反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，屬于光學檢測技術領域中的光學元件表面疵病的檢測裝置，其目的在于提供一種可測量表面疵病深度躍變范圍達λ波長量級的反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置。其技術方案為：包括第一激光器、第一顯微物鏡、針孔、第一透鏡、第二反射鏡、第二分光棱鏡、第三反射鏡、第二透鏡、第三分光棱鏡、第二顯微物鏡、衰減器、計算機、CCD相機、第三顯微物鏡和二維平移臺。本實用新型適用于對表面疵病橫向尺寸較大的光學元件的表面疵病進行檢測。
【專利說明】
反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置
技術領域
[0001] 本實用新型屬于光學檢測技術領域，涉及一種光學元件表面疵病的檢測裝置。
【背景技術】
[0002] 光學元件表面疵病是由于元件表面在拋光過程中磨制不均勻所產生的，其表現(xiàn)為 元件表面上存在一系列劃痕或麻點，其會影響光學成像系統(tǒng)的成像質量并危害高功率激光 系統(tǒng)的安全正常運行。光學元件表面疵病的檢測結果是判斷光學元件合格與否的重要指標 之一。目前，在工程檢測任務中，主要采用基于暗場散射成像法研制的設備儀器對于光學元 件表面疵病進行定量檢測，相關設備儀器可以對表面疵病的橫向尺寸(劃痕的寬度、長度， 以及麻點的直徑)進行定量測量，然而其不能獲得表面疵病的縱向深度，截面形狀等形貌信 息，實現(xiàn)對于光學元件表面疵病的三維形貌檢測，這不利于更加深入地了解和分析表面疵 病對光學裝置性能的影響。因此，在光學元件表面疵病的定量檢測中，表面疵病三維形貌的 精確測量具有重要意義。
[0003] 依據現(xiàn)有的檢測技術，可以利用白光干涉(WFL)光學輪廓儀或原子力顯微鏡(AFM) 對光學元件表面疵病的形貌結構進行檢測，但是這兩種方法均存在測量速度緩慢，測量視 場較小的缺點，無法適用于對元件表面疵病的實時快速、全場定量化檢測。表面輪廓儀具有 較高的檢測精度，可以獲得200nm量級的橫向分辨率及nm量級的軸向分辨率，但測量視場較 小，通常為毫米量級，且測量速度比較緩慢，其需要在測量過程中使用壓電陶瓷(PZT)進行 多步機械移相記錄多幀圖像;原子力顯微鏡的分辨率可以達到nm量級，但其測量視場一般 只能在微米量級，且在測量過程中需要對元件表面進行逐點掃描，這一方面使得測量速度 非常緩慢，另一方面探針有可能在測量過程中觸碰元件表面而造成元件損傷。現(xiàn)有技術利 用平行光對待測樣品進行照射，經待測樣品反射(或透射)后的反射平行光和經分光棱鏡后 的透射平行光直接照射到CCD相機上形成干涉圖案。由于部分光學元件表面的疵病較小，反 射平行光經待測樣品反射(或透射)后產生的相位分布的彎曲畸變較弱，因而反射平行光和 透射平行光在CCD相機上形成的干涉圖案不明顯，因而無法通過CCD相機上形成的干涉圖案 并通過一系列的計算得出待測樣品的三維形貌分布或者通過CCD相機上形成的干涉圖案計 算得出待測樣品的三維形貌分布的誤差較大，使得現(xiàn)有光學元件表面疵病檢測裝置對待測 樣品的三維形貌分布的精度和準確度較低。
[0004] 基于上述技術問題，本申請于2015年8月26日提交了四件用于光學元件表面疵病 檢測的實用新型專利申請，這四件實用新型專利申請均是采用單波長激光器作為光源，利 用分光棱鏡將激光分為反射平行光和透射平行光，形成光程不同的兩條光路，最終照射到 待測樣品的反射(或透射)平行光經過待測樣品反射(或透射)后和直接照射到CCD相機上的 透射平行光形成干涉圖案，對待測樣品的三維形貌分布的進行精準測量。

【發(fā)明內容】

[0005] 現(xiàn)有技術中，由于待測樣品是直接放置于檢測裝置中進行檢測，待測樣品的位置 無法移動，因而當待測樣品中表面缺陷的橫向尺寸較大時，若表面缺陷的尺寸超過CCD的單 幅成像視場時，無法獲得待測樣品表面疵病的完整形貌。
[0006] 本實用新型的發(fā)明目的在于:針對現(xiàn)有技術存在的問題，提供一種可適用于測量 表面疵病橫向尺寸較大的待測樣品的光學元件表面疵病檢測裝置。
[0007] 為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術方案為：
[0008] -種反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，其特征在于:包 括第一激光器、第一顯微物鏡、針孔、第一透鏡、第二反射鏡、第二分光棱鏡、第三反射鏡、第 二透鏡、第三分光棱鏡、第二顯微物鏡、衰減器、計算機、(XD相機、第三顯微物鏡和二維平移 臺；
[0009] 所述第一激光器發(fā)出的細激光束依次經過第一顯微物鏡、針孔、第一透鏡后入射 至第二分光棱鏡并經第二分光棱鏡分為反射細激光束和透射細激光束;所述反射細激光束 依次經過第二反射鏡、第三反射鏡、第二透鏡、第三分光棱鏡、第二顯微物鏡后入射至待測 樣品上，反射細激光束經待測樣品反射后依次經過第二顯微物鏡、第三分光棱鏡后入射至 C⑶相機;所述透射細激光束依次經過衰減器、第三顯微物鏡、第三分光棱鏡后入射至CCD相 機;所述待測樣品連接于二維平移臺上，所述CCD相機與計算機電連接。
[0010] 其中，所述針孔位于第一顯微物鏡的焦點上，所述細激光束依次經第一顯微物鏡、 針孔后擴束為球面點光源。
[0011] 其中，所述針孔位于第一透鏡的焦點上。
[0012] 其中，所述第二透鏡、第二顯微物鏡的焦點重合，所述第二透鏡、第二顯微物鏡組 成共焦縮束系統(tǒng)。
[0013] 其中，所述第二顯微物鏡和第三顯微物鏡為放大倍率、數值孔徑、工作距離相同的 顯微物鏡，且第二顯微物鏡與第三分光棱鏡之間的距離等于第三顯微物鏡與第三分光棱鏡 之間的距離。
[0014] 其中，所述第一透鏡和第二透鏡均為消色差透鏡。
[0015] 其中，所述第一顯微物鏡、第二顯微物鏡和第三顯微物鏡均為消色差顯微物鏡。
[0016] 綜上所述，由于采用了上述技術方案，本實用新型的有益效果是：
[0017] 本實用新型中，通過CXD相機和計算機記錄待測光學元件數字干涉圖樣的相位分 布，計算待檢光學元件表面疵病的三維形貌分布A L，實現(xiàn)表面疵病三維形貌的實時快速全 場定量檢測，測試速度迅速，測量視場大，檢測精度高;通過在檢測光路中設置顯微物鏡，利 用顯微物鏡對由于表面疵病起伏引起的波前相位畸變中的高頻信息進行收集，將尺寸微小 的光學元件表面疵病放大成像在CCD相機的靶面上，有效解決了部分相位畸變的高頻信息 在傳播過程中損失的問題，提高對于測試樣品的表面疵病的檢測精度;采用合成孔徑技術， 通過在測量過程中將待測樣品置于可進行高精度二維平移的電控精密二維平移臺上，每完 成一次CCD單幅視場大小的測量，對待測樣品進行二維平移以實現(xiàn)對整個大尺寸表面疵病 的掃描測量，從而增加了可以測量的表面疵病橫向尺寸范圍。
【附圖說明】
[0018]圖1為本實用新型的結構不意圖；
[0019] 其中，附圖標記為：1-第一激光器、5-第一顯微物鏡、6-針孔、7-第一透鏡、8- 第二反射鏡、9 一第二分光棱鏡、10-第三反射鏡、11--第二透鏡、12-第三分光棱鏡、 13-第二顯微物鏡、14 一裝減器、15-計算機、16-(XD相機、17-待測樣品、18-第二顯微 物鏡、19一二維平移臺。
【具體實施方式】
[0020] 下面結合附圖，對本實用新型作詳細的說明。
[0021] 為了使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施 例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本 實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0022] -種反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，其包括第一激光 器1、第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7、第二反射鏡8、第二分光棱鏡9、第三反射鏡10、第二 透鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡13、衰減器14、計算機15、C⑶相機16、第三顯微物鏡 18和二維平移臺19。
[0023] 第一激光器1可產生波長為A的細激光束，第一激光器1產生的細激光束依次經過 第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7后入射至第二分光棱鏡9,該細激光束在第二分光棱鏡9 上產生反射形成反射細激光束、產生透射形成透射細激光束;該反射細激光束依次在第二 反射鏡8上產生反射、在第三反射鏡10上產生反射、透射過第二透鏡11、透射過第三分光棱 鏡12、透射過第二顯微物鏡13后垂直入射至待測樣品17上，反射細激光束在待測樣品17上 產生反射，且經待測樣品17反射后的反射細激光束依次透射過第二顯微物鏡13、在第三分 光棱鏡12上產生反射后入射至CCD相機16,并在CCD相機16的靶面上成像，形成數字干涉圖 樣A;透射細激光束依次透射過衰減器14、第三顯微物鏡18、第三分光棱鏡12后入射至CCD相 機16,并在CCD相機16的靶面上成像，形成數字干涉圖樣B;該CCD相機16與計算機15電連接， CCD相機16將其采集到的數字干涉圖樣傳輸至計算機15;待測樣品17連接于二維平移臺19 上，通過在測量過程中將待測樣品17置于可進行高精度二維平移的電控精密二維平移臺19 上，每完成一次CCD單幅視場大小的測量，對待測樣品17進行二維平移以實現(xiàn)對整個大尺寸 表面疵病的掃描測量。
[0024]該檢測裝置的檢測流程為：（1)選擇待檢測的光學元件作為測試樣品，將測試樣品 的某部分邊緣區(qū)域置于顯微物鏡視場內，作為掃描起始點，然后通過電控精密二維平移臺 控制元件進行二維平移，以實現(xiàn)對整個表面缺陷的橫向二維掃描，記錄相應的數字干涉圖 樣A0，A1......六11 ;(2)計算各幅數字干涉圖樣40,41......An的相位分布cpO，q>la.....Cp n;⑶將 相位分布9〇，叫……-按照其所對應的缺陷區(qū)域位置坐標進行拼接合成，得到與整個大 尺寸表面疵病對應的相位分布9; (4)計算待檢光學元件表面疵病的三維形貌分布A L， AL=.X(p/47t，其中A為激光器的波長。
[0025]此外，所述針孔6位于第一顯微物鏡5的焦點上，所述細激光束依次經第一顯微物 鏡5、針孔6后擴束為球面點光源。
[0026]此外，所述針孔6位于第一透鏡7的焦點上。由針孔6發(fā)出的球面光束經第一透鏡7 后準直為平行光束。
[0027]此外，所述第二透鏡11、第二顯微物鏡13的焦點重合，所述第二透鏡11、第二顯微 物鏡13組成共焦縮束系統(tǒng)。
[0028]此外，所述第二顯微物鏡13和第三顯微物鏡18為放大倍率、數值孔徑、工作距離相 同的顯微物鏡，且第二顯微物鏡13與第三分光棱鏡12之間的距離等于第三顯微物鏡18與第 三分光棱鏡12之間的距離。
[0029] 此外，所述第一透鏡7和第二透鏡11均為消色差透鏡。
[0030] 此外，所述第一顯微物鏡5、第二顯微物鏡13和第三顯微物鏡18均為消色差顯微物 鏡。
[0031] 實施例1
[0032] -種反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，包括第一激光器 1、第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7、第二反射鏡8、第二分光棱鏡9、第三反射鏡10、第二透 鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡13、衰減器14、計算機15、(XD相機16、第三顯微物鏡18 和二維平移臺19;
[0033] 所述第一激光器1發(fā)出的細激光束依次經過第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7后 入射至第二分光棱鏡9并經第二分光棱鏡9分為反射細激光束和透射細激光束;所述反射細 激光束依次經過第二反射鏡8、第三反射鏡10、第二透鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡 13后垂直入射至待測樣品17上，反射細激光束經待測樣品17反射后依次經過第二顯微物鏡 13、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;所述透射細激光束依次經過衰減器14、第三顯微 物鏡18、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;待測樣品17連接于二維平移臺19上，所述(XD 相機16與計算機15電連接。
[0034] 實施例2
[0035] -種反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，包括第一激光器 1、第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7、第二反射鏡8、第二分光棱鏡9、第三反射鏡10、第二透 鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡13、衰減器14、計算機15、(XD相機16、第三顯微物鏡18 和二維平移臺19;
[0036] 所述第一激光器1發(fā)出的細激光束依次經過第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7后 入射至第二分光棱鏡9并經第二分光棱鏡9分為反射細激光束和透射細激光束;所述反射細 激光束依次經過第二反射鏡8、第三反射鏡10、第二透鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡 13后垂直入射至待測樣品17上，反射細激光束經待測樣品17反射后依次經過第二顯微物鏡 13、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;所述透射細激光束依次經過衰減器14、第三顯微 物鏡18、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;待測樣品17連接于二維平移臺19上，所述(XD 相機16與計算機15電連接。
[0037]其中，所述針孔6位于第一顯微物鏡5的焦點上，所述細激光束依次經第一顯微物 鏡5、針孔6后擴束為球面點光源。
[0038] 實施例3
[0039] -種反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，包括第一激光器 1、第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7、第二反射鏡8、第二分光棱鏡9、第三反射鏡10、第二透 鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡13、衰減器14、計算機15、(XD相機16、第三顯微物鏡18 和二維平移臺19;
[0040] 所述第一激光器1發(fā)出的細激光束依次經過第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7后 入射至第二分光棱鏡9并經第二分光棱鏡9分為反射細激光束和透射細激光束;所述反射細 激光束依次經過第二反射鏡8、第三反射鏡10、第二透鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡 13后垂直入射至待測樣品17上，反射細激光束經待測樣品17反射后依次經過第二顯微物鏡 13、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;所述透射細激光束依次經過衰減器14、第三顯微 物鏡18、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;待測樣品17連接于二維平移臺19上，所述(XD 相機16與計算機15電連接。
[0041 ]其中，所述針孔6位于第一透鏡7的焦點上。
[0042] 實施例4
[0043] -種反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，包括第一激光器 1、第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7、第二反射鏡8、第二分光棱鏡9、第三反射鏡10、第二透 鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡13、衰減器14、計算機15、(XD相機16、第三顯微物鏡18 和二維平移臺19;
[0044] 所述第一激光器1發(fā)出的細激光束依次經過第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7后 入射至第二分光棱鏡9并經第二分光棱鏡9分為反射細激光束和透射細激光束;所述反射細 激光束依次經過第二反射鏡8、第三反射鏡10、第二透鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡 13后垂直入射至待測樣品17上，反射細激光束經待測樣品17反射后依次經過第二顯微物鏡 13、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;所述透射細激光束依次經過衰減器14、第三顯微 物鏡18、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;待測樣品17連接于二維平移臺19上，所述(XD 相機16與計算機15電連接。
[0045]其中，所述第二透鏡11、第二顯微物鏡13的焦點重合，所述第二透鏡11、第二顯微 物鏡13組成共焦縮束系統(tǒng)。
[0046] 實施例5
[0047] -種反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，包括第一激光器 1、第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7、第二反射鏡8、第二分光棱鏡9、第三反射鏡10、第二透 鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡13、衰減器14、計算機15、(XD相機16、第三顯微物鏡18 和二維平移臺19;
[0048] 所述第一激光器1發(fā)出的細激光束依次經過第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7后 入射至第二分光棱鏡9并經第二分光棱鏡9分為反射細激光束和透射細激光束;所述反射細 激光束依次經過第二反射鏡8、第三反射鏡10、第二透鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡 13后垂直入射至待測樣品17上，反射細激光束經待測樣品17反射后依次經過第二顯微物鏡 13、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;所述透射細激光束依次經過衰減器14、第三顯微 物鏡18、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;待測樣品17連接于二維平移臺19上，所述(XD 相機16與計算機15電連接。
[0049]其中，所述第二顯微物鏡13和第三顯微物鏡18為放大倍率、數值孔徑、工作距離相 同的顯微物鏡，且第二顯微物鏡13與第三分光棱鏡12之間的距離等于第三顯微物鏡18與第 三分光棱鏡12之間的距離。
[0050] 實施例6
[0051] -種反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，包括第一激光器 1、第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7、第二反射鏡8、第二分光棱鏡9、第三反射鏡10、第二透 鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡13、衰減器14、計算機15、(XD相機16、第三顯微物鏡18 和二維平移臺19;
[0052] 所述第一激光器1發(fā)出的細激光束依次經過第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7后 入射至第二分光棱鏡9并經第二分光棱鏡9分為反射細激光束和透射細激光束;所述反射細 激光束依次經過第二反射鏡8、第三反射鏡10、第二透鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡 13后垂直入射至待測樣品17上，反射細激光束經待測樣品17反射后依次經過第二顯微物鏡 13、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;所述透射細激光束依次經過衰減器14、第三顯微 物鏡18、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;待測樣品17連接于二維平移臺19上，所述(XD 相機16與計算機15電連接。
[0053]其中，所述第一透鏡7和第二透鏡11均為消色差透鏡。
[0054] 實施例7
[0055] -種反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，包括第一激光器 1、第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7、第二反射鏡8、第二分光棱鏡9、第三反射鏡10、第二透 鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡13、衰減器14、計算機15、(XD相機16、第三顯微物鏡18 和二維平移臺19;
[0056] 所述第一激光器1發(fā)出的細激光束依次經過第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7后 入射至第二分光棱鏡9并經第二分光棱鏡9分為反射細激光束和透射細激光束;所述反射細 激光束依次經過第二反射鏡8、第三反射鏡10、第二透鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡 13后垂直入射至待測樣品17上，反射細激光束經待測樣品17反射后依次經過第二顯微物鏡 13、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;所述透射細激光束依次經過衰減器14、第三顯微 物鏡18、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;待測樣品17連接于二維平移臺19上，所述(XD 相機16與計算機15電連接。
[0057]其中，所述第一顯微物鏡5、第二顯微物鏡13和第三顯微物鏡18均為消色差顯微物 鏡。
[0058] 實施例8
[0059] -種反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，包括第一激光器 1、第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7、第二反射鏡8、第二分光棱鏡9、第三反射鏡10、第二透 鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡13、衰減器14、計算機15、(XD相機16、第三顯微物鏡18 和二維平移臺19;
[0060] 所述第一激光器1發(fā)出的細激光束依次經過第一顯微物鏡5、針孔6、第一透鏡7后 入射至第二分光棱鏡9并經第二分光棱鏡9分為反射細激光束和透射細激光束;所述反射細 激光束依次經過第二反射鏡8、第三反射鏡10、第二透鏡11、第三分光棱鏡12、第二顯微物鏡 13后垂直入射至待測樣品17上，反射細激光束經待測樣品17反射后依次經過第二顯微物鏡 13、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;所述透射細激光束依次經過衰減器14、第三顯微 物鏡18、第三分光棱鏡12后入射至CCD相機16;待測樣品17連接于二維平移臺19上，所述(XD 相機16與計算機15電連接。
[0061]其中，所述針孔6位于第一顯微物鏡5的焦點上，所述細激光束依次經第一顯微物 鏡5、針孔6后擴束為球面點光源。
[0062]其中，所述針孔6位于第一透鏡7的焦點上。
[0063]其中，所述第二透鏡11、第二顯微物鏡13的焦點重合，所述第二透鏡11、第二顯微 物鏡13組成共焦縮束系統(tǒng)。
[0064]其中，所述第二顯微物鏡13和第三顯微物鏡18為放大倍率、數值孔徑、工作距離相 同的顯微物鏡，且第二顯微物鏡13與第三分光棱鏡12之間的距離等于第三顯微物鏡18與第 三分光棱鏡12之間的距離。
[0065]其中，所述第一透鏡7和第二透鏡11均為消色差透鏡。
[0066]其中，所述第一顯微物鏡5、第二顯微物鏡13和第三顯微物鏡18均為消色差顯微物 鏡。
[0067]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本 實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型 的保護范圍之內。
【主權項】
1. 一種反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，其特征在于:包括 第一激光器（1)、第一顯微物鏡(5)、針孔(6)、第一透鏡(7)、第二反射鏡(8)、第二分光棱鏡 (9)、第三反射鏡（10)、第二透鏡（11)、第三分光棱鏡（12)、第二顯微物鏡（13)、衰減器（14)、 計算機(15)、C⑶相機(16)、第三顯微物鏡（18)和二維平移臺（19); 所述第一激光器（1)發(fā)出的細激光束依次經過第一顯微物鏡（5)、針孔(6)、第一透鏡 (7)后入射至第二分光棱鏡(9)并經第二分光棱鏡(9)分為反射細激光束和透射細激光束； 所述反射細激光束依次經過第二反射鏡(8)、第三反射鏡（10)、第二透鏡（11 )、第三分光棱 鏡（12)、第二顯微物鏡（13)后入射至待測樣品（17)上，反射細激光束經待測樣品（17)反射 后依次經過第二顯微物鏡（13 )、第三分光棱鏡（12 )后入射至C⑶相機（16 );所述透射細激光 束依次經過衰減器（14)、第三顯微物鏡（18)、第三分光棱鏡（12)后入射至CCD相機（16);所 述待測樣品（17 )連接于二維平移臺（19 )上，所述C⑶相機(16 )與計算機(15 )電連接。2. 如權利要求1所述的反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，其 特征在于:所述針孔(6)位于第一顯微物鏡(5)的焦點上，所述細激光束依次經第一顯微物 鏡(5)、針孔(6)后擴束為球面點光源。3. 如權利要求1所述的反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，其 特征在于:所述針孔(6)位于第一透鏡(7)的焦點上。4. 如權利要求1所述的反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，其 特征在于:所述第二透鏡（11)、第二顯微物鏡（13)的焦點重合，所述第二透鏡（11)、第二顯 微物鏡(13)組成共焦縮束系統(tǒng)。5. 如權利要求1所述的反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置，其 特征在于:所述第二顯微物鏡（13)和第三顯微物鏡（18)為放大倍率、數值孔徑、工作距離相 同的顯微物鏡，且第二顯微物鏡（13)與第三分光棱鏡（12)之間的距離等于第三顯微物鏡 (18)與第三分光棱鏡（12)之間的距尚。6. 如權利要求1-5中任一所述的反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測 裝置，其特征在于:所述第一透鏡(7)和第二透鏡(11)均為消色差透鏡。7. 如權利要求1-5中任一所述的反射型合成孔徑數字全息術的光學元件表面疵病檢測 裝置，其特征在于:所述第一顯微物鏡（5)、第二顯微物鏡（13)和第三顯微物鏡（18)均為消 色差顯微物鏡。
【文檔編號】G01N21/95GK205562427SQ201521133673
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2015年12月30日
【發(fā)明人】姜宏振, 鄭芳蘭, 劉勇, 劉旭, 李 東, 楊, 楊 一, 陳竹, 任寰, 張霖, 周信達, 鄭垠波, 原泉, 石振東, 巴榮聲, 李文洪, 于德強, 袁靜, 丁磊, 馬可, 馬玉榮, 馮曉璇, 陳波, 楊曉瑜
【申請人】中國工程物理研究院激光聚變研究中心