專利名稱：顯微鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及晶圓制造領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓檢測(cè)用的顯微鏡。
背景技術(shù)：
顯微鏡是由一組或多組透鏡組合而構(gòu)成的一種光學(xué)儀器，是人類進(jìn)入原子時(shí)代的標(biāo)志。顯微鏡是用于放大微小物體的儀器，使得微小物體放大后能被人的肉眼看到。顯微鏡按照顯微原理進(jìn)行分類可分為光學(xué)顯微鏡與電子顯微鏡。光學(xué)顯微鏡通常皆由光學(xué)部分、照明部分和機(jī)械部分組成。無疑光學(xué)部分是最為關(guān)鍵的，它由目鏡和物鏡組成。目前光學(xué)顯微鏡的種類很多，主要有明視野顯微鏡(普通光學(xué)顯微鏡)、暗視野顯微鏡、突光顯微鏡、相差顯微鏡、激光共聚掃描顯微鏡、偏光顯微鏡、微分干涉差顯微鏡、倒置顯微鏡。
電子顯微鏡有與光學(xué)顯微鏡相似的基本結(jié)構(gòu)特征，但它有著比光學(xué)顯微鏡高得多的對(duì)物體的放大及分辨本領(lǐng)，它將電子流作為一種新的光源，使物體成像。目前電子顯微鏡的種類很多，主要有透射電鏡、掃描電鏡、分析電鏡、超高壓電鏡等。參圖I所述，現(xiàn)有技術(shù)中的一種顯微鏡，用以對(duì)晶圓進(jìn)行檢測(cè)，包括機(jī)械手、工作平臺(tái)I’及設(shè)于所述工作平臺(tái)I’上的卡槽3’、感應(yīng)器4’和驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。機(jī)械手用以抓取晶圓；晶圓收容在一個(gè)晶片盒內(nèi)；晶片盒可固定在工作平臺(tái)I’上的卡槽3’內(nèi)；感應(yīng)器4’用以感知晶片盒是否成功安裝到卡槽3’內(nèi)，其一般設(shè)置在卡槽3’的一側(cè)；驅(qū)動(dòng)馬達(dá)用以驅(qū)動(dòng)工作平臺(tái)I’進(jìn)行上下移動(dòng)。上述顯微鏡的工作原理是在正常測(cè)試時(shí)，晶片盒被放置在卡槽3’內(nèi)，當(dāng)感應(yīng)器4’感應(yīng)到晶片盒時(shí)，感應(yīng)器4’會(huì)發(fā)出感應(yīng)信號(hào)，指示設(shè)備可以正常操作；當(dāng)感應(yīng)器4’沒有感應(yīng)到晶片盒時(shí)，感應(yīng)器4’會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)。測(cè)試完畢后，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)反向旋轉(zhuǎn)，控制工作平臺(tái)I’上升。上述顯微鏡的缺點(diǎn)在于在顯微鏡工作過程中，若是人為取走晶片盒，感應(yīng)器不會(huì)發(fā)出任何報(bào)警信號(hào)。晶片盒被拿走后工作平臺(tái)上沒有晶片盒，操作人員發(fā)現(xiàn)后會(huì)重新放一個(gè)新的晶片盒，但是，之前晶片盒內(nèi)的晶圓正被機(jī)械手拿著進(jìn)行檢測(cè)，該晶圓檢測(cè)好后，機(jī)械手會(huì)將它放回晶片盒內(nèi)，但是此時(shí)已經(jīng)是一個(gè)新的晶片盒，此晶片盒沒有空缺供前一晶片盒的晶圓放置，機(jī)械手強(qiáng)行放置后會(huì)發(fā)生晶圓相互碰撞的想象，不但損壞了晶圓，而且存在一定的安全隱患。因此，針對(duì)上述技術(shù)問題，有必要提供一種具有新型的顯微鏡，以克服上述缺陷。
實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型的目的提供一種顯微鏡，其設(shè)有用以限制晶片盒移動(dòng)的固定鎖，避免在顯微鏡工作過程中，晶片盒從卡槽中被移動(dòng)，提高了安全系數(shù)。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種顯微鏡，用于晶圓的檢測(cè)，包括工作平臺(tái)及設(shè)于所述工作平臺(tái)上的卡槽、感應(yīng)器和驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，所述卡槽用于收容晶片盒，其中，所述顯微鏡還包括設(shè)于所述工作平臺(tái)上的固定鎖，所述固定鎖在氣動(dòng)作用下可從第一位置運(yùn)動(dòng)至第二位置，并在第二位置時(shí)限制所述晶片盒移動(dòng)。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述固定鎖包括汽缸和限位部，所述汽缸驅(qū)動(dòng)所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動(dòng)。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述限位部和汽缸分別設(shè)于所述工作平臺(tái)的上下兩側(cè)，所述工作平臺(tái)上還開設(shè)有導(dǎo)引槽，所述導(dǎo)引槽用以導(dǎo)引所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動(dòng)。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述限位部在運(yùn)動(dòng)至所述第二位置時(shí)，所述限位部的末端位于所述晶片盒的上方。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述限位部包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和第二限位部的末端在第二位置時(shí)位于所述晶片盒的上方。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述固定鎖至少設(shè)有兩個(gè)。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述顯微鏡還包括開關(guān)，所述開關(guān)用以控制所述汽缸驅(qū)動(dòng)所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動(dòng)。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述開關(guān)為一按鈕。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是通過設(shè)置固定鎖來限制晶片盒移動(dòng)，可以防止在顯微鏡工作過程中有人誤將晶片盒拿離工作平臺(tái)，以避免損壞晶圓或出現(xiàn)安全隱患。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的有關(guān)本實(shí)用新型的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I是現(xiàn)有技術(shù)中顯微鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型最佳實(shí)施例中顯微鏡的俯視圖；圖3是本實(shí)用新型最佳實(shí)施例中顯微鏡的主視圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種顯微鏡，用于晶圓的檢測(cè)，包括工作平臺(tái)及設(shè)于所述工作平臺(tái)上的卡槽、感應(yīng)器和驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，所述卡槽收容有晶片盒，所述顯微鏡還包括設(shè)于所述工作平臺(tái)上的固定鎖，所述固定鎖在氣動(dòng)作用下可從第一位置運(yùn)動(dòng)至第二位置，并在第二位置時(shí)限制所述晶片盒移動(dòng)。通過設(shè)置固定鎖來限制晶片盒移動(dòng)，可以防止在顯微鏡工作過程中有人誤將晶片盒拿離工作平臺(tái)，以避免損壞晶圓或出現(xiàn)安全隱患。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。圖2和圖3分別是本實(shí)用新型最佳實(shí)施例中顯微鏡的俯視圖和主視圖。在本實(shí)用新型最佳實(shí)施例中，顯微鏡包括機(jī)械手(圖未示)、工作平臺(tái)I及設(shè)于所述工作平臺(tái)I上的卡槽3、感應(yīng)器4和驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(圖未示)。機(jī)械手用以抓取晶圓；晶圓收容在一個(gè)晶片盒(圖未示)內(nèi)；晶片盒可收容在工作平臺(tái)I上的卡槽3內(nèi)；感應(yīng)器4用以感知晶片盒是否成功安裝到卡槽3，其設(shè)置在卡槽3的一側(cè)開口處；驅(qū)動(dòng)馬達(dá)用以驅(qū)動(dòng)工作平臺(tái)I進(jìn)行上下移動(dòng)。在正常測(cè)試時(shí)，晶片盒被放置在卡槽3內(nèi)，當(dāng)感應(yīng)器4感應(yīng)到晶片盒時(shí)，感應(yīng)器4會(huì)發(fā)出感應(yīng)信號(hào)，指示設(shè)備可以正常操作；當(dāng)感應(yīng)器4沒有感應(yīng)到晶片盒時(shí)，感應(yīng)器4會(huì)發(fā) 出報(bào)警信號(hào)。
顯微鏡還包括設(shè)于工作平臺(tái)I上的固定鎖5，固定鎖5可以在氣動(dòng)作用下從第一位置A運(yùn)動(dòng)至第二位置B，并在第二位置B時(shí)限制晶片盒移動(dòng)。其中第一位置A是指固定鎖5的初始位置，即固定鎖5沒有被氣體驅(qū)動(dòng)時(shí)，第二位置B是指固定鎖5被氣體驅(qū)動(dòng)之后的位置。固定鎖5包括汽缸51和限位部52，汽缸51上設(shè)有杠桿511，限位部52固定于杠桿511的末端。汽缸51在壓縮空氣的作用下推動(dòng)杠桿511自第一位置A向第二位置B運(yùn)動(dòng)，杠桿511的運(yùn)動(dòng)進(jìn)而帶動(dòng)限位部52 —起運(yùn)動(dòng)。在第二位置B時(shí)，限位部52的末端位于所述晶片盒的上方，以限制晶片沿垂直工作平臺(tái)I的方向移動(dòng)，為了不影響機(jī)械手對(duì)晶圓的抓取，限位部52不能位于晶圓的正上方，只能位于沒有晶圓存放的位置，例如晶圓與晶圓之間的間隙上。限位部52的末端可以設(shè)置成板狀，以增大限位部52的阻擋面積，實(shí)現(xiàn)更好的穩(wěn)固效果。為了限制晶片盒在水平面內(nèi)的運(yùn)動(dòng)，尤其是沿卡槽3延伸方向的運(yùn)動(dòng)，可以在晶片盒上開凹槽或孔，以使得限位部52在位于第二位置B時(shí)，可以卡持或穿設(shè)在凹槽或孔內(nèi)，此時(shí)限位部52的末端可以根據(jù)需要設(shè)置成圓柱狀等。限位部52和汽缸51分別設(shè)于工作平臺(tái)I的上下兩側(cè)，工作平臺(tái)I上還開設(shè)有導(dǎo)引槽11，導(dǎo)引槽11用以導(dǎo)引限位部52在第一位置A和第二位置B之間移動(dòng)。導(dǎo)引槽11延伸的方向垂直于卡槽3。為了保證對(duì)晶片盒的穩(wěn)固效果，固定鎖5優(yōu)選設(shè)置為兩個(gè)，每個(gè)固定鎖包括一個(gè)汽缸及固定于該汽缸上的限位部，兩個(gè)固定鎖5設(shè)置于卡槽3的同一側(cè)，亦可分別設(shè)置于卡槽3的兩側(cè)。易于想到，固定鎖5也可以僅設(shè)有一個(gè)，還可以設(shè)置為三個(gè)或三個(gè)以上。固定鎖5在設(shè)置為一個(gè)時(shí)，其包括一個(gè)汽缸，還包括限位部，限位部可以設(shè)置為一個(gè)，也可以設(shè)置為兩個(gè)第一限位部和第二限位部，第一限位部和第二限位部受同一個(gè)汽缸驅(qū)動(dòng)。第一限位部和第二限位部的目的在于在一個(gè)汽缸的驅(qū)動(dòng)下，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶片盒的多處阻擋。故，限位部的末端也可以形成多個(gè)分叉，以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶片盒頂端的多處的阻擋作用，由于只采用一個(gè)汽缸，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，節(jié)約了成本，同時(shí)又通過多處阻擋實(shí)現(xiàn)了很好的穩(wěn)固作用。在其他實(shí)施例中，汽缸51也可以設(shè)置于工作平臺(tái)I的上表面上，此時(shí)不需要設(shè)置導(dǎo)引槽11。[0039]顯微鏡還包括一個(gè)開關(guān)(圖未示)，該開關(guān)用以控制汽缸內(nèi)壓縮空氣的通與斷，進(jìn)而控制汽缸51驅(qū)動(dòng)限位部52在第一位置A和第二位置B之間移動(dòng)。開關(guān)優(yōu)選為一按鈕開關(guān)，安裝在工作平臺(tái)I上。本實(shí)用新型實(shí)施例的顯微鏡的工作原理是在正常測(cè)試時(shí)，將安裝好晶圓的晶片盒放置到卡槽3中，感應(yīng)器4感應(yīng)到晶片盒并發(fā)出感應(yīng)信號(hào)，指示設(shè)備可以正常操作，此時(shí)，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)正向旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)控制工作平臺(tái)I下降，當(dāng)工作平臺(tái)I到達(dá)目標(biāo)位置時(shí)，按下開關(guān)，在壓縮空氣的驅(qū)動(dòng)下，汽缸51帶動(dòng)限位部52沿導(dǎo)引槽11滑動(dòng)至第二位置B，并使得限位部52的末端位于晶片盒的上方，以限制晶片盒的移動(dòng)。當(dāng)測(cè)試完畢時(shí)，再次觸動(dòng)開關(guān)，汽缸收縮并帶動(dòng)限位部52回撤到第一位置A，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)反向旋轉(zhuǎn)，控制工作平臺(tái)I上升。由于在工作過程中無法移動(dòng)晶片盒，消除了安全隱患。本實(shí)用新型實(shí)施例的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)涉及的顯微鏡為OLYMPUS MX61顯微鏡。固定鎖是使用在OLYMPUS MX61顯微鏡上的。OLYMPUS MX61顯微鏡用于對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行檢測(cè)。OLYMPUS MX61顯微鏡能夠應(yīng)對(duì)從明視場(chǎng)觀察到熒光觀察的多種觀察方法，切換物鏡時(shí) 亮度光圈連動(dòng)能進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)。這些功能實(shí)現(xiàn)了快速舒適的檢查環(huán)境。OLYMPUS MX61顯微鏡具有如下優(yōu)點(diǎn)I.大型載物臺(tái)搭載,可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(MX61L)；2.采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利；3.多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應(yīng)用要求；4.透射和反射照明可同時(shí)使用，極大提聞液晶基板觀察效果。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型實(shí)施例的顯微鏡機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)的有益效果是通過設(shè)置固定鎖來限制晶片盒移動(dòng)，可以防止在顯微鏡工作過程中有人誤將晶片盒拿離工作平臺(tái)，以避免損壞晶圓或出現(xiàn)安全隱患。對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。
權(quán)利要求1.一種顯微鏡，用于晶圓的檢測(cè)，包括工作平臺(tái)及設(shè)于所述工作平臺(tái)上的卡槽、感應(yīng)器和驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，所述卡槽用于收容晶片盒，其特征在于所述顯微鏡還包括設(shè)于所述工作平臺(tái)上的固定鎖，所述固定鎖在氣動(dòng)作用下可從第一位置運(yùn)動(dòng)至第二位置，并在第二位置時(shí)限制所述晶片盒移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的顯微鏡，其特征在于所述固定鎖包括汽缸和限位部，所述汽缸驅(qū)動(dòng)所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微鏡，其特征在于所述限位部和汽缸分別設(shè)于所述工作平臺(tái)的上下兩側(cè)，所述工作平臺(tái)上還開設(shè)有導(dǎo)引槽，所述導(dǎo)引槽用以導(dǎo)引所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微鏡，其特征在于所述限位部在運(yùn)動(dòng)至所述第二位置時(shí)，所述限位部的末端位于所述晶片盒的上方。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微鏡，其特征在于所述限位部包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和第二限位部的末端在第二位置時(shí)位于所述晶片盒的上方。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微鏡，其特征在于所述固定鎖至少設(shè)有兩個(gè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微鏡，其特征在于所述顯微鏡還包括開關(guān)，所述開關(guān)用以控制所述汽缸驅(qū)動(dòng)所述限位部在所述第一位置和第二位置之間移動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯微鏡，其特征在于所述開關(guān)為一按鈕。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種顯微鏡，用于晶圓的檢測(cè)，包括工作平臺(tái)及設(shè)于所述工作平臺(tái)上的卡槽、感應(yīng)器和驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，所述卡槽用于收容晶片盒，所述顯微鏡還包括設(shè)于所述工作平臺(tái)上的固定鎖，所述固定鎖在氣動(dòng)作用下可從第一位置運(yùn)動(dòng)至第二位置，并在第二位置時(shí)限制所述晶片盒移動(dòng)。本實(shí)用新型通過設(shè)置固定鎖來限制晶片盒在工作過程中的移動(dòng)，可以避免損壞晶圓及出現(xiàn)安全隱患。
文檔編號(hào)G01D11/16GK202630990SQ20122025603
公開日2012年12月26日 申請(qǐng)日期2012年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月31日
發(fā)明者陸琦 申請(qǐng)人:無錫華潤(rùn)上華科技有限公司