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用于無(wú)TEC紅外成像系統(tǒng)的CMOS工藝集成溫度傳感器的制作方法

文檔序號(hào):12465241閱讀:505來(lái)源:國(guó)知局
用于無(wú)TEC紅外成像系統(tǒng)的CMOS工藝集成溫度傳感器的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及模擬集成電路領(lǐng)域,特別涉及一種可用于射頻、數(shù)字模擬混合信號(hào)電路中,尤其是紅外成像系統(tǒng)中,集成在芯片內(nèi)部的小面積、低功耗溫度傳感器。



背景技術(shù):

溫度是工業(yè)生產(chǎn)中最常見和最基本的工業(yè)參數(shù)之一,是與人類的生活、工作關(guān)系最密切的物理量之一,也是各學(xué)科與工程研究設(shè)計(jì)中經(jīng)常遇到和必須精確測(cè)量的物理量。從工業(yè)爐溫、環(huán)境氣溫到人體溫度,從空間、海洋到家用電器,各個(gè)技術(shù)領(lǐng)域都離不開測(cè)溫,測(cè)溫技術(shù)也是發(fā)展最快、范圍最廣的技術(shù)之一,對(duì)溫度進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量和控制也成為工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中的重要任務(wù)之一。

半導(dǎo)體材料的電學(xué)特性隨溫度變化而產(chǎn)生變化,在紅外成像系統(tǒng)中,探測(cè)器利用紅外輻射產(chǎn)生熱量,進(jìn)而引起的溫度變化作為探測(cè)依據(jù)。因此溫度對(duì)紅外成像系統(tǒng)的重要性不言而喻。紅外成像系統(tǒng)包括低溫紅外成像系統(tǒng)和常溫紅外成像系統(tǒng)。低溫紅外系統(tǒng)使用液氮將系統(tǒng)溫度穩(wěn)定在80K左右;在常溫紅外成像系統(tǒng)中,由于基底溫度變化對(duì)探測(cè)器性能產(chǎn)生較大影響,通常需要使用半導(dǎo)體致冷器TEC(Thermo-Electric-Cooler)來(lái)保證紅外探測(cè)器基底溫度不產(chǎn)生較大變化。上述兩種制冷的方法都會(huì)限制成像系統(tǒng)的體積和功耗,近年來(lái),為了進(jìn)一步降低功耗和體積,實(shí)現(xiàn)便攜式應(yīng)用,業(yè)界正在積極研究無(wú)TEC的紅外成像系統(tǒng)方案。

然而無(wú)TEC的紅外成像系統(tǒng)中紅外探測(cè)器基底溫度變化較大,輸出會(huì)受到較大影響。因此需要使用溫度傳感器檢測(cè)探測(cè)器和讀出電路芯片上溫度的變化,將溫度變化信息傳遞到FPGA,通過(guò)FPGA產(chǎn)生反饋信號(hào)給集成電路,補(bǔ)償由于環(huán)境溫度變化導(dǎo)致的非理想效應(yīng)。使用傳統(tǒng)分立元件作為溫度傳感器時(shí),檢測(cè)的溫度值并不是芯片基底上真實(shí)的溫度值,因此,為了減小分立元件導(dǎo)致的檢測(cè)誤差,需要使用能夠集成于讀出電路芯片的溫度傳感器。此外,紅外成像系統(tǒng)中讀出電路芯片和探測(cè)器芯片上溫度分布并不是均勻的。為了能更加真實(shí)的反映出芯片上溫度分布的非均勻情況,需要使用多個(gè)集成溫度傳感器,分布在芯片各個(gè)位置。因此,需要使用面積小,功耗低的溫度傳感器。紅外成像系統(tǒng)溫度反饋的實(shí)現(xiàn)框圖如圖1所示。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為了解決傳統(tǒng)分立元件溫度傳感器不能滿足無(wú)TEC紅外成像系統(tǒng)中要求準(zhǔn)確檢測(cè)探測(cè)器芯片基底溫度的問(wèn)題,本發(fā)明提出了一種用于無(wú)TEC紅外成像系統(tǒng)的CMOS工藝集成溫度傳感器,增大了輸出級(jí)帶負(fù)載能力,提高了相應(yīng)速度,節(jié)約了面積,在保證輸出驅(qū)動(dòng)能力的同時(shí),降低了電路整體功耗。

本發(fā)明提出的一種用于無(wú)TEC紅外成像系統(tǒng)的CMOS工藝集成溫度傳感器,包括溫度檢測(cè)電路,通過(guò)一偏置電路給所述溫度檢測(cè)電路供電,通過(guò)一輸出級(jí)驅(qū)動(dòng)電路將溫度檢測(cè)電路和輸出隔離;所述偏置電路包含PMOS管MP1、PMOS管MP2和PMOS管MP3;其中,所述PMOS管MP1工作在飽和區(qū),PMOS管MP1的柵極和漏極短接后連接到PMOS管MP2的源極產(chǎn)生共源極偏置電壓V1;所述PMOS管MP2工作在線性區(qū),所述PMOS管MP3工作在飽和區(qū),PMOS管MP2和PMOS管MP3的柵極連接到PMOS管MP3的漏極,PMOS管MP2的漏極和PMOS管MP3的源極連接,產(chǎn)生共柵極偏置電壓V2;所述溫度檢測(cè)電路包括由四個(gè)PMOS管構(gòu)成的共源共柵電流鏡和兩個(gè)三極管,所述四個(gè)PMOS管分別記作PMOS管MP4、PMOS管MP5、PMOS管MP6和PMOS管MP7,所述兩個(gè)三極管記作三極管Q1和三極管Q2;所述PMOS管MP4與所述PMOS管MP6的源極均連接電源VDD,所述PMOS管MP4和PMOS管MP6的柵極均連接所述偏置電路的共源極偏置電壓V1;所述PMOS管MP4的漏極連接PMOS管MP5的源極,所述PMOS管MP5和所述PMOS管MP7的柵極均連接所述偏置電路的共柵極偏置電壓V2,所述PMOS管MP5的漏極連接三極管Q1的發(fā)射極,所述三極管Q1基極和集電極連接地GND;所述PMOS管MP7的漏極連接三極管Q2的發(fā)射極,所述三極管Q2基極連接三極管Q1的發(fā)射極,三極管Q2集電極連接地GND;所述輸出級(jí)驅(qū)動(dòng)電路包括四個(gè)PMOS管和兩個(gè)NMOS管,四個(gè)PMOS管記作PMOS管MP8、PMOS管MP9、PMOS管MP10和PMOS管MP11,兩個(gè)NMOS管記作NMOS管MN1和NMOS管MN2;其中,PMOS管MP8和PMOS管MP9是共源共柵電流鏡,PMOS管MP10和PMOS管MP11是輸入對(duì)管,NMOS管MN1和NMOS管MN2是負(fù)載管;所述PMOS管MP10和PMOS管MP11及所述NMOS管MN1和NMOS管MN2的尺寸比列均為1:N。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:

(1)通過(guò)使用簡(jiǎn)化的偏置產(chǎn)生電路結(jié)構(gòu),減少了偏置電路部分MOS個(gè)數(shù),簡(jiǎn)化了電路結(jié)構(gòu),降低了功耗。

(2)通過(guò)使用三極管串聯(lián)實(shí)現(xiàn)等效的正偏二極管串聯(lián)效果,相同溫度變化時(shí)能獲得2倍的電壓變化,提高了檢測(cè)精度。

(3)通過(guò)輸出級(jí)運(yùn)放的非對(duì)稱設(shè)計(jì),在保證輸出驅(qū)動(dòng)能力的前提下,減小了功耗。

(4)集成溫度傳感器能夠更加準(zhǔn)確的反應(yīng)芯片基底溫度變化,優(yōu)于分立元件溫度傳感器。

(5)本發(fā)明通過(guò)簡(jiǎn)單的電路結(jié)構(gòu)改變實(shí)現(xiàn)上述優(yōu)點(diǎn),沒有增加電路復(fù)雜度,沒有增加額外功耗和面積開銷,具有很高實(shí)用價(jià)值。

附圖說(shuō)明

圖1是紅外成像系統(tǒng)溫度反饋框圖;

圖2是本發(fā)明溫度傳感器原理圖;

圖3是PN結(jié)的I-V特性與溫度的關(guān)系;

圖4是本發(fā)明溫度傳感器輸出電壓隨溫度變化曲線。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)地描述。

為了解決傳統(tǒng)分立元件溫度傳感器不能滿足無(wú)TEC紅外成像系統(tǒng)中要求準(zhǔn)確檢測(cè)探測(cè)器芯片基底溫度的問(wèn)題,本發(fā)明提出的一種用于無(wú)TEC紅外成像系統(tǒng)的CMOS工藝集成溫度傳感器,可以節(jié)約面積降低功耗,參見附圖1。由于標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝中二極管通常工作在反偏條件下,難以滿足二極管正偏使用要求,本發(fā)明通過(guò)使用三極管串聯(lián)的形式,等效的實(shí)現(xiàn)了二極管正偏串聯(lián)的效果。利用正偏二極管溫度特性檢測(cè)溫度,結(jié)果檢測(cè)轉(zhuǎn)化為模擬電壓通過(guò)低功耗輸出級(jí)輸出。輸出結(jié)果可以供系統(tǒng)參考來(lái)調(diào)節(jié)電路,穩(wěn)定圖像信號(hào)輸出。

根據(jù)Shockley方程式可知,對(duì)于理想二極管,其正向?qū)妷篤f與電流密度Jf的關(guān)系為

<mrow> <msub> <mi>J</mi> <mi>f</mi> </msub> <mo>=</mo> <msub> <mi>J</mi> <mi>s</mi> </msub> <mo>&lsqb;</mo> <mi>exp</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>qV</mi> <mi>f</mi> </msub> </mrow> <mrow> <mi>k</mi> <mi>T</mi> </mrow> </mfrac> <mo>)</mo> </mrow> <mo>-</mo> <mn>1</mn> <mo>&rsqb;</mo> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mn>1</mn> <mo>)</mo> </mrow> </mrow>

其中,Js為反向飽和電流密度,q為電子電荷量,k為玻爾茲曼常數(shù),T為絕對(duì)溫度。在室溫條件下,有因此式(1)可化簡(jiǎn)為

<mrow> <msub> <mi>J</mi> <mi>f</mi> </msub> <mo>=</mo> <msub> <mi>J</mi> <mi>s</mi> </msub> <mi>exp</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>qV</mi> <mi>f</mi> </msub> </mrow> <mrow> <mi>k</mi> <mi>T</mi> </mrow> </mfrac> <mo>)</mo> </mrow> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mn>2</mn> <mo>)</mo> </mrow> </mrow>

二極管反向飽和電流密度可表示為

<mrow> <msub> <mi>J</mi> <mi>s</mi> </msub> <mo>=</mo> <msup> <mi>CT</mi> <mrow> <mn>3</mn> <mo>+</mo> <mi>&gamma;</mi> <mo>/</mo> <mn>2</mn> </mrow> </msup> <mi>exp</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mo>-</mo> <mfrac> <msub> <mi>E</mi> <mi>g</mi> </msub> <mrow> <mi>k</mi> <mi>T</mi> </mrow> </mfrac> <mo>)</mo> </mrow> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mn>3</mn> <mo>)</mo> </mrow> </mrow>

其中,C為與溫度無(wú)關(guān)的常數(shù),γ為常數(shù),Eg為硅的禁帶寬度,若PN結(jié)的截面積為Sd,則通過(guò)PN結(jié)的電流If可表示為

<mrow> <msub> <mi>I</mi> <mi>f</mi> </msub> <mo>=</mo> <msub> <mi>S</mi> <mi>d</mi> </msub> <msup> <mi>CT</mi> <mrow> <mn>3</mn> <mo>+</mo> <mi>&gamma;</mi> <mo>/</mo> <mn>2</mn> </mrow> </msup> <mi>exp</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>qV</mi> <mi>f</mi> </msub> <mo>-</mo> <msub> <mi>E</mi> <mi>g</mi> </msub> </mrow> <mrow> <mi>k</mi> <mi>T</mi> </mrow> </mfrac> <mo>)</mo> </mrow> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mn>4</mn> <mo>)</mo> </mrow> </mrow>

當(dāng)PN結(jié)工作在恒定電流偏置的條件下時(shí),由式(4)可得

<mrow> <mfrac> <mrow> <mo>&part;</mo> <msub> <mi>V</mi> <mi>f</mi> </msub> </mrow> <mrow> <mo>&part;</mo> <mi>T</mi> </mrow> </mfrac> <mo>=</mo> <mfrac> <msub> <mi>V</mi> <mi>f</mi> </msub> <mi>T</mi> </mfrac> <mo>-</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mn>3</mn> <mo>+</mo> <mfrac> <mi>&gamma;</mi> <mn>2</mn> </mfrac> <mo>)</mo> </mrow> <mfrac> <mi>k</mi> <mi>q</mi> </mfrac> <mo>-</mo> <mfrac> <msub> <mi>E</mi> <mi>g</mi> </msub> <mrow> <mi>q</mi> <mi>T</mi> </mrow> </mfrac> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mn>5</mn> <mo>)</mo> </mrow> </mrow>

由式(5)可知,在恒定電流條件下,當(dāng)溫度變化較小時(shí),PN結(jié)的正向?qū)妷号c溫度之間呈負(fù)溫度系數(shù)的線性關(guān)系,也即當(dāng)PN結(jié)溫度升高時(shí),其正向?qū)妷合陆?,如圖1所示,其中T2>T1。在室溫下工作的紅外成像系統(tǒng)溫度變化不會(huì)過(guò)大,可以認(rèn)為此種情況下,恒定電流工作條件下,正向?qū)ǖ腜N結(jié)壓降和溫度近似為負(fù)溫度系數(shù)的線性關(guān)系。

如圖2所示,本發(fā)明用于無(wú)TEC紅外成像系統(tǒng)的CMOS工藝集成溫度傳感器包括偏置電路,溫度檢測(cè)電路(包括共源共柵電流鏡和溫度檢測(cè)核心電路)和輸出級(jí)電路,通過(guò)所述偏置電路給所述溫度傳感器供電,通過(guò)所述輸出級(jí)驅(qū)動(dòng)電路將溫度檢測(cè)電路和輸出隔離。通過(guò)偏置電路產(chǎn)生與溫度基本無(wú)關(guān)的常數(shù)電流和共柵極偏置電壓,通過(guò)溫度檢測(cè)電路將三極管連接成二極管形式,利用二極管溫度特性獲得負(fù)溫度系數(shù)電壓。最終通過(guò)輸出級(jí)將信號(hào)電壓輸出。本發(fā)明提出的方法電路實(shí)現(xiàn)復(fù)雜度低,具有很高的實(shí)際應(yīng)用價(jià)值。本發(fā)明通過(guò)簡(jiǎn)單的偏置電路供電,節(jié)約功耗和面積,通過(guò)輸出級(jí)驅(qū)動(dòng)電路將溫度檢測(cè)電路和輸出隔離,減小后級(jí)電路對(duì)溫度檢測(cè)電路的影響。各電路的結(jié)構(gòu)及其連接關(guān)系如下:

所述偏置電路利用電流產(chǎn)生溫度檢測(cè)電路中的共源共柵電流鏡需要的共源極偏置電壓V1和共柵極偏置電壓V2。所述偏置電路包含PMOS管MP1、PMOS管MP2和PMOS管MP3;其中,所述PMOS管MP1工作在飽和區(qū),PMOS管MP1的柵極和漏極短接后連接到PMOS管MP2的源極產(chǎn)生共源極偏置電壓V1;所述PMOS管MP2工作在線性區(qū),所述PMOS管MP3工作在飽和區(qū),PMOS管MP2和PMOS管MP3的柵極連接到PMOS管MP3的漏極,PMOS管MP2的漏極和PMOS管MP3的源極連接,產(chǎn)生共柵極偏置電壓V2。

所述溫度檢測(cè)電路包括由四個(gè)PMOS管構(gòu)成的共源共柵電流鏡和由兩個(gè)三極管構(gòu)成的溫度檢測(cè)核心電路,所述四個(gè)PMOS管分別記作PMOS管MP4、PMOS管MP5、PMOS管MP6和PMOS管MP7,所述兩個(gè)三極管記作三極管Q1和三極管Q2;所述PMOS管MP4與所述PMOS管MP6的源極均連接電源VDD,所述PMOS管MP4和PMOS管MP6的柵極均連接所述偏置電路的共源極偏置電壓V1;所述PMOS管MP4的漏極連接PMOS管MP5的源極,所述PMOS管MP5和所述PMOS管MP7的柵極均連接所述偏置電路的共柵極偏置電壓V2。兩個(gè)三極管通過(guò)圖2中的連接方式,等效實(shí)現(xiàn)兩個(gè)正偏二極管串聯(lián)的效果,圖2中節(jié)點(diǎn)B對(duì)地等效為兩個(gè)正偏的二極管串聯(lián)。如圖2所示,所述PMOS管MP5的漏極連接三極管Q1的發(fā)射極,所述三極管Q1基極和集電極連接地GND;所述PMOS管MP7的漏極連接三極管Q2的發(fā)射極,所述三極管Q2基極連接三極管Q1的發(fā)射極,三極管Q2集電極連接地GND;通過(guò)電流鏡結(jié)構(gòu),給兩個(gè)三極管Q1和三極管Q2提供恒定大小的電流I,三極管Q1和三極管Q2連接成二極管級(jí)聯(lián)的形式,利用二極管電流特性在三極管Q2發(fā)射極得到與溫度成反比的電壓。

所述輸出級(jí)驅(qū)動(dòng)電路采用改進(jìn)的五管運(yùn)放結(jié)構(gòu),包括四個(gè)PMOS管和兩個(gè)NMOS管,四個(gè)PMOS管記作PMOS管MP8、PMOS管MP9、PMOS管MP10和PMOS管MP11,兩個(gè)NMOS管記作NMOS管MN1和NMOS管MN2;其中,PMOS管MP8和PMOS管MP9是共源共柵電流鏡,PMOS管MP10和PMOS管MP11是輸入對(duì)管,NMOS管MN1和NMOS管MN2是負(fù)載管;所述PMOS管MP10和PMOS管MP11及所述NMOS管MN1和NMOS管MN2的尺寸比列均為1:N。通過(guò)非對(duì)稱設(shè)計(jì),增大了輸出級(jí)帶負(fù)載能力,提高了相應(yīng)速度,減小了電路整體功耗,在保證輸出驅(qū)動(dòng)能力的同時(shí),減小了功耗。

本發(fā)明提出的溫度傳感器電路采用的原理是恒定電流工作條件下,正向?qū)ǖ腜N結(jié)壓降和溫度近似為負(fù)溫度系數(shù)的線性關(guān)系,如圖3所示。電路實(shí)現(xiàn)上,通過(guò)電流鏡的鏡像電流在三極管Q1和Q2上產(chǎn)生恒定大小的電流,節(jié)點(diǎn)B對(duì)地等效為兩個(gè)正偏二極管的串聯(lián),分別是三極管Q1的基極與發(fā)射極BE結(jié),三極管Q2的基極與發(fā)射極BE結(jié)。當(dāng)芯片溫度變化時(shí)PN結(jié)電學(xué)特性變化,在BE結(jié)上產(chǎn)生相應(yīng)的電壓變化△V,節(jié)點(diǎn)B處電壓變化為2△V。節(jié)點(diǎn)B電壓經(jīng)過(guò)輸出級(jí)單位增益緩沖器驅(qū)動(dòng)輸出。如圖4,Cadence Spectre工具仿真結(jié)果顯示,在-10℃-60℃溫度范圍內(nèi),溫度探測(cè)器輸出電壓溫度系數(shù)約為4.29mV/℃。

盡管上面結(jié)合圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述,但是本發(fā)明并不局限于上述的具體實(shí)施方式,上述的具體實(shí)施方式僅僅是示意性的,而不是限制性的,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的啟示下,在不脫離本發(fā)明宗旨的情況下,還可以做出很多變形,這些均屬于本發(fā)明的保護(hù)之內(nèi)。

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