專利名稱：一種用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路制造設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置。
背景技術(shù)：
激光調(diào)阻，是一種修調(diào)電阻阻值的工藝。其原理是當(dāng)高功率激光光束撞擊厚膜或薄膜電阻材料表面時，光束撞擊處的電阻材料介質(zhì)氣化，使電阻阻值升高。激光調(diào)阻機(jī)就是利用此原理，對電阻進(jìn)行修調(diào)，得到符合阻值精度要求的電阻的裝置。激光調(diào)阻機(jī)在修調(diào)電阻前，需要先測量得到待修調(diào)電阻的阻值?，F(xiàn)有技術(shù)中，在激光調(diào)阻時，一臺電阻測試儀需要對同一基片上幾個或幾十個電阻進(jìn)行阻值測量。因此，激光調(diào)阻機(jī)采用繼電器矩陣對多個電阻進(jìn)行測試。繼電器矩陣通常由N(行)X2(列)個繼電器組成，每行為一個測試通道。對于每個通道，第一列的繼電器動作時，該通道與測試儀表的測試高端連接；第二列的繼電器動作時，該通道與測試儀表的測試低端連接。測試電阻時必須建立兩個(或兩個以上)不同的測試通道一個通道連接高端(HP)，另一個通道連接低端(LP)。上面提到，進(jìn)行電阻測量時，必須要為每個電阻建立互不相干的測試通道?，F(xiàn)有技術(shù)中，激光調(diào)阻機(jī)建立電阻測試通道的方法基本上是通過IO擴(kuò)展卡輸出控制信號至繼電器驅(qū)動電路，再驅(qū)動繼電器動作來實現(xiàn)的。通過繼電器矩陣電路，可以分別建立各個電阻的測試通道。但是，現(xiàn)有技術(shù)中，激光調(diào)阻機(jī)在使用時，激光調(diào)阻機(jī)的主機(jī)即為PC主機(jī)。主機(jī)運行IO擴(kuò)展卡設(shè)備驅(qū)動程序，繼電器矩陣控制信號由IO擴(kuò)展卡輸出。由于主機(jī)運行IO擴(kuò)展卡設(shè)備驅(qū)動程序的同時，會運行操作系統(tǒng)程序，所以測試通道建立時間長，對于多電阻修調(diào)及檢測，需要耗費多時間，從而使激光調(diào)阻機(jī)的測試電阻的效率降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置，能夠提高激光調(diào)阻機(jī)的測試電阻的效率。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了如下方案一種用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置，包括繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路，以及九個8X3繼電器矩陣電路；每個8X3繼電器矩陣電路包括8行3列繼電器；所述九個8X3繼電器矩陣電路依次相連；每個8X3繼電器矩陣電路的一端通過EST總線與激光調(diào)阻機(jī)CPU控制單元相連，另一端通過連接件及電纜線與電阻測量探針相連；所述九個 8 X 3繼電器矩陣電路與激光調(diào)阻機(jī)的電阻測量單元相連。優(yōu)選的，所述繼電器為雙極繼電器。優(yōu)選的，所述繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路，包括譯碼器電路、驅(qū)動電路和數(shù)據(jù)鎖存器；所述數(shù)據(jù)鎖存器控制行列繼電器開或關(guān)。
優(yōu)選的，所述繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路，還包括反相電路；用于對所述譯碼器電路的輸出進(jìn)行反相，并將反相后的信號輸出至所述驅(qū)動電路。優(yōu)選的，所述譯碼器電路為雙2-4譯碼器電路。根據(jù)本發(fā)明提供的具體實施例，本發(fā)明公開了以下技術(shù)效果本發(fā)明所公開的用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置，建立電阻測試通道時，是CPU直接對繼電器矩陣單元進(jìn)行寫操作，所以通道建立時間很短，使得多電阻修調(diào)及檢測速度快，效率高。此夕卜，由于采用9X8X3繼電器矩陣，最多可以有72個測試通道，便于多電阻的一次性修調(diào)。


為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本發(fā)明所公開的用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置結(jié)構(gòu)圖；圖2為8 X 3繼電器矩陣電路圖；圖3為連接件CONl結(jié)構(gòu)圖；圖4為繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路第一部分電路圖；圖5為繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路第二部分電路圖；圖6為繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路第三部分電路圖；圖7為繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路第四部分電路圖；圖8為外設(shè)單元FE50H-FE61H的映象圖。
具體實施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。圖1為本發(fā)明所公開的用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置結(jié)構(gòu)圖。如圖1 所示，該裝置包括繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路(圖中未示出)，和九個8X3繼電器矩陣電
路(繼電器矩陣電路1，繼電器矩陣電路2，繼電器矩陣電路3......繼電器矩陣電路9)；
所述九個8X3繼電器矩陣電路依次相連；每個8X3繼電器矩陣電路的一端通過EST總線與激光調(diào)阻機(jī)CPU控制單元101相連，另一端通過連接件及電纜線與電阻測量探針104相連；所述九個8X3繼電器矩陣電路與激光調(diào)阻機(jī)的電阻測量單元相連102。其中所述九個8X3繼電器矩陣電路構(gòu)成本發(fā)明所公開的用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置103。
每個8 X 3繼電器矩陣電路包括8行3列繼電器。圖2為8X3繼電器矩陣電路圖。如圖2所示，該電路由8行(CH1_CH8)3列(LP、 HP、GP)繼電器組成。每行為一個測試通道，每個測試通道有3個繼電器，分別為LP繼電器 (繼電器動作時連接LP)、HP繼電器(繼電器動作時連接HP)和GP繼電器(繼電器動作時連接GP)。每個繼電器為雙極繼電器。其中1(1、1(4、1(7、1(10、1(13、1(16、1(19、1(22為1^繼電器(一極連接VL，另一極連接IL)求2、1(5、1(8、1(11、1(14、1(17、1(20、1(23為昍繼電器(一極連接 VH,另一極連接 IH) ；K3、K6、K9、K12、K15、K18、K2UK24 為 GP 繼電器(一極連接 GH, 另一極連接GL)。Jl為HP、LP和GP外連接端口，通過電纜線與相鄰“8 X 3繼電器矩陣”及電阻測量單元測試端口相連。 圖3為連接件CONl結(jié)構(gòu)圖。CONl為CH1-CH8連接件，繼電器矩陣電路通過連接件及電纜線與電阻測量探針相連接。圖4為繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路第一部分電路圖；圖5為繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路第二部分電路圖；圖6為繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路第三部分電路圖；圖7為繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路第四部分電路圖。下面對繼電器矩陣電路的工作原理進(jìn)行詳細(xì)說明。圖中K1A-K24A分別是Kl-KM 繼電器線圈，U101、U102、U103、U104為繼電器驅(qū)動集成電路。U4A、U4B完成對CHl、CH2的 LP、HP和GP繼電器的控制；U5A、U5B完成對CH3、CH4的LP、HP和GP繼電器的控制；U6A、 U6B完成對CH5、CH6的LP、HP和GP繼電器的控制；U7A、U7B完成對CH7、CH8的LP、HP和 GP繼電器的控制。U4、TO、U6、U7為雙2-4譯碼器電路。U2、U3為控制行列繼電器開或關(guān)的數(shù)據(jù)鎖存器。根據(jù)雙2-4譯碼器電路真值表功能，可以設(shè)定如下數(shù)據(jù)(通過CPU寫入U2、U3)格式來控制“8X3繼電器矩陣”的工作每一個測試通道由2位數(shù)據(jù)控制。其中DO、Dl控制CHl的LP、HP、GP繼電器，D2、 D3控制CH2的LP、HP、GP繼電器，D4、D5控制CH3的LP、HP、GP繼電器，D6、D7控制CH4的 LP、HP、GP 繼電器，D8、D9 控制 CH5 的 LP、HP、GP 繼電器，D10,Dll 控制 CH6 的 LP、HP、GP 繼電器，D12、D13控制CH7的LP、HP、GP繼電器，D14、D15控制CH8的LP、HP、GP繼電器。其
控制方法見下表
權(quán)利要求
1.一種用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置，其特征在于，包括繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路，以及九個8 X 3繼電器矩陣電路；每個8 X 3繼電器矩陣電路包括8行3列繼電器；所述九個8X3繼電器矩陣電路依次相連；每個8X3繼電器矩陣電路的一端通過EST 總線與激光調(diào)阻機(jī)CPU控制單元相連，另一端通過連接件及電纜線與電阻測量探針相連； 所述九個8 X3繼電器矩陣電路與激光調(diào)阻機(jī)的電阻測量單元相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述繼電器為雙極繼電器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路，包括 譯碼器電路、驅(qū)動電路和數(shù)據(jù)鎖存器；所述數(shù)據(jù)鎖存器控制行列繼電器開或關(guān)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路，還包括反相電路；用于對所述譯碼器電路的輸出進(jìn)行反相，并將反相后的信號輸出至所述驅(qū)動電路。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述譯碼器電路為雙2-4譯碼器電路。
全文摘要
本發(fā)明公開一種用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置，其特征在于，包括繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路，以及九個8×3繼電器矩陣電路；每個8×3繼電器矩陣電路包括8行3列繼電器；所述九個8×3繼電器矩陣電路依次相連；每個8×3繼電器矩陣電路的一端通過EST總線與激光調(diào)阻機(jī)CPU控制單元相連，另一端通過連接件及電纜線與電阻測量探針相連；所述九個8×3繼電器矩陣電路與激光調(diào)阻機(jī)的電阻測量單元相連。采用本發(fā)明所公開的裝置，建立電阻測試通道時，通道建立時間很短，使得多電阻修調(diào)及檢測速度快，效率高。
文檔編號H01C17/242GK102426295SQ20111030229
公開日2012年4月25日 申請日期2011年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月29日
發(fā)明者沈玉良 申請人:沈玉良