)定檢查區(qū)域。在示例性實(shí)施例中，所提取的特征塊可以是多個(gè)?？色@取變形度可作為基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)之間的量化轉(zhuǎn)換公式(即，所獲取的變形度可表達(dá)為基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)之間的量化轉(zhuǎn)換公式)?？赏ㄟ^(guò)利用位置變化、斜度變化、尺寸變化和變化程度中的至少一者確定量化轉(zhuǎn)換公式，通過(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和與多個(gè)特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)互相比較來(lái)獲取位置變化、斜度變化、尺寸變化和變化程度。根據(jù)本發(fā)明，如果在板上的目標(biāo)測(cè)量區(qū)域沒(méi)有用于確立特征對(duì)象的形狀信息或僅有很少的形狀信息，則在相鄰測(cè)量區(qū)域另外確立特征對(duì)象，從而更準(zhǔn)確地獲取基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)之間的轉(zhuǎn)換關(guān)系，并且通過(guò)利用轉(zhuǎn)換關(guān)系補(bǔ)償測(cè)量數(shù)據(jù)的變形來(lái)設(shè)定檢查區(qū)域。此外，在確立的特征塊包括塊單元作為特征對(duì)象的特定形狀的情況下，可出現(xiàn)沒(méi)有足夠的形狀信息可選擇作為特征對(duì)象的情況，因此如上，可使用在相鄰測(cè)量區(qū)域中的特征對(duì)象，以獲取足夠數(shù)目的特征對(duì)象。此外，在對(duì)于目標(biāo)測(cè)量區(qū)域和相鄰測(cè)量區(qū)域中的特征對(duì)象分別確立加權(quán)值的情況下，可較準(zhǔn)確地獲取轉(zhuǎn)換關(guān)系。此外，在對(duì)于多個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域均勻地確立特征對(duì)象的情況下，可較準(zhǔn)確地獲取轉(zhuǎn)換關(guān)系。此外，可防止由于檢查區(qū)域的改變而發(fā)生的錯(cuò)誤，檢查區(qū)域的改變是因焊片和部件由于板的翹曲、扭曲等而引起的位置變化而導(dǎo)致的，并且可更精確地設(shè)定檢查區(qū)域。此外，可基于如上所述設(shè)定的檢查區(qū)域?qū)Σ考M(jìn)行例如故障檢查等作業(yè)，并且可正確地判定板的好壞。此外，可利用如上所述設(shè)定的測(cè)量區(qū)域正確地測(cè)量存在于測(cè)量區(qū)域中的測(cè)量目標(biāo)的信息。此外，可補(bǔ)償基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)之間的變形，因此可更準(zhǔn)確地根據(jù)基準(zhǔn)數(shù)據(jù)預(yù)測(cè)測(cè)量數(shù)據(jù)中的焊片、部件、圖案、絲線等的區(qū)域。應(yīng)當(dāng)理解，前述概括說(shuō)明和下述的詳細(xì)說(shuō)明都是示例性和解釋性的，旨在對(duì)要求保護(hù)的本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明。


為了進(jìn)一步理解本發(fā)明，本發(fā)明包括附圖，附圖結(jié)合在本發(fā)明中并且構(gòu)成本發(fā)明的一部分，附圖示出本發(fā)明的實(shí)施例，并且與下述說(shuō)明一起用于說(shuō)明本發(fā)明的原理。圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的檢查方法的流程圖。圖2是示出圖1中所示的檢查方法的俯視圖。圖3是示出圖1中所示的檢查方法中的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)的俯視圖。圖4是示出圖1中所示的檢查方法中的測(cè)量數(shù)據(jù)的俯視圖。圖5是示出在圖1中所示的檢查方法中用于提取特征對(duì)象的方法的示例性實(shí)施例的流程圖。圖6是示出圖1中的提取特征對(duì)象的方法的示意性俯視圖。圖7是示出圖1中的用于提取特征對(duì)象的方法的另一示例性實(shí)施例的示意性俯視圖。
具體實(shí)施例方式下文將參照附圖更全面地說(shuō)明本發(fā)明，附圖示出本發(fā)明的示例性實(shí)施例。然而，本發(fā)明可體現(xiàn)為多種不同形式，并且不應(yīng)該解釋為限制為本文所述的示例性實(shí)施例。反而，提供這些示例性實(shí)施例以使得本發(fā)明全面和完整，并且將本發(fā)明的范圍傳遞到本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員。在附圖中，為了清楚起見(jiàn)，可放大層和區(qū)的尺寸和相對(duì)尺寸。應(yīng)當(dāng)理解，當(dāng)元件或?qū)颖徽f(shuō)明為位于另一元件或?qū)印吧稀薄ⅰ斑B接到”或“聯(lián)結(jié)到”另一元件或?qū)訒r(shí)，可直接位于另一元件或?qū)由?、直接“連接到”或“聯(lián)結(jié)到”另一元件或?qū)由?，或者可存在中間元件或?qū)印Ｏ喾?，?dāng)元件被說(shuō)明為直接位于另一元件或?qū)印吧稀薄ⅰ爸苯舆B接到”或“直接聯(lián)結(jié)到”另一元件或?qū)訒r(shí)，不存在中間元件或?qū)印Ｘ灤┍疚?，相似的附圖標(biāo)記表示相似的部件。如在本文中所用，術(shù)語(yǔ)“和/或”包括一個(gè)以上的相關(guān)列出項(xiàng)的任意組合和全部組合。應(yīng)當(dāng)理解，盡管本文可使用術(shù)語(yǔ)“第一、第二、第三”等來(lái)說(shuō)明各種元件、部件、區(qū)、 層和/或段，但是這些元件、部件、區(qū)、層和/或段不應(yīng)由這些術(shù)語(yǔ)限制。這些術(shù)語(yǔ)僅用于將一個(gè)元件、部件、區(qū)、層或段與另一個(gè)元件、部件、區(qū)、層或段區(qū)分開(kāi)。因此，下文所述的第一元件、部件、區(qū)、層或段可被稱為第二元件、部件、區(qū)、層或段，而不偏離本發(fā)明的教導(dǎo)。為了易于說(shuō)明，可在本文中使用空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)，如“之下”、“下方”、“下”、“之上”、 “上”等，來(lái)說(shuō)明在圖中所示的一個(gè)元件或特征與另一個(gè)元件或特征的關(guān)系。應(yīng)當(dāng)理解，空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)旨在包含除附圖所示的方位之外的裝置使用或工作時(shí)的不同方位。例如，如果圖中所示的裝置倒置，則描述為在另一元件或特征的“下方”或“之下”的元件將位于另一元件或特征的“上方”。因此，示例性術(shù)語(yǔ)“下方”可包含上方和下方兩種方位。裝置的方位可以是其它方式(旋轉(zhuǎn)90度或?yàn)槠渌轿?，對(duì)應(yīng)地解釋本文所使用的空間相對(duì)描述詞。本發(fā)明所用的措辭的目的是僅僅用于說(shuō)明具體示例性實(shí)施例而不是用于限制本發(fā)明。如本文所述，單數(shù)形式的用語(yǔ)旨在也包括復(fù)數(shù)形式的含義，除非上下文清楚做出相反的指示。還應(yīng)當(dāng)理解，在本說(shuō)明書(shū)中使用的術(shù)語(yǔ)“包括”和/或“包含”指明存在所述的特征、整體、步驟、操作、元件和/或部件，但不排除存在或增加一個(gè)以上的其它特征、整體、步驟、操作、元件、部件和/或其群組。這里參考截面圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的示例性實(shí)施例，截面圖是本發(fā)明的最佳示例性實(shí)施例(和中間結(jié)構(gòu))的示意圖。為此，將想到例如因制造技術(shù)和/或誤差引起的圖示形狀的變化。因此，本發(fā)明的示例性實(shí)施例不應(yīng)解釋為限制為這里所述的區(qū)域的特定形狀，而是包括例如因制造而導(dǎo)致的形狀偏差。例如，示出為矩形的注入?yún)^(qū)域?qū)⒌湫偷鼐哂械菇腔蚯€特征和/或在其邊緣具有注入濃度的梯度，而不是從注入?yún)^(qū)域到非注入?yún)^(qū)域的二元變化。類似地，由注入形成的嵌入?yún)^(qū)可在嵌入?yún)^(qū)和進(jìn)行注入的表面之間的區(qū)域中形成一定注入。因此，在圖中所示的區(qū)域?qū)嶋H上是示意性的，其形狀不是用于圖示裝置的區(qū)域的實(shí)際形狀，也不是用于限制本發(fā)明的范圍。除非有相反定義，否則本文所用的所有術(shù)語(yǔ)(包括技術(shù)術(shù)語(yǔ)和科學(xué)術(shù)語(yǔ))具有與本發(fā)明所述的本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員所普遍理解的含義相同的含義，還應(yīng)當(dāng)理解的是，如通常在字典中所定義的那些術(shù)語(yǔ)應(yīng)當(dāng)解釋為與相關(guān)領(lǐng)域的背景下的含義一致的含義，除非在本文清楚地定義，否則不能解釋為理想或過(guò)分形式的意義。下文將參考附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的示例性實(shí)施例。圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的檢查方法的流程圖。圖2是示出圖1中所示的檢查方法的俯視圖。參考圖1和圖2，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，為了設(shè)定補(bǔ)償變形的檢查區(qū)域，首先在步驟SllO中設(shè)定多個(gè)測(cè)量區(qū)域。測(cè)量區(qū)域表示在板(例如印刷板)100上設(shè)定的預(yù)定區(qū)域，以便檢查板100是否劣化，并且例如可基于安裝在檢查裝置(例如三維形狀測(cè)量裝置)中的照相機(jī)的“視場(chǎng)”來(lái)限定測(cè)量區(qū)域。然后，在步驟S120中，選擇與檢查測(cè)量目標(biāo)所需的區(qū)域?qū)?yīng)的目標(biāo)測(cè)量區(qū)域作為檢查區(qū)域。根據(jù)選擇的目標(biāo)測(cè)量區(qū)域，存在與目標(biāo)測(cè)量區(qū)域相鄰的相鄰測(cè)量區(qū)域。相鄰測(cè)量區(qū)域可根據(jù)測(cè)量區(qū)域的形狀和位置而改變。在測(cè)量區(qū)域的形狀為矩形的情況下，存在至少3 個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域，可存在8個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域。在圖2中，目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG位于板100的中間，示出的實(shí)例示出了分別在上側(cè)、下側(cè)、左側(cè)、右側(cè)、左上側(cè)、左下側(cè)、右上側(cè)和右下側(cè)與目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG相鄰的8個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域AD-U、AD-D, AD-L, AD-R、AD-UL, AD-DL, AD-UR禾口 AD-DR的位置。分別在左上側(cè)、左下側(cè)、右上側(cè)和右下側(cè)與目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG相鄰的4個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域AD-UL、AD-DL、AD-UR和AD-DR的位置可認(rèn)為不是相鄰測(cè)量區(qū)域。然后，在步驟S130中獲取與目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG相鄰的相鄰測(cè)量區(qū)域AD-U、AD-D, AD-L, AD-R、AD-UL, AD-DL, AD-UR和AD-DR的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)。圖3是示出圖1中所示的檢查方法中的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)的俯視圖。參考圖3，基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI例如可與板100的理論俯視圖對(duì)應(yīng)。在示例性實(shí)施例中，可從記錄板形狀的CAD信息或gerber信息獲取基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI。 CAD信息或gerber信息可包括板的設(shè)計(jì)信息，通常包括焊片10、電路圖案30、孔圖案40等的構(gòu)造信息。在另一示例性實(shí)施例中，可從在學(xué)習(xí)模式下獲取的學(xué)習(xí)信息獲取基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI。學(xué)習(xí)模式可例如通過(guò)如下過(guò)程實(shí)現(xiàn)例如從數(shù)據(jù)庫(kù)搜索板信息，在數(shù)據(jù)庫(kù)中沒(méi)有板信息的情況下，則學(xué)習(xí)裸板信息，將通過(guò)學(xué)習(xí)裸板而產(chǎn)生板信息之后將板信息存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中。也就是，在學(xué)習(xí)模式中，學(xué)習(xí)PCB的裸板，并且獲取PCB的設(shè)計(jì)基準(zhǔn)信息，可通過(guò)獲取經(jīng)由學(xué)習(xí)模式學(xué)習(xí)的學(xué)習(xí)信息來(lái)獲取基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI。圖4是示出圖1中所示的檢查方法中的測(cè)量數(shù)據(jù)的俯視圖。參考圖4，測(cè)量數(shù)據(jù)PI例如可以是PCB的實(shí)際捕獲圖像。例如，在測(cè)量數(shù)據(jù)PI中可顯示安裝在板100上的部件20、端子22、形成在部件20上的極性指示24、電路圖案30、 孔42等。如圖4所示，除了例如部件20等附加元件之外，測(cè)量數(shù)據(jù)PI的圖像與圖3中所示的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI的圖像相同。然而，因板100的翹曲、扭曲等，使得測(cè)量數(shù)據(jù)PI與基準(zhǔn)數(shù)據(jù) RI相比有變形。在示例性實(shí)施例中，可通過(guò)如下方法獲取測(cè)量數(shù)據(jù)PI 使用檢查裝置的照明部將光照射到目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG，使用安裝在檢查裝置上的照相機(jī)捕獲由照射光反射的圖像。可選地，可通過(guò)如下方式獲取測(cè)量數(shù)據(jù)PI 使用檢查裝置的光柵圖案投射部將光柵圖案光投射到目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG，并捕獲由投射光柵圖案光反射的圖像。然后，參考圖1至圖4，在步驟S140中從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG以及相鄰測(cè)量區(qū)域AD-U、 AD-D, AD-L, AD-R、AD-UL, AD-DL, AD-UR 和 AD-DR 提取至少一個(gè)特征對(duì)象。特征對(duì)象被用作獲取基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和測(cè)量數(shù)據(jù)PI之間的轉(zhuǎn)換關(guān)系的比較基準(zhǔn)。也就是說(shuō)，利用特征對(duì)象因板100的變形而在基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和測(cè)量數(shù)據(jù)PI之間發(fā)生變化的程度來(lái)限定轉(zhuǎn)換關(guān)系。特征對(duì)象可包括具有特定形狀的對(duì)象，該對(duì)象在基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和測(cè)量數(shù)據(jù)PI中位于預(yù)定的坐標(biāo)。例如，特征對(duì)象可包括形成在板100上的孔圖案、彎曲電路圖案的角部等， 可通過(guò)基于孔圖案的中心點(diǎn)的坐標(biāo)或彎曲電路圖案的角部的角處的坐標(biāo)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和測(cè)量數(shù)據(jù)PI互相比較來(lái)獲取下文所述的轉(zhuǎn)換關(guān)系?？蛇x地，如圖3和圖4所示，特征對(duì)象可限定為塊單元中的特征塊。在限定特征對(duì)象為特征塊的情況下，由于可基于包含在特征塊中的各種形狀來(lái)比較基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和測(cè)量數(shù)據(jù)PI，因此可將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和測(cè)量數(shù)據(jù)PI進(jìn)行精確地互相比較。由于使用特征對(duì)象作為比較基準(zhǔn)來(lái)獲取基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和測(cè)量數(shù)據(jù)PI之間的轉(zhuǎn)換關(guān)系，所以需要精確地確立基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和測(cè)量數(shù)據(jù)PI中的特征對(duì)象。這是由于下述原因在未能對(duì)基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和測(cè)量數(shù)據(jù)PI精確地確立特征對(duì)象的情況下，在將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和與特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)PI比較時(shí)可能引起誤差。因此，可確立特征對(duì)象，以便消除錯(cuò)誤識(shí)別的可能性。對(duì)于上述精確確立特征對(duì)象而言，可能出現(xiàn)在目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG沒(méi)有對(duì)象或僅有很少的對(duì)象可選擇作為特征對(duì)象的情況。因此，為了確保足夠的特征對(duì)象，可從與目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG相鄰的相鄰測(cè)量區(qū)域AD-U、AD-D、AD-L、AD-R、AD-UL、AD-DL、AD-UR和AD-DR提取特征對(duì)象。在預(yù)先在多個(gè)測(cè)量區(qū)域確立特征對(duì)象之后，可在當(dāng)前步驟中提取一些確立的特征對(duì)象?？蛇x地，在當(dāng)前步驟中，可在目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG和相鄰測(cè)量區(qū)域AD-U、AD-D, AD-L、 AD-R、AD-UL, AD-DL, AD-UR和AD-DR中同時(shí)確立和提取特征對(duì)象?？苫诨鶞?zhǔn)數(shù)據(jù)RI確立特征對(duì)象，也可基于測(cè)量數(shù)據(jù)PI確立特征對(duì)象。在示例性實(shí)施例中，當(dāng)在步驟S140中從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG和相鄰測(cè)量區(qū)域AD_U、 AD-D, AD-L、AD-R、AD-UL, AD-DL, AD-UR和AD-DR提取至少一個(gè)特征對(duì)象時(shí)，可從相鄰測(cè)量區(qū)域AD-U、AD-D, AD-L, AD-R、AD-UL, AD-DL, AD-UR和AD-DR選擇一個(gè)以上的用于提取特征對(duì)象的相鄰測(cè)量區(qū)域。在另一示例性實(shí)施例中，在步驟S140中提取特征對(duì)象之前且在預(yù)先對(duì)每個(gè)測(cè)量區(qū)域確立特征對(duì)象之后，核對(duì)為每個(gè)測(cè)量區(qū)域確立的特征對(duì)象的數(shù)目是否比基準(zhǔn)數(shù)小。然后，在存在特征對(duì)象的數(shù)目比基準(zhǔn)數(shù)小的測(cè)量區(qū)域的情況下，可預(yù)先選擇用于提取特征對(duì)象的相鄰測(cè)量區(qū)域用作該測(cè)量區(qū)域。圖5是示出在圖1中所示的檢查方法中用于提取特征對(duì)象的方法的示例性實(shí)施例的流程圖。圖6是示出圖1中的提取特征對(duì)象的方法的示意性俯視圖。參考圖5和圖6，首先，在步驟S 142中，確立特征對(duì)象所使用的基準(zhǔn)類型及其基準(zhǔn)數(shù)。例如，基準(zhǔn)類型可確立為在例如圖3和圖4所示的第一特征對(duì)象FTl的特征塊中彼此大體平行的兩個(gè)彎曲圖案，基準(zhǔn)數(shù)可確立為與能夠根據(jù)變形度限定轉(zhuǎn)換關(guān)系的數(shù)目對(duì)應(yīng)的數(shù)目，例如3、4等。然后，在步驟S143中，從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG提取與特征類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象。然后，在步驟S144中，將從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG提取的特征對(duì)象的數(shù)目與基準(zhǔn)數(shù)進(jìn)行比較。在從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG提取的特征對(duì)象的數(shù)目比基準(zhǔn)數(shù)小的情況下，在步驟S145 中，將目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG擴(kuò)大預(yù)定面積。否則，由于已經(jīng)獲取了所需數(shù)目的特征對(duì)象，因此終止提取特征對(duì)象的步驟。例如，在基準(zhǔn)數(shù)為4的情況下，如圖6所示在目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG僅存在第一特征對(duì)象FTl作為特征對(duì)象，由于從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG提取的特征對(duì)象的數(shù)目為1，小于基準(zhǔn)數(shù)4， 因此將目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG擴(kuò)大預(yù)定面積。擴(kuò)大方法可例如包括按照目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG的各邊界線成比例擴(kuò)大?？蛇x地，可將目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG擴(kuò)大成距目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG的各邊界線的距離相同。然后，在步驟S146 中，從與相鄰測(cè)量區(qū)域 AD-U、AD-D, AD-L, AD-R、AD-UL, AD-DL, AD-UR和AD-DR對(duì)應(yīng)的擴(kuò)大區(qū)域提取與基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象。例如，如圖6所示，由于在第一擴(kuò)大區(qū)域EAl中存在與基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的第二特征對(duì)象FT2，因此將第二特征對(duì)象FT2提取為特征對(duì)象。然后，在步驟S147中，將提取的特征對(duì)象的數(shù)目與基準(zhǔn)數(shù)互相比較。在提取的特征對(duì)象的數(shù)目比基準(zhǔn)數(shù)小的情況下，重復(fù)將目標(biāo)測(cè)量區(qū)域擴(kuò)大預(yù)定面積的步驟S145和下一步驟。否則，由于已經(jīng)獲取了所需數(shù)目的特征對(duì)象，因此終止提取特征對(duì)象的步驟。例如，在基準(zhǔn)數(shù)為4的情況下，而如圖6所示，在目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG和第一擴(kuò)大區(qū)域 EAl存在第一特征對(duì)象FTl和第二特征對(duì)象FT2作為特征對(duì)象，由于從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG和第一擴(kuò)大區(qū)域EAl提取的特征對(duì)象的數(shù)目為2，小于基準(zhǔn)數(shù)4，因此在步驟8145中將目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG擴(kuò)大預(yù)定面積，另外提取特征對(duì)象。在特征對(duì)象的數(shù)目超過(guò)基準(zhǔn)數(shù)的情況下，可從提取的特征對(duì)象中去除與多余數(shù)目對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象。在該情況下，可在基準(zhǔn)數(shù)的范圍內(nèi)均勻地提取特征對(duì)象。例如，在可從與相鄰測(cè)量區(qū)域AD-U、AD-D, AD-L, AD-R、AD-UL, AD-DL, AD-UR 禾口 AD-DR對(duì)應(yīng)的第二擴(kuò)大區(qū)域EA2提取第三特征對(duì)象FT3、第四特征對(duì)象FT4和第五特征對(duì)象 FT5作為與基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象的情況下，由于特征對(duì)象的數(shù)目為5，超過(guò)基準(zhǔn)數(shù)4，因此，可從提取的特征對(duì)象中除去第三特征對(duì)象FT3、第四特征對(duì)象FT4和第五特征對(duì)象FT5 中的任意一個(gè)。由于第四特征對(duì)象FT4與第二特征對(duì)象FT2屬于同一區(qū)域(即相鄰測(cè)量區(qū)域AD-L)，因此可從提取的特征對(duì)象中除去第四特征對(duì)象FT4，以便均勻地提取特征對(duì)象。 因此，與基準(zhǔn)數(shù)對(duì)應(yīng)的4個(gè)特征對(duì)象是第一特征對(duì)象FTl、第二特征對(duì)象FT2、第三特征對(duì)象 FT3和第五特征對(duì)象FT5?？蓮耐瓿蓽y(cè)量的相鄰測(cè)量區(qū)域提取特征對(duì)象，以便使用之前獲取的測(cè)量數(shù)據(jù)。圖7是示出圖1中的用于提取特征對(duì)象的方法的另一示例性實(shí)施例的示意性俯視圖。參考圖7，可從在獲取目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG中的測(cè)量數(shù)據(jù)之前獲取了測(cè)量數(shù)據(jù)的特定相鄰測(cè)量區(qū)域中提取特征對(duì)象。例如，如圖7所示，當(dāng)沿著箭頭的方向的順序獲取測(cè)量區(qū)域的測(cè)量數(shù)據(jù)時(shí)，可從在獲取(測(cè)定)目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG中的測(cè)量數(shù)據(jù)之前獲取了(測(cè)定了)測(cè)量數(shù)據(jù)的相鄰測(cè)量區(qū)域AD-UR、AD-U、AD-UL和AD-L提取特征對(duì)象。由于位于用于設(shè)定檢查區(qū)域的目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG外側(cè)的相鄰測(cè)量區(qū)域AD-U、AD_D、 AD-L、AD-R、AD-UL、AD-DL、AD-UR和AD-DR中存在的特征對(duì)象被用于獲取下文將描述的變形度，并且特征對(duì)象距目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG的距離彼此不同，因此可根據(jù)預(yù)定規(guī)則將加權(quán)值賦予特征對(duì)象。在示例性實(shí)施例中，隨著特征對(duì)象和目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG之間的距離越近，可被賦予特征對(duì)象的加權(quán)值越大。例如，最大的加權(quán)值被賦予存在于目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG中的特征對(duì)象，在相鄰測(cè)量區(qū)域AD-U、AD-D、AD-L、AD-R、AD-UL、AD-DL、AD-UR和AD-DR中存在特征對(duì)象的情況下，隨著特征對(duì)象和目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG之間的距離越近，可被賦予特征對(duì)象的加權(quán)值越大。例如，最大的加權(quán)值被賦予存在于目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG中的第一特征對(duì)象FT1，次大的加權(quán)值被賦予第二特征對(duì)象FT2，最小的加權(quán)值被賦予第三特征對(duì)象FT3和第五特征對(duì)象FT5。此外，對(duì)于第二特征對(duì)象FT2、第三特征對(duì)象FT3和第五特征對(duì)象FT5，被賦予的權(quán)值可與距目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG的距離成比例。該距離可從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG的邊界線或者目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG的中心點(diǎn)CTR中的至少一者測(cè)量。此外，距離可從形成在目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG中的測(cè)量目標(biāo)的中心點(diǎn)測(cè)量。在上述距離是從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG的中心點(diǎn)CTR或測(cè)量目標(biāo)的中心點(diǎn)測(cè)量的情況下，根據(jù)存在于目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG中的第一特征對(duì)象FTl距目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG的中心點(diǎn)CTR 或測(cè)量目標(biāo)的中心點(diǎn)的距離而賦予第一特征對(duì)象FTl加權(quán)值。此外，在上述距離是從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG的中心點(diǎn)CTR或測(cè)量目標(biāo)的中心點(diǎn)測(cè)量的情況下，該距離可用于表示對(duì)目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG的形狀成比例擴(kuò)大時(shí)的擴(kuò)大比例。例如，如圖6所示，在該距離是從目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG的中心點(diǎn)CTR測(cè)量的情況下，從中心點(diǎn)CTR到第二特征對(duì)象FT2的第一距離Dl比從中心點(diǎn)CTR到第四特征對(duì)象FT4的第二距離D2長(zhǎng)。然而，關(guān)于對(duì)目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG的形狀成比例擴(kuò)大時(shí)的擴(kuò)大比例，由于第二特征對(duì)象FT2的第一擴(kuò)大比例D1/D3比第四特征對(duì)象FT4的第二擴(kuò)大比例D2/D4小，因此認(rèn)為第二特征對(duì)象 FT2的距離比第四特征對(duì)象FT4的距離短?？苫诩訖?quán)值獲取下文將說(shuō)明的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和測(cè)量數(shù)據(jù)PI之間的變形度?？筛鶕?jù)預(yù)定規(guī)則將與加權(quán)值無(wú)關(guān)的分?jǐn)?shù)賦予特征對(duì)象。例如，在基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和與特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)之間的形狀差異較小時(shí)，將較大的分?jǐn)?shù)賦予特征對(duì)象，提取具有較大分?jǐn)?shù)的特征對(duì)象，以獲取變形度。再次參考圖1和圖2，然后，在步驟S150中通過(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和與特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)PI互相比較來(lái)獲取變形度。變形度可表達(dá)為基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和測(cè)量數(shù)據(jù)PI之間的轉(zhuǎn)換關(guān)系，轉(zhuǎn)換關(guān)系可包括基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和測(cè)量數(shù)據(jù)PI之間的量化轉(zhuǎn)換公式。與對(duì)應(yīng)于理論基準(zhǔn)信息的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI相比，因板的翹曲、扭曲而導(dǎo)致測(cè)量數(shù)據(jù)PI 變形。轉(zhuǎn)換公式與將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和測(cè)量數(shù)據(jù)PI互相轉(zhuǎn)換的公式對(duì)應(yīng)，以便表達(dá)變形的程度即變形度。可利用位置變化、斜度變化、尺寸變化和變化程度中的至少一者來(lái)確定量化轉(zhuǎn)換公式，通過(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI和與特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)PI互相比較來(lái)獲取位置變化、斜度變化、尺寸變化和變化程度。例如，可通過(guò)使用等式1來(lái)獲取轉(zhuǎn)換公式。等式1PCADf (tm) = Preal在等式1中，Pfflll是CAD信息或gerber信息中的目標(biāo)坐標(biāo)，即在基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI中的坐標(biāo)，f(tm)與用作轉(zhuǎn)換矩陣或傳遞矩陣的轉(zhuǎn)換公式對(duì)應(yīng)，PMal是由照相機(jī)獲取的在測(cè)量數(shù)據(jù)PI中的目標(biāo)坐標(biāo)。當(dāng)找到在基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI中的理論坐標(biāo)Poffl與在測(cè)量數(shù)據(jù)PI中的實(shí)際坐標(biāo)PMal時(shí)，可獲知轉(zhuǎn)換矩陣。例如，轉(zhuǎn)換矩陣可包括根據(jù)仿射轉(zhuǎn)換(aff ine conversion)或透視轉(zhuǎn)換 (perspective conversion)的坐標(biāo)轉(zhuǎn)換矩陣，其中，點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的關(guān)系表示為η維空間的一階形式。為了限定坐標(biāo)轉(zhuǎn)換矩陣，可適當(dāng)?shù)卮_立特征對(duì)象的數(shù)目，例如在仿射轉(zhuǎn)換的情況下為 3個(gè)以上，在透視轉(zhuǎn)換的情況下為4個(gè)以上。然后，在步驟S160中補(bǔ)償變形度，以便在目標(biāo)測(cè)量區(qū)域中設(shè)定檢查區(qū)域。例如，可通過(guò)使用測(cè)量目標(biāo)中的變形度的轉(zhuǎn)換值(通過(guò)轉(zhuǎn)換關(guān)系獲得)轉(zhuǎn)換測(cè)量數(shù)據(jù)PI或者通過(guò)將與轉(zhuǎn)換關(guān)系有關(guān)的等式應(yīng)用于基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI以進(jìn)行轉(zhuǎn)換來(lái)設(shè)定用于檢查測(cè)量區(qū)域中的測(cè)量目標(biāo)的檢查區(qū)域。由于可利用轉(zhuǎn)換關(guān)系將測(cè)量數(shù)據(jù)PI與基準(zhǔn)數(shù)據(jù)RI進(jìn)行比較來(lái)補(bǔ)償測(cè)量數(shù)據(jù)PI 中存在的變形，因此在檢查區(qū)域中設(shè)定的形狀可與板的實(shí)際形狀更相近。可將目標(biāo)檢查區(qū)域TG的整個(gè)區(qū)域設(shè)定為檢查區(qū)域，也可僅設(shè)定需要檢查的預(yù)定區(qū)域作為檢查區(qū)域。例如，在選擇需要檢查的預(yù)定區(qū)域之后，利用轉(zhuǎn)換關(guān)系在測(cè)量數(shù)據(jù)PI中設(shè)定檢查區(qū)域，可在檢查區(qū)域中檢查例如部件的連接狀態(tài)等各種狀態(tài)。在檢查時(shí)，可使用先前在對(duì)目標(biāo)測(cè)量區(qū)域TG獲取測(cè)量數(shù)據(jù)PI的步驟(步驟S130)中獲取的測(cè)量數(shù)據(jù)PI。如上所述，如果在板上的目標(biāo)測(cè)量區(qū)域沒(méi)有用于確立特征對(duì)象的形狀信息或僅有很少的形狀信息，則在相鄰測(cè)量區(qū)域另外確立特征對(duì)象，從而更準(zhǔn)確地獲取基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)之間的轉(zhuǎn)換關(guān)系，并且通過(guò)利用轉(zhuǎn)換關(guān)系補(bǔ)償測(cè)量數(shù)據(jù)的變形來(lái)設(shè)定檢查區(qū)域。此外，在確立的特征塊包括塊單元作為特征對(duì)象的特定形狀的情況下，可出現(xiàn)沒(méi)有足夠的形狀信息可選擇作為特征對(duì)象的情況，因此如上所述，可使用在相鄰測(cè)量區(qū)域中的特征對(duì)象，以獲取足夠數(shù)目的特征對(duì)象。此外，在對(duì)于目標(biāo)測(cè)量區(qū)域和相鄰測(cè)量區(qū)域中的特征對(duì)象分別確立加權(quán)值的情況下，可較準(zhǔn)確地獲取轉(zhuǎn)換關(guān)系。此外，在對(duì)于多個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域均勻地確立特征對(duì)象的情況下，可較準(zhǔn)確地獲取轉(zhuǎn)換關(guān)系。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員顯而易見(jiàn)的是，在不背離本發(fā)明的要旨或范圍的前提下，可對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種變形和修改。因此，本發(fā)明旨在涵蓋落入所附的權(quán)利要求的范圍內(nèi)的對(duì)本發(fā)明的變形和修改及其等同方案。本申請(qǐng)要求2010年11月15日提交的韓國(guó)專利申請(qǐng)No. 2010-113093的優(yōu)先權(quán)， 該韓國(guó)專利申請(qǐng)的全文通過(guò)引用的方式并入本文，如同完全是在本文中闡述的一樣。
權(quán)利要求
1.一種檢查方法，包括 在板上設(shè)定多個(gè)測(cè)量區(qū)域；在所述多個(gè)測(cè)量區(qū)域中獲取與用于檢查測(cè)量目標(biāo)的目標(biāo)測(cè)量區(qū)域相鄰的至少一個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)；從所述相鄰測(cè)量區(qū)域提取至少一個(gè)特征對(duì)象；通過(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和與所述特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)互相比較來(lái)獲取變形度；以及補(bǔ)償變形度，以便在所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域中設(shè)定檢查區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查方法，其中，從所述相鄰測(cè)量區(qū)域提取至少一個(gè)特征對(duì)象的步驟包括 確立所述特征對(duì)象的基準(zhǔn)類型和基準(zhǔn)數(shù)；以及在從所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域提取的特征對(duì)象的數(shù)目小于所述基準(zhǔn)數(shù)的情況下，從所述相鄰測(cè)量區(qū)域提取與所述基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢查方法，其中， 所述相鄰測(cè)量區(qū)域是多個(gè)，并且在從所述相鄰測(cè)量區(qū)域提取與所述基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象之前，從所述相鄰測(cè)量區(qū)域提取至少一個(gè)特征對(duì)象的步驟還包括在所述多個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域中選擇用于提取所述特征對(duì)象的相鄰測(cè)量區(qū)域。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查方法，在從所述相鄰測(cè)量區(qū)域提取至少一個(gè)特征對(duì)象之前，所述檢查方法還包括為每個(gè)測(cè)量區(qū)域確立特征對(duì)象；對(duì)于每個(gè)測(cè)量區(qū)域核對(duì)所確立的特征對(duì)象的數(shù)目是否小于所述基準(zhǔn)數(shù)；以及對(duì)于所確立的特征對(duì)象的數(shù)目小于所述基準(zhǔn)數(shù)的測(cè)量區(qū)域選擇用于提取所述特征對(duì)象的相鄰測(cè)量區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查方法，其中，從在獲取所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域的測(cè)量數(shù)據(jù)之前獲取了測(cè)量數(shù)據(jù)的特定相鄰測(cè)量區(qū)域提取所述特征對(duì)象。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查方法，其中，從所述相鄰測(cè)量區(qū)域提取至少一個(gè)特征對(duì)象的步驟包括 確立所述特征對(duì)象的基準(zhǔn)類型和基準(zhǔn)數(shù)； 將所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域擴(kuò)大預(yù)定面積； 在擴(kuò)大的區(qū)域中提取與所述基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象；以及在所提取的特征對(duì)象的數(shù)目小于基準(zhǔn)數(shù)的情況下，重復(fù)將所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域擴(kuò)大預(yù)定面積的步驟以及在擴(kuò)大的區(qū)域中提取與所述基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象的步驟。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢查方法，其中，通過(guò)下述方式執(zhí)行將所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域擴(kuò)大預(yù)定面積的步驟在位于擴(kuò)大的區(qū)域和所選擇的至少一個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域之間的相交區(qū)域中提取與所述基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢查方法，其中，在將所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域擴(kuò)大預(yù)定面積之前，所述檢查方法還包括 從所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域提取與所述基準(zhǔn)類型對(duì)應(yīng)的特征對(duì)象，以及在從所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域提取的特征對(duì)象的數(shù)目小于基準(zhǔn)數(shù)的情況下，執(zhí)行將所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域擴(kuò)大預(yù)定面積的步驟。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查方法，其中， 所提取的特征對(duì)象是多個(gè)，并且所述特征對(duì)象和所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域之間的距離越近，所述特征對(duì)象被賦予的加權(quán)值越大，并且通過(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和基于加權(quán)值選擇的與所述特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)互相比較來(lái)獲取變形度。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的檢查方法，其中，所述距離是從所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域的邊界線、所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域的中心點(diǎn)和所述測(cè)量目標(biāo)的中心點(diǎn)中的至少一者測(cè)量的。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查方法，其中， 所提取的特征對(duì)象是多個(gè)，并且基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和與所述特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)之間的形狀差異越小，所述特征對(duì)象被賦予的分?jǐn)?shù)越大，并且通過(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和基于分?jǐn)?shù)選擇的與所述特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)互相比較來(lái)獲取變形度。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查方法，其中， 所提取的特征對(duì)象是多個(gè)，并且所述特征對(duì)象和所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域之間的距離越近，所述特征對(duì)象被賦予的加權(quán)值越大，基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和與所述特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)之間的形狀差異越小，所述特征對(duì)象被賦予的分?jǐn)?shù)越大，并且通過(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和基于加權(quán)值和分?jǐn)?shù)中的至少一者選擇的與所述特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)互相比較來(lái)獲取變形度。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查方法，其中，所述相鄰測(cè)量區(qū)域是多個(gè)，所提取的特征對(duì)象是多個(gè)，并且對(duì)于所述多個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域均勻地提取特征對(duì)象。
14.一種檢查方法，包括 在板上設(shè)定多個(gè)測(cè)量區(qū)域；在所述多個(gè)測(cè)量區(qū)域中獲取與用于檢查測(cè)量目標(biāo)的目標(biāo)測(cè)量區(qū)域相鄰的至少一個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)；從所述相鄰測(cè)量區(qū)域提取至少一個(gè)具有塊單元的特征塊； 通過(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和與所述特征塊對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)互相比較來(lái)獲取變形度；以及補(bǔ)償變形度，以便在所述目標(biāo)測(cè)量區(qū)域中設(shè)定檢查區(qū)域。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的檢查方法，其中， 所提取的特征塊是多個(gè)，獲取所述變形度作為基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)之間的量化轉(zhuǎn)換公式，并且利用位置變化、斜度變化、尺寸變化和變化程度中的至少一者確定所述量化轉(zhuǎn)換公式， 通過(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和與所述多個(gè)特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)互相比較來(lái)獲取所述位置變化、斜度變化、尺寸變化和變化程度。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種檢查方法。為了在用于檢查板的檢查裝置中設(shè)定檢查區(qū)域，在板上設(shè)定多個(gè)測(cè)量區(qū)域，然后在多個(gè)測(cè)量區(qū)域中獲取與用于檢查測(cè)量目標(biāo)的目標(biāo)測(cè)量區(qū)域相鄰的至少一個(gè)相鄰測(cè)量區(qū)域的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)。此后，從相鄰測(cè)量區(qū)域提取至少一個(gè)特征對(duì)象。然后，通過(guò)將基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和與特征對(duì)象對(duì)應(yīng)的測(cè)量數(shù)據(jù)互相比較來(lái)獲取變形度，隨后補(bǔ)償變形度，以便在目標(biāo)測(cè)量區(qū)域中設(shè)定檢查區(qū)域。因此，可正確地獲取基準(zhǔn)數(shù)據(jù)和測(cè)量數(shù)據(jù)之間的轉(zhuǎn)換關(guān)系，并且可正確地設(shè)定補(bǔ)償變形的檢查區(qū)域。
文檔編號(hào)G01N21/95GK102466645SQ20111036179
公開(kāi)日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2011年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月15日
發(fā)明者黃鳳夏 申請(qǐng)人:株式會(huì)社高永科技