專利名稱：晶圓注入系統(tǒng)監(jiān)測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種監(jiān)測裝置，特指一種晶圓注入系統(tǒng)監(jiān)測裝置。
背景技術(shù)：
隨著科技日新月異的發(fā)展，電子半導(dǎo)體行業(yè)也變得越來越重要，而晶圓卻是電子科技中最基礎(chǔ)最重要的一部分。公知的晶圓加工過程中會裝設(shè)有一個(gè)注入系統(tǒng)，用來控制特殊液體或氣體注入反應(yīng)室的汽化量或壓力。在公知的注入系統(tǒng)中，液體流量計(jì)對導(dǎo)入閥的供給特殊液體或氣體的量由控制模組根據(jù)操作者的設(shè)定作自動控制。但在實(shí)際操作時(shí)，會受各種因素影響，導(dǎo)致液體流量計(jì)對導(dǎo)入閥的特殊液體或氣體的通入量與所需不符，通入量過低或過低皆會影響晶圓的制造品質(zhì)，且縮短注入系統(tǒng)的使用壽命。
發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實(shí)用新型提供了一種晶圓注入系統(tǒng)監(jiān)測裝置，具體的說是有一個(gè)監(jiān)測裝置，用來監(jiān)測晶圓加工過程中注入特殊液體或氣體后導(dǎo)入閥的電壓及液體流量計(jì)的表面溫度。
本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:本實(shí)用新型提供的一種晶圓注入系統(tǒng)監(jiān)測裝置，在晶圓加工過程中裝設(shè)有一個(gè)注入系統(tǒng)，由一個(gè)液體流量計(jì)、一個(gè)導(dǎo)入閥及一個(gè)控制模組所組成，其中，液體流量計(jì)以一管線與導(dǎo)入閥連接，液體流量計(jì)與控制模組作控制上的連接，來接受該控制模組的控制信號，用來控制液體流量計(jì)對導(dǎo)入閥特殊液體或氣體的供給量，該導(dǎo)入閥則可控制特殊或氣體的汽化量。注入系統(tǒng)更裝設(shè)有一個(gè)監(jiān)測裝置，由一個(gè)接收器及一個(gè)監(jiān)視幕所組成，該接收器可經(jīng)由監(jiān)測而接收導(dǎo)入閥的電壓信號，以及經(jīng)由監(jiān)測而接收液體流量計(jì)的表面溫度信號，并經(jīng)運(yùn)算后在監(jiān)視幕上將導(dǎo)入閥的電壓大小及液體流量計(jì)的表面溫度高低即時(shí)顯示出，到時(shí)操作者可經(jīng)由控制模組調(diào)整該液體流量計(jì)對導(dǎo)入閥特殊液體或氣體的通入量及導(dǎo)入閥的汽化能力。控制模組還可以連接至一個(gè)客戶監(jiān)控端，以利客戶可以同步了解晶圓加工的情形。本實(shí)用新型的有益效果是:提高晶圓的制造品質(zhì)，延長注入系統(tǒng)的使用壽命。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。

圖1是本實(shí)用新型的構(gòu)成立體圖。圖2是本實(shí)用新型的作用方塊圖。圖中1.注入系統(tǒng)，2.液體流量計(jì)，3.導(dǎo)入閥，4.監(jiān)測裝置，5.控制模組，
6.客戶監(jiān)控端，7.管線，8.接收器，9.監(jiān)視幕。
具體實(shí)施方式
[0011]如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型的實(shí)施例在晶圓加工過程中會裝設(shè)有一個(gè)注入系統(tǒng)1，由一個(gè)液體流量計(jì)2、一個(gè)導(dǎo)入閥3、一個(gè)監(jiān)測裝置4、一個(gè)控制模組5及一個(gè)客戶監(jiān)控端6所連接組成。其中，液體流量計(jì)2 —管線7與導(dǎo)入閥3連接，液體流量計(jì)2與控制模組5作控制上的連接，來接受該控制模組5的控制信號，用來控制液體流量計(jì)2對導(dǎo)入閥3特殊液體或氣體的供給量，控制模組5還可以連接至一個(gè)客戶監(jiān)控端6，以利客戶可以同步了解晶圓加工的情形。該導(dǎo)入閥3可控制特殊或氣體的汽化量，導(dǎo)入閥3內(nèi)部以高壓噴入一個(gè)載流氣體通過，來幫助將特殊液體或氣體汽化并輸送至晶圓制造的反應(yīng)室，導(dǎo)入閥3內(nèi)部并設(shè)有加熱器，來幫助特殊液體或氣體的汽化速度。注入系統(tǒng)I更裝設(shè)有一個(gè)監(jiān)測裝置4，由一個(gè)接收器8及一個(gè)監(jiān)視幕9所組成，該接收器8可經(jīng)由監(jiān)測而接收導(dǎo)入閥3的電壓信號，以及經(jīng)由監(jiān)測而接收液體流量計(jì)2的表面溫度信號，并在接收器8內(nèi)部經(jīng)由配置有軟體的運(yùn)算系統(tǒng)進(jìn)行資料比對運(yùn)算后，在監(jiān)視幕9上將導(dǎo)入閥3的電壓大小及液體流量計(jì)2的表面溫度高低即時(shí)顯示出，到時(shí)操作者可經(jīng)由控制模組5調(diào)整該液體流量計(jì)2對導(dǎo)入閥3特殊液體或氣體的通入量及 導(dǎo)入閥3的汽化能力。
權(quán)利要求1.一種晶圓注入系統(tǒng)監(jiān)測裝置，包括一個(gè)注入系統(tǒng)及一個(gè)監(jiān)測裝置，其特征是:所述注入系統(tǒng)，由一個(gè)液體流量計(jì)、一個(gè)導(dǎo)入閥及一個(gè)控制模組所組成；所述監(jiān)測裝置，由一個(gè)接收器及一個(gè)監(jiān)視幕所組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是:所述液體流量計(jì)以一管線與導(dǎo)入閥連接，液體流量計(jì)與控制模組連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是:所述控制模組還可以連接至一個(gè)客戶監(jiān)控端。
專利摘要本實(shí)用新型提供的一種晶圓注入系統(tǒng)監(jiān)測裝置，在晶圓加工過程中裝設(shè)有一個(gè)注入系統(tǒng)，由一個(gè)液體流量計(jì)、一個(gè)導(dǎo)入閥及一個(gè)控制模組所組成，液體流量計(jì)控制對導(dǎo)入閥特殊液體或氣體的供給量，該導(dǎo)入閥則可控制特殊或氣體的汽化量。注入系統(tǒng)更裝設(shè)有一個(gè)監(jiān)測裝置，由一個(gè)接收器及一個(gè)監(jiān)視幕所組成，該接收器可經(jīng)由監(jiān)測而接收導(dǎo)入閥的電壓信號，以及經(jīng)由監(jiān)測而接收液體流量計(jì)的表面溫度信號，并經(jīng)運(yùn)算后在監(jiān)視幕上將導(dǎo)入閥的電壓大小及液體流量計(jì)的表面溫度高低即時(shí)顯示出，到時(shí)操作者可經(jīng)由控制模組調(diào)整該液體流量計(jì)對導(dǎo)入閥特殊液體或氣體的通入量及導(dǎo)入閥的汽化能力。如此可提高晶圓的制造品質(zhì)，延長注入系統(tǒng)的使用壽命。
文檔編號H01L21/67GK203118920SQ201320158760
公開日2013年8月7日 申請日期2013年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月2日
發(fā)明者金杰 申請人:金杰