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金屬化薄膜電容器薄膜結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):11146492閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種金屬化薄膜電容器薄膜結(jié)構(gòu),包括電介質(zhì)薄膜和覆蓋在所述電介質(zhì)薄膜上的蒸鍍電極層,所述蒸鍍電極層包括第一金屬層和第二金屬層,其特征在于,所述第一金屬層位于所述第二金屬層上,所述第一金屬層與所述第二金屬層重疊處設(shè)有加厚區(qū),所述加厚區(qū)寬度為所述第二金屬層寬度的35%-50%。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬化薄膜電容器薄膜結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一金屬層前端面與所述第二金屬層前端面處于同一豎直面,所述第一金屬層后端面為斜坡面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬化薄膜電容器薄膜結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一金屬層前端面至后端面中點(diǎn)之間的區(qū)域?yàn)榧雍駞^(qū)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的金屬化薄膜電容器薄膜結(jié)構(gòu),其特征在于,所述加厚區(qū)寬度為所述第二金屬層寬度的50%。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的金屬化薄膜電容器薄膜結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一金屬層為鋅金屬層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的金屬化薄膜電容器薄膜結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二金屬層為鋁金屬層。

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