本發(fā)明涉及半導(dǎo)體溫控，具體而言，涉及一種溫控系統(tǒng)及溫控方法。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，溫度控制是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一。隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展，對溫度穩(wěn)定性的要求越來越高，尤其是在一些先進的制程工藝中，需要實現(xiàn)非常低的溫度控制。

2、現(xiàn)有的溫控系統(tǒng)在滿足多個溫度需求的情況下，面對負(fù)載端的變化，溫控系統(tǒng)不能快速響應(yīng)，影響了整體的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的包括提供一種溫控系統(tǒng)及溫控方法，其能夠?qū)崿F(xiàn)更低供液溫度的同時，靈活切換工作模式，應(yīng)對多樣化的負(fù)載變化，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

2、本發(fā)明的實施例可以這樣實現(xiàn)：

3、第一方面，本發(fā)明提供一種溫控系統(tǒng)，包括：

4、第一制冷系統(tǒng)，所述第一制冷系統(tǒng)包括第一壓縮機、第一冷凝器、第一儲液器、第一膨脹閥、第二膨脹閥、第一蒸發(fā)器和第一換熱器，所述第一壓縮機、第一冷凝器和所述第一儲液器依次相連，所述第一儲液器的出口分別與所述第一蒸發(fā)器的第一側(cè)進口、所述第一換熱器的第一側(cè)進口相連，所述第一蒸發(fā)器的第一側(cè)出口、所述第一換熱器的第一側(cè)出口均與所述第一壓縮機的進口連通，所述第一膨脹閥設(shè)在所述第一儲液器和所述第一蒸發(fā)器之間，所述第二膨脹閥設(shè)在所述第一儲液器和所述第一換熱器之間；

5、第二制冷系統(tǒng)，所述第二制冷系統(tǒng)包括第二壓縮機、第二冷凝器、第二儲液器、第三膨脹閥和第二蒸發(fā)器，所述第二壓縮機、所述第二冷凝器和所述第二儲液器依次相連，所述第二冷凝器的第一側(cè)出口與所述第一換熱器的第二側(cè)進口連通，所述第一換熱器的第二側(cè)出口與所述第二儲液器的進口連通，所述第二儲液器的出口與所述第二蒸發(fā)器的進口連通，所述第二蒸發(fā)器的出口與所述第二壓縮機的進口連通，所述第三膨脹閥設(shè)在所述第二儲液器和所述第二蒸發(fā)器之間；

6、循環(huán)系統(tǒng)，所述循環(huán)系統(tǒng)包括第一循環(huán)回路、第二循環(huán)回路、第一三通閥和第二三通閥；

7、所述第一循環(huán)回路包括依次連接的第一膨脹罐、第一循環(huán)泵、第一加熱器和第一負(fù)載，所述第二循環(huán)回路包括依次相連的第二膨脹罐、第二循環(huán)泵、第二加熱器和第二負(fù)載，所述第一三通閥包括第一閥口、第二閥口和第三閥口，所述第二三通閥包括第四閥口、第五閥口和第六閥口，所述第一負(fù)載的出口與所述第一閥口連通，所述第三閥口與所述第一蒸發(fā)器的第二側(cè)進口連通，所述第一蒸發(fā)器的第二側(cè)出口與所述第一膨脹罐的進口連通，所述第二閥口與所述第二蒸發(fā)器的第二側(cè)進口連通，所述第二蒸發(fā)器的第二側(cè)出口與所述第四閥口連通，所述第五閥口與所述第一膨脹罐的進口連通；所述第二負(fù)載的出口與所述第二蒸發(fā)器的第二側(cè)進口連通，所述第六閥口與所述第二膨脹罐的進口連通。

8、第二方面，本發(fā)明提供一種溫控方法，應(yīng)用于前述實施方式所述的溫控系統(tǒng)，所述方法包括：

9、獲取所述第三溫度傳感器的第三溫度設(shè)定值為sv0；

10、實時獲取所述第三溫度傳感器的第三溫度測定值pv0；

11、計算所述第三溫度設(shè)定值sv0與所述第三溫度測定值pv0的差值x；

12、若a≤x＜a+a，所述第一膨脹閥的開度增大m％；

13、若a+a≤x＜a+b，所述第一膨脹閥的開度增大n％；

14、若a+b≤x≤b-b，所述第一膨脹閥的開度不變；

15、若b-b＜x≤b-a，所述第一膨脹閥的開度減小m％；

16、若b-a＜x≤b，所述第一膨脹閥的開度減小n％；

17、若x＜a時，所述第一膨脹閥的開度增大l％；

18、若x＞b時，所述第一膨脹閥的開度減小l％；其中，a＜0＜a＜b＜b；

19、所述方法還包括：

20、獲取所述第四溫度傳感器的第四溫度設(shè)定值為sv4；

21、實時獲取所述第四溫度傳感器的第四溫度測定值pv4；

22、計算所述第四溫度設(shè)定值sv4與所述第四溫度測定值pv4的差值u；

23、若e≤u＜e+e，所述第三膨脹閥的開度增大m％；

24、若e+e≤u＜e+f，所述第三膨脹閥的開度增大n％；

25、若e+f≤u≤f-f，所述第三膨脹閥的開度不變；

26、若f-f＜u≤f-e，所述第三膨脹閥的開度減小m％；

27、若f-e＜u≤f，所述第三膨脹閥的開度減小n％；

28、若u＜e時，所述第三膨脹閥的開度增大l％；

29、若u＞f時，所述第三膨脹閥的開度減小l％；其中，e＜0＜e＜f＜f。

30、本發(fā)明實施例提供的溫控系統(tǒng)和方法的有益效果包括：

31、本發(fā)明的溫控系統(tǒng)通過將制冷系統(tǒng)設(shè)置為第一制冷系統(tǒng)和第二制冷系統(tǒng)。其中，通過在第一制冷系統(tǒng)中設(shè)置第一換熱器，使得第二制冷系統(tǒng)中的制冷劑能夠依次通過第二冷凝器和第一換熱器進行降溫，從而能夠?qū)崿F(xiàn)更低溫度的制冷劑對循環(huán)液進行降溫，進而提供更低溫度的循環(huán)液。通過兩套制冷系統(tǒng)分別對兩套循環(huán)系統(tǒng)分別制冷，能夠同時提供兩種供液溫度。同時通過在循環(huán)系統(tǒng)中設(shè)置三通閥，使得兩套循環(huán)回路能夠相互切換，實現(xiàn)多種制冷模式。本發(fā)明的溫控系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)更低供液溫度的同時，靈活切換工作模式，應(yīng)對多樣化的負(fù)載變化，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)特征：

1.一種溫控系統(tǒng)(100)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫控系統(tǒng)(100)，其特征在于，所述第一制冷系統(tǒng)(101)還包括第四膨脹閥(114)，所述第一儲液器(105)的出口通過所述第四膨脹閥(114)與所述第一壓縮機(103)的進口連通；所述第二制冷系統(tǒng)(102)還包括第五膨脹閥(115)，所述第二儲液器(126)的出口通過所述第五膨脹閥(115)與所述第二壓縮機(110)的進口連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫控系統(tǒng)(100)，其特征在于，所述第一壓縮機(103)的進口處設(shè)置有第一壓力傳感器(117)和第一溫度傳感器(116)，所述第二壓縮機(110)的進口處設(shè)置有第二壓力傳感器(119)和第二溫度傳感器(118)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫控系統(tǒng)(100)，其特征在于，所述第一膨脹罐(203)和所述第一循環(huán)泵(204)之間設(shè)置有第三溫度傳感器(206)，在所述第二膨脹罐(210)和所述第二循環(huán)泵(211)之間設(shè)置有第四溫度傳感器(214)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫控系統(tǒng)(100)，其特征在于，所述第一壓縮機(103)的出口還設(shè)置有第五溫度傳感器(120)和第三壓力傳感器(121)；所述第二壓縮機(110)的出口還設(shè)置有第六溫度傳感器(122)和第四壓力傳感器(123)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫控系統(tǒng)(100)，其特征在于，所述溫控系統(tǒng)(100)還包括冷卻水系統(tǒng)(30)，所述第一冷凝器(104)的第二側(cè)、所述第二冷凝器(111)的第二側(cè)分別與所述冷卻水系統(tǒng)(30)連接，所述第二冷凝器(111)的第二側(cè)與所述冷卻水系統(tǒng)(30)之間設(shè)置有電磁閥。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫控系統(tǒng)(100)，其特征在于，所述第一加熱器(205)和所述第一負(fù)載(207)之間設(shè)置有第七溫度傳感器(215)；所述第二加熱器(213)和所述第二負(fù)載之間設(shè)置有第八溫度傳感器(216)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫控系統(tǒng)(100)，其特征在于，所述第一儲液器(105)的出口設(shè)置有第九溫度傳感器(124)；所述第二儲液器(126)的出口設(shè)置有第十溫度傳感器(125)。

9.一種溫控方法，其特征在于，應(yīng)用于權(quán)利要求4所述的溫控系統(tǒng)(100)，所述方法包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的溫控方法，其特征在于，所述第一壓縮機(103)的進口處設(shè)置有第一壓力傳感器(117)和第一溫度傳感器(116)，所述第二壓縮機(110)的進口處設(shè)置有第二壓力傳感器(119)和第二溫度傳感器(118)，在a≤x≤b的情況下，所述方法還包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的實施例提供了一種溫控系統(tǒng)及溫控方法，涉及半導(dǎo)體溫控技術(shù)領(lǐng)域。本溫控系統(tǒng)包括第一制冷系統(tǒng)和第二制冷系統(tǒng)。循環(huán)系統(tǒng)包括第一循環(huán)回路和第二循環(huán)回路。通過設(shè)置第一三通閥和第二三通閥，使得第一循環(huán)回路和第二循環(huán)回路可選擇地與第一制冷系統(tǒng)或者第二制冷系統(tǒng)換熱。本溫控系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)更低供液溫度的同時，靈活切換工作模式，應(yīng)對多樣化的負(fù)載變化，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：張偉明,曹位尚
受保護的技術(shù)使用者：上海盛劍半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/4/7