專利名稱：陣列微片激光器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及激光領域，尤其涉及采用半導體激光陣列作為泵浦源，或單一大功率泵浦分解為多個泵浦源，或光纖束泵浦或其他泵浦方式，由微片或其他微型腔構成的陣列微片激光器。
技術背景在半導體泵浦激光器中，通常方式是將半導體陣列激光器通過側面或端面泵浦方式對單一激光諧振腔進行泵浦，從而獲得高功率激光輸出。這種方式通常存在問題是系統(tǒng)體積較大，結構較復雜。
在美國專利UL5,115,445；UL5,256,164；UL5,403,437中提出另一種用LD陣列泵浦一組粘在一個基片上的微片激光器設想，如圖1所示的微片激光器包括陣列LD101和陣列微片式腔內倍頻激光器102，該微片激光器均為超短腔微片激光器，它要求的激光腔縱模間隔大于激光增益介質增益寬度，以獲得每個微片單縱模，顯然這樣要求每片只能產生較低功率的激光輸出。在美國專利UL5,256,164提出以此產生高功率器件，但它所給出結構在實際上并不易獲得較高功率輸出，因為它散熱結構過于簡單，當陣列LD101功率較大時泵浦，就無法及時散熱，微片激光器系統(tǒng)難以獲得預期結果。

發(fā)明內容
本實用新型目的是提供一種及時散熱以獲得高功率的激光輸出的陣列微片激光器。
本實用新型目的通過以下技術方案實現(xiàn)陣列微片激光器包括基座、陣列LD和陣列微片式腔內倍頻激光器，陣列LD和陣列微片式腔內倍頻激光器對應設在基座上，其中在基座上的微片式微片激光器之間設有孔或槽。
在陣列LD和陣列微片式腔內倍頻激光器之間還設有陣列微透鏡。
本實用新型采用以上結構，由于基座上的微片激光器之間設有孔或槽，可以通過冷卻水或冷卻風，及時散熱，因此可以獲得穩(wěn)定的高功率的激光輸出。


現(xiàn)結合附圖對本實用新型作進一步闡述圖1是現(xiàn)有陣列微片激光器的結構示意圖；
圖2是本實用新型的結構示意圖；圖3是本實用新型微片式微形腔激光器陣列的截面結構示意圖；圖4是本實用新型采用陣列式半導體激光器的微片激光器的結構示意圖；圖5是本實用新型采用輸出多根光纖的激光器的微片激光器的結構示意圖；圖6是本實用新型采用強激光分束成多光束的微片激光器的結構示意圖；圖7是本實用新型實施例一的結構示意圖；圖8是本實用新型實施例二的結構示意圖。
具體實施方式
如圖2、3所示本實用新型的陣列微片激光器包括基座103、陣列LD101和陣列微片式腔內倍頻激光器102，陣列LD101和陣列微片式腔內倍頻激光器102對應設在基座103上，其中在基座103上的陣列微片式腔內倍頻激光器102之間設有孔或槽105，所設孔或槽105可以沿三維方向設置，以達到最好的通風通水的散熱效果，基座103還可以采用導熱系數大的材料，從而獲得穩(wěn)定的高功率的激光輸出。陣列LD101和陣列微片式腔內倍頻激光器102可以直接粘接，或在陣列LD101和陣列微片式腔內倍頻激光器102之間還設有陣列微透鏡104，將陣列LD101輸出的光聚焦，以提高功率。
如圖4所示，本實用新型的陣列LD101可以采用陣列式半導體激光器。
如圖5所示，本實用新型的陣列LD101可以采用輸出多根光纖的激光器。
如圖6所示，本實用新型的陣列LD101可以采用將較強激光分束成多光束的激光器。
本實用新型具體實施時，如圖7所示，陣列微片式腔內倍頻激光器102包括激光增益介質106、與激光增益介質106基質相同的介質107和熱膨脹系數相近的光學材料108與倍頻晶體109，所設材料可以是片狀或立柱狀，各光學元件采用深化光膠構成整體，各元件之間間隙實現(xiàn)通水或通氣冷卻。
本實用新型具體實施時，也可如圖8所示，陣列微片式腔內倍頻激光器102包括激光增益介質106、與激光增益介質106基質相同的介質107和熱膨脹系數相近的光學材料108與倍頻晶體109、及其他材料110，所設材料可以是片狀或立柱狀，各光學元件采用深化光膠構成整體，各元件之間間隙實現(xiàn)通水或通氣冷卻。
權利要求1.陣列微片激光器，包括基座、陣列LD和陣列微片式腔內倍頻激光器，陣列LD和陣列微片式腔內倍頻激光器對應設在基座上，其特征在于在基座上的陣列微片式腔內倍頻激光器之間設有孔或槽。
2.根據權利要求1所述的陣列微片激光器，其特征在于其孔或槽沿三維方向設置。
3.根據權利要求1或2所述的陣列微片激光器，其特征在于其陣列LD和陣列微片式腔內倍頻激光器直接粘接。
4.根據權利要求1或2所述的陣列微片激光器，其特征在于在陣列LD和陣列微片式腔內倍頻激光器之間設有陣列微透鏡。
5.根據權利要求1或2所述的陣列微片激光器，其特征在于陣列LD是陣列式半導體激光器、輸出多根光纖的激光器或將較強激光分束成多光束的激光器。
6.根據權利要求1或2所述的陣列微片激光器，其特征在于其陣列微片式腔內倍頻激光器包括激光增益介質、與激光增益介質基質相同的介質和熱膨脹系數相近的光學材料與倍頻晶體，所設材料是片狀或立柱狀，各光學元件采用深化光膠構成整體，各元件之間間隙實現(xiàn)通水或通氣。
專利摘要本實用新型公開陣列微片激光器，其包括基座、陣列LD和陣列微片式腔內倍頻激光器，陣列LD和陣列微片式腔內倍頻激光器對應設在基座上，其中在基座上的陣列微片式腔內倍頻激光器之間設有孔或槽，采用以上結構，由于基座上的微片激光器之間設有孔或槽，可以通過冷卻水或冷卻風，及時散熱，因此可以獲得穩(wěn)定的高功率的激光輸出。
文檔編號H01S3/04GK2899206SQ20062006912
公開日2007年5月9日 申請日期2006年1月28日 優(yōu)先權日2006年1月28日
發(fā)明者吳礪, 孫朝陽, 林斌, 凌吉武 申請人:福州高意通迅有限公司