本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體制造，尤其涉及一種基于實(shí)時(shí)數(shù)倉(cāng)的晶圓派工管理方法、設(shè)備、介質(zhì)及產(chǎn)品。

背景技術(shù)：

1、近年來(lái)，隨著互聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的快速發(fā)展，半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域得到了快速的發(fā)展。半導(dǎo)體晶圓廠的生產(chǎn)場(chǎng)景復(fù)雜，對(duì)生產(chǎn)連續(xù)性要求高，rtd系統(tǒng)(real?time?dispatch，實(shí)時(shí)派工系統(tǒng))需要在一到兩秒的時(shí)間內(nèi)給出晶圓派工的排程結(jié)果。晶圓派工排程結(jié)果由設(shè)定的派工規(guī)則決定，派工規(guī)則中包含了對(duì)mes表格數(shù)據(jù)的邏輯處理。對(duì)于復(fù)雜的工藝生產(chǎn)場(chǎng)景，派工規(guī)則中需要完成復(fù)雜的mes表邏輯處理以及大量的數(shù)據(jù)計(jì)算。目前，復(fù)雜場(chǎng)景下派工規(guī)則的實(shí)現(xiàn)方式有兩種：一種是在rtd中直接編寫(xiě)復(fù)雜派工規(guī)則，實(shí)時(shí)計(jì)算；另一種是通過(guò)非實(shí)時(shí)計(jì)算，定期輸出派工規(guī)則的運(yùn)行結(jié)果。前一種由于派工邏輯復(fù)雜，計(jì)算耗時(shí)較長(zhǎng)，可能會(huì)直接降低派工效率。后一種的實(shí)時(shí)性較差，輸出結(jié)果的準(zhǔn)確性和時(shí)效性不足，也會(huì)使晶圓派工效率不能達(dá)到最佳。因此，如何能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)時(shí)計(jì)算并且具有較高的計(jì)算效率，同時(shí)保證準(zhǔn)確性和時(shí)效性，是本領(lǐng)域技術(shù)人員的技術(shù)難題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)的一個(gè)目的是提供一種基于實(shí)時(shí)數(shù)倉(cāng)的晶圓派工管理方法、設(shè)備、介質(zhì)及產(chǎn)品，至少用以解決晶圓派工過(guò)程計(jì)算量大、實(shí)時(shí)性無(wú)法保證以及非實(shí)時(shí)性派工存在的晶圓派工準(zhǔn)確度差的問(wèn)題。本申請(qǐng)通過(guò)獲取晶圓派工的業(yè)務(wù)過(guò)程信息，根據(jù)所述業(yè)務(wù)過(guò)程信息進(jìn)行數(shù)據(jù)域劃分，在每個(gè)數(shù)據(jù)域中基于所述業(yè)務(wù)過(guò)程信息建立事實(shí)表；在各數(shù)據(jù)域中建立維度表；其中，所述維度表中同步更新各數(shù)據(jù)域的最新?tīng)顟B(tài)數(shù)據(jù)；根據(jù)晶圓派工規(guī)則配置需求，基于所述事實(shí)表和所述維度表完成目標(biāo)指標(biāo)的計(jì)算。通過(guò)采用本方案，可以實(shí)現(xiàn)基于實(shí)時(shí)計(jì)算來(lái)進(jìn)行晶圓派工的管理，提高了晶圓派工的實(shí)時(shí)性和準(zhǔn)確性。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)的一些實(shí)施例提供了以下幾個(gè)方面：

3、第一方面，本申請(qǐng)的一些實(shí)施例還提供了一種基于實(shí)時(shí)數(shù)倉(cāng)的晶圓派工管理方法，包括：

4、獲取晶圓派工的業(yè)務(wù)過(guò)程信息，根據(jù)所述業(yè)務(wù)過(guò)程信息進(jìn)行數(shù)據(jù)域劃分，在每個(gè)數(shù)據(jù)域中基于所述業(yè)務(wù)過(guò)程信息建立事實(shí)表；

5、在各數(shù)據(jù)域中建立維度表；其中，所述維度表中同步更新各數(shù)據(jù)域的最新?tīng)顟B(tài)數(shù)據(jù)；

6、根據(jù)晶圓派工規(guī)則配置需求，基于所述事實(shí)表和所述維度表完成目標(biāo)指標(biāo)的計(jì)算。

7、第二方面，本申請(qǐng)的一些實(shí)施例還提供了一種電子設(shè)備，所述電子設(shè)備包括：一個(gè)或多個(gè)處理器；以及存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序指令的存儲(chǔ)器，所述計(jì)算機(jī)程序指令在被執(zhí)行時(shí)使所述處理器執(zhí)行如上所述方法的步驟。

8、第三方面，本申請(qǐng)的一些實(shí)施例還提供了一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序指令，所述計(jì)算機(jī)程序指令可被處理器執(zhí)行以實(shí)現(xiàn)如上所述的方法。

9、第四方面，本申請(qǐng)的一些實(shí)施例還提供了一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括計(jì)算機(jī)程序/指令，該計(jì)算機(jī)程序/指令被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)如上所述方法的步驟。

10、與相關(guān)技術(shù)相比，本申請(qǐng)實(shí)施例提供的方案中，通過(guò)獲取晶圓派工的業(yè)務(wù)過(guò)程信息，根據(jù)所述業(yè)務(wù)過(guò)程信息進(jìn)行數(shù)據(jù)域劃分，在每個(gè)數(shù)據(jù)域中基于所述業(yè)務(wù)過(guò)程信息建立事實(shí)表；在各數(shù)據(jù)域中建立維度表；其中，所述維度表中同步更新各數(shù)據(jù)域的最新?tīng)顟B(tài)數(shù)據(jù)；根據(jù)晶圓派工規(guī)則配置需求，基于所述事實(shí)表和所述維度表完成目標(biāo)指標(biāo)的計(jì)算。通過(guò)采用本方案，可以實(shí)現(xiàn)基于實(shí)時(shí)計(jì)算來(lái)進(jìn)行晶圓派工的管理，提高了晶圓派工的實(shí)時(shí)性和準(zhǔn)確性。

技術(shù)特征：

1.一種基于實(shí)時(shí)數(shù)倉(cāng)的晶圓派工管理方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述數(shù)據(jù)域的劃分結(jié)果包括：lot、eqp、flow、reticle、reci?pe、carri?er以及chamber。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，在每個(gè)數(shù)據(jù)域中基于所述業(yè)務(wù)過(guò)程信息建立事實(shí)表，包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述最新?tīng)顟B(tài)數(shù)據(jù)包括數(shù)據(jù)域當(dāng)前的優(yōu)先級(jí)、是否在runcard流程、所在站點(diǎn)、產(chǎn)品名稱(chēng)、產(chǎn)品版本、計(jì)劃名稱(chēng)、計(jì)劃版本以及最近一次綁定的stepper_code信息。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，根據(jù)晶圓派工規(guī)則配置需求，基于所述事實(shí)表和所述維度表完成目標(biāo)指標(biāo)的計(jì)算，包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述應(yīng)用層表格從所述事實(shí)表和所述維度表中提取與所述目標(biāo)指標(biāo)的關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，基于所述應(yīng)用層表格對(duì)所述目標(biāo)指標(biāo)進(jìn)行計(jì)算，包括：

8.一種電子設(shè)備，其特征在于，所述電子設(shè)備包括：

9.一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序/指令，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)程序/指令被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1至7中任意一項(xiàng)所述方法的步驟。

10.一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括計(jì)算機(jī)程序/指令，其特征在于，該計(jì)算機(jī)程序/指令被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1至7中任意一項(xiàng)所述方法的步驟。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)實(shí)施例涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種基于實(shí)時(shí)數(shù)倉(cāng)的晶圓派工管理方法、設(shè)備、介質(zhì)及產(chǎn)品。該方法包括：獲取晶圓派工的業(yè)務(wù)過(guò)程信息，根據(jù)所述業(yè)務(wù)過(guò)程信息進(jìn)行數(shù)據(jù)域劃分，在每個(gè)數(shù)據(jù)域中基于所述業(yè)務(wù)過(guò)程信息建立事實(shí)表；在各數(shù)據(jù)域中建立維度表；其中，所述維度表中同步更新各數(shù)據(jù)域的最新?tīng)顟B(tài)數(shù)據(jù)；根據(jù)晶圓派工規(guī)則配置需求，基于所述事實(shí)表和所述維度表完成目標(biāo)指標(biāo)的計(jì)算。通過(guò)采用本方案，可以實(shí)現(xiàn)基于實(shí)時(shí)計(jì)算來(lái)進(jìn)行晶圓派工的管理，提高了晶圓派工的實(shí)時(shí)性和準(zhǔn)確性。

技術(shù)研發(fā)人員：汪靜,蔡亮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海朋熙半導(dǎo)體有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15