一種用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板，包括：金屬板，設(shè)有多個(gè)孔位所構(gòu)成的陣列；多個(gè)橡膠吸嘴，一一對(duì)應(yīng)地設(shè)于各所述孔位內(nèi)，該干燥板便于拆卸，對(duì)于彎曲性材料起到很好的吸附作用。
【專利說明】一種用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)是單純?cè)诮饘侔彘_槽抽真空直接吸附半導(dǎo)體基板，對(duì)于彎曲性材料會(huì)造成真空泄漏。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板，解決上述現(xiàn)有技術(shù)中干燥板對(duì)半導(dǎo)體基板吸附會(huì)真空泄漏的問題。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)及其他相關(guān)目標(biāo)，本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板，包括:金屬板，設(shè)有多個(gè)孔位所構(gòu)成的陣列；多個(gè)橡膠吸嘴，一一對(duì)應(yīng)地設(shè)于各所述孔位內(nèi)。
[0005]可選的，所述陣列為方陣。
[0006]可選的，所述金屬板在所述陣列外還設(shè)有用于定位半導(dǎo)體基板的定位孔。
[0007]可選的，所述金屬板在所述陣列外還設(shè)有固定用的螺絲孔。
[0008]可選的，所述金屬為不銹鋼。
[0009]如上所述，本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板，包括:金屬板，設(shè)有多個(gè)孔位所構(gòu)成的陣列；多個(gè)橡膠吸嘴，一一對(duì)應(yīng)地設(shè)于各所述孔位內(nèi)，該干燥板便于拆卸，對(duì)于彎曲性材料起到很好的吸附作用。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1顯示為本實(shí)用新型的用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板的一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]元件標(biāo)號(hào)說明:
[0012]1-金屬板；
[0013]2-橡膠吸嘴；
[0014]3-定位孔；
[0015]4-螺絲孔。

【具體實(shí)施方式】
[0016]以下通過特定的具體實(shí)例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。需說明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。
[0017]如圖1所示，本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板，包括:金屬板1，設(shè)有多個(gè)孔位所構(gòu)成的陣列；多個(gè)橡膠吸嘴2，一一對(duì)應(yīng)地設(shè)于各所述孔位內(nèi)。
[0018]優(yōu)選的，所述陣列為方陣，當(dāng)然在其他實(shí)施例中，其形狀可根據(jù)實(shí)際情況加以變化，例如三角形、梯形、或圓形等等，并非以本實(shí)施例為限；并且所述干燥板的尺寸及孔位陣列的數(shù)量可根據(jù)半導(dǎo)體板的大小加以變化；所述孔位可為圓孔、方形孔、三角孔等等，所述橡膠吸嘴2可具有對(duì)應(yīng)的結(jié)合凸臺(tái)，可以卡入所述孔位內(nèi)以固定，較佳的，在尺寸上過盈配合，固定較佳。
[0019]在一實(shí)施例中，所述金屬板I在所述陣列外還設(shè)有用于定位半導(dǎo)體基板的定位孔3，便于通過凹凸配合定位半導(dǎo)體基板在水平面的位置；進(jìn)一步可選的，所述金屬板I在所述陣列外還設(shè)有固定用的螺絲孔4，可用以螺鎖固定基本板或固定干燥板于治具上皆可。
[0020]在一實(shí)施例中，所述金屬為不銹鋼，當(dāng)然亦可為其他金屬材質(zhì)，主要是防銹耐腐蝕的現(xiàn)有金屬材質(zhì)皆可。
[0021]綜上所述，本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板，包括:金屬板，設(shè)有多個(gè)孔位所構(gòu)成的陣列；多個(gè)橡膠吸嘴，一一對(duì)應(yīng)地設(shè)于各所述孔位內(nèi)，該干燥板便于拆卸，對(duì)于彎曲性材料起到很好的吸附作用。
[0022]上述實(shí)施例僅例示性說明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板，其特征在于，包括: 金屬板，設(shè)有多個(gè)孔位所構(gòu)成的陣列； 多個(gè)橡膠吸嘴，一一對(duì)應(yīng)地設(shè)于各所述孔位內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板，其特征在于，所述陣列為方陣。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板，所述金屬板在所述陣列外還設(shè)有用于定位半導(dǎo)體基板的定位孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板，所述金屬板在所述陣列外還設(shè)有固定用的螺絲孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體切割設(shè)備的真空吸附干燥板，其特征在于，所述金屬為不銹鋼。
【文檔編號(hào)】H01L21/687GK204257617SQ201420794465
【公開日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2014年12月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月16日
【發(fā)明者】馮建青 申請(qǐng)人:海太半導(dǎo)體（無錫）有限公司