本實用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)。

背景技術(shù)：

等離子體(Plasma)是氣體在電場作用下放電的一種現(xiàn)象，等離子發(fā)生器(又稱等離子源)是在一定氣體流量、壓力、溫度、激發(fā)功率等條件下產(chǎn)生等離子體的一種裝置。它相當(dāng)于一個用電力加強的化學(xué)反應(yīng)體系，對化學(xué)氣相沉積鍍膜(PECVD)、化學(xué)反應(yīng)等離子表面刻蝕(RIE)能產(chǎn)生各種特別效果，被廣泛應(yīng)用于包括半導(dǎo)體，液晶顯示、太陽能電池電子材料的生產(chǎn)。

為了使等離子體能夠連續(xù)用于生產(chǎn)基板材料，需要配置一個能夠在真空里進行基板傳輸?shù)捏w系，并且在真空外面進行基板的交換。如圖1所示為現(xiàn)有的鏈?zhǔn)秸婵者B續(xù)傳輸工藝流程圖，它可以用于晶硅電池片的生產(chǎn)工藝。譬如：PECVD(英文名為：Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，中文名為：等離子強化化學(xué)氣相沉積法)鍍膜氮化硅(SiN)，氧化鋁(AlO)，非晶硅(a－Si)等。也可以用于等離子真空刻蝕(也稱RIE干法制絨)等。在真空鍍膜生產(chǎn)過程中，基板硅片放置在載板上，載板經(jīng)過抽空腔體，并在該腔體內(nèi)抽真空并加熱；達到真空和工藝腔平衡后就可以進入工藝腔體進行PECVD鍍膜；鍍膜后進入真空狀態(tài)的放氣腔體，在放氣腔里沖氣回填到大氣壓力后就可以移出來。同樣地，在真空刻蝕過程中，硅片放置在載板上，載板經(jīng)過抽空腔抽真空進入真空，然后進入工藝腔體進行等離子干法制絨，完成制絨后進入放氣腔體放大氣后出載。兩種設(shè)備除了工藝和加熱步驟不同，其它過程非常相似。

現(xiàn)有的鏈?zhǔn)絺鬏敆l件下的離子工藝設(shè)備，包括自動化上料臺、抽真空腔體、工藝腔體、放氣腔體、載板冷卻臺、自動化下料臺和下傳輸系統(tǒng)。

所述抽真空腔體的一邊設(shè)有第一門閥，抽真空腔體另一邊設(shè)有第二門閥，放氣腔體的一邊設(shè)有第三門閥，放氣腔體的另一邊設(shè)有第四門閥，工藝腔體前端設(shè)有緩沖腔體一，放氣腔體的前端設(shè)有緩沖腔體二，所述工藝腔體內(nèi)設(shè)有能夠產(chǎn)生等離子體的裝置和進工藝氣體的裝置。

這種鏈?zhǔn)皆O(shè)備運行過程中，載板連續(xù)進去和出來，總共需要7塊載板以上達到一個不間斷的運行，使生產(chǎn)的硅片量最大化，有效地利用設(shè)備工藝能力。每塊載板可以放置多塊硅片，決定于設(shè)備的載板的長寬尺寸。放置和取下硅片通過自動化裝片機和卸片機分別完成。

從抽空腔、工藝腔、到放氣腔，同時有3-4塊載板存在，一旦設(shè)備出現(xiàn)故障，尤其是硅片自動下料過程或傳輸發(fā)生故障，工藝運行必須停下來，因為卸載臺只能放置一塊載板。但是已經(jīng)進入真空腔體體內(nèi)的載板需要連續(xù)不停處理，一旦停止，在腔體體內(nèi)的硅片就損壞，影響成品率，而且再啟動就費很多時間。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

要解決的技術(shù)問題

本實用新型的目的在于提供鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中在運行過程中，一旦出現(xiàn)故障，工藝必須停下來，但是腔體體內(nèi)的載板需要連續(xù)工藝處理，否則可能使得暫停在腔體體內(nèi)的硅片損壞，影響成品率，也會延長再啟動的時間和難度技術(shù)問題。

技術(shù)方案

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)包括：下傳輸系統(tǒng)，及依次連接的自動化上料臺、抽真空腔體、工藝腔體、放氣腔體和自動化下料臺；所述下傳輸系統(tǒng)分別與所述自動化下料臺及自動化上料臺連接，所述自動化下料臺與所述放氣腔體之間設(shè)置有載板緩存冷卻臺。

進一步地，所述載板緩存冷卻臺包括機架及設(shè)置于機架上的閉合腔室及緩存單元；所述閉合腔室內(nèi)設(shè)置有用于水平傳輸載板的傳輸單元，緩存單元對應(yīng)于所述傳輸單元的垂直方向設(shè)置于所述閉合腔室內(nèi)，且能夠帶著載板沿垂直方向移動用于緩存所述載板。

進一步地，所述閉合腔室包括多個密封板，設(shè)置于所述閉合腔室兩端的所述密封板上設(shè)置有用于所述載板出入的開口。即設(shè)置于閉合腔室左右兩端的密封板上設(shè)置有開口。

進一步地，還包括設(shè)置于所述閉合腔室上設(shè)置有通孔，用于抽氣排放。為了防止工藝氣體長期積累，會產(chǎn)生不健康環(huán)境，還包括設(shè)置于所述密閉腔體室上的抽氣法蘭。抽氣法蘭設(shè)置于閉合腔室的頂部與通孔連通，通過廠務(wù)排風(fēng)系統(tǒng)把殘留氣體排放出去。

進一步地，所述傳輸單元包括設(shè)置于所述機架上的傳輸滾輪，能夠?qū)⑺鲚d板從所述自動化下料臺平移到所述緩存單元的托架上。

進一步地，多個所述托架構(gòu)成多個工位，所述載板位于所述工位內(nèi)，所述托架通過氣缸帶動沿垂直方向移動。

進一步地，所述氣缸上設(shè)置有電磁控制閥，能夠控制所述托架帶動所述載板上下移動。

進一步地，還包括對應(yīng)于所述緩存單元設(shè)置的傳感器，所述傳感器與中央控制器連接。傳輸滾輪將載板傳到相應(yīng)工位，傳感器觸發(fā)，氣缸電磁控制閥得電，氣缸上升，緩存一塊載板。

為了對工藝腔體出來的載板進行冷卻，進一步地，還包括對應(yīng)于所述載板設(shè)置的風(fēng)扇。

為了更好的對載板進行降溫，進一步地，還包括對應(yīng)于所述風(fēng)扇設(shè)置的板式換熱器。板式換熱器裝在風(fēng)扇的抽風(fēng)口下面，可以降低抽風(fēng)溫度，達到冷卻效果。

有益效果

采用上述技術(shù)方案，本實用新型具有如下有益效果：本實用新型提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)包括下傳輸系統(tǒng)，及依次連接的自動化上料臺、抽真空腔體、工藝腔體、放氣腔體和自動化下料臺；所述下傳輸系統(tǒng)分別與所述自動化下料臺及自動化上料臺連接，所述自動化下料臺與所述放氣腔體之間設(shè)置有載板緩存冷卻臺。本實用新型提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)中采用緩存單元能夠使載板在該單元有一定的停留時間使載板冷卻，同時在上下料工位或其它傳輸工位發(fā)故障時能收存載板，使已經(jīng)進入真空的載板完成工藝過程，將完成處理的載板緩存起來，避免了廢品的產(chǎn)生，也節(jié)約了再啟動時間；具有生產(chǎn)率高和成品率高的優(yōu)點。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型具體實施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案下面將對具體實施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施方式，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型背景技術(shù)提供的鏈?zhǔn)竭B續(xù)傳輸系統(tǒng)的工藝流程圖；

圖2為本實用新型實施例提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)中載板緩存冷卻臺的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2的A-A剖視圖；

圖4為圖2的B-B剖視圖；

圖5為本實用新型實施例提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)中氣缸及托架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實用新型實施例提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)的工藝流程圖。

附圖標(biāo)記：

1-抽氣法蘭； 2-密封有機玻璃； 3-風(fēng)扇；

4-板式換熱器； 5-載板； 6-氣缸；

7-傳輸滾輪； 8-托架。

具體實施方式

下面將結(jié)合附圖對本實用新型的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

在本實用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“垂直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。

實施例一

如圖6所示本實用新型提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)包括下傳輸系統(tǒng)，及依次連接的自動化上料臺、抽真空腔體、工藝腔體、放氣腔體和自動化下料臺；所述下傳輸系統(tǒng)分別與所述自動化下料臺及自動化上料臺連接，所述自動化下料臺與所述放氣腔體之間設(shè)置有載板緩存冷卻臺。本實用新型提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)中采用緩存單元能夠繼續(xù)工藝，把已經(jīng)進入真空的載板完成工藝過程，將完成處理的載板緩存起來，再冷卻。采用載板緩存冷卻臺替代現(xiàn)有的載板冷卻臺，避免了廢品的產(chǎn)生，也節(jié)約了再啟動時間；具有生產(chǎn)率高和成品率高的優(yōu)點。

圖2為本實用新型實施例提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)中載板緩存冷卻臺的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為圖2的A-A剖視圖，圖4為圖2的B-B剖視圖，圖5為本實用新型實施例提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)中氣缸及托架的結(jié)構(gòu)示意圖；如圖2至圖5所示，所述載板緩存冷卻臺包括機架及設(shè)置于機架上的閉合腔室及緩存單元；所述閉合腔室內(nèi)設(shè)置有用于水平傳輸載板的傳輸單元，緩存單元對應(yīng)于所述傳輸單元的垂直方向設(shè)置于所述閉合腔室內(nèi)，且能夠帶著載板沿垂直方向移動用于緩存所述載板。緩存單元能夠沿垂直方向移動用于緩存所述載板。

緩存單元對應(yīng)于所述傳輸單元設(shè)置于所述閉合腔室內(nèi)，且能夠沿垂直方向移動用于緩存所述載板。本實用新型提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)中緩存單元通過沿著垂直方向移動將載板放置在緩存單元上。

本實施例一中的所述閉合腔室包括多個密封板，密封板可以為密封有機玻璃2，設(shè)置于所述閉合腔室兩端的所述密封有機玻璃2上設(shè)置有用于所述載板出入的開口。即設(shè)置于閉合腔室左右兩端的密封有機玻璃2上設(shè)置有開口。

本實用新型提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)中所述傳輸單元包括設(shè)置于所述機架上的傳輸滾輪7，傳輸滾輪7通過轉(zhuǎn)動能夠?qū)d板進行水平方向的傳輸，即左右方向，將所述載板從所述自動化下料臺平移到所述緩存單元的托架上。

本實施例一中所述緩存單元為與所述傳輸單元齊平的托架8，緩存載板的托架8的數(shù)量可以根據(jù)真空工藝腔體內(nèi)的總載板數(shù)量來定，常規(guī)設(shè)計共計需要緩存四張載板。多個所述托架構(gòu)成多個工位，所述載板位于所述工位內(nèi)，所述托架通過氣缸帶動沿垂直方向移動。即托架8上升至與傳輸滾輪7齊平的位置，第一張載板從真空工藝腔體出來傳輸至閉合腔室內(nèi)，至托架8。托架8帶動第一張載板下降，在托架8的上方放置第二個托架8，托架8上升，第二張載板傳至第二個托架8上，第二個托架8帶動載板下降，依次類推可以緩存四張載板。本實用新型不限于四張載板也可以根據(jù)需求設(shè)置托架的數(shù)量。通過氣缸一步一步提升，多塊載板5可以儲存在儲存臺上。通過氣缸一步一步下降，載板5回到傳輸水平位置，把載板運送出去，進行下料循環(huán)，繼續(xù)生產(chǎn)。

本實施例中所述緩存單元通過氣缸6帶動沿垂直方向移動。

本實施例一中的所述氣缸6上設(shè)置有用于控制氣缸伸縮的電磁控制閥，能夠控制所述托架帶動所述載板上下移動。

本實用新型提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)中還包括對應(yīng)于所述緩存單元設(shè)置的傳感器，所述傳感器與與中央控制器連接，傳感器能感知載板的存在，并告知中央控制器。傳輸滾輪7將載板傳到相應(yīng)工位，如載板傳輸至托架8的中間部位時，傳感器觸發(fā)，氣缸電磁控制閥得電，氣缸6上升，緩存一塊載板。設(shè)備故障解除時，載板依次通過傳輸滾輪7移出鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)。

載板在鏈?zhǔn)綏l件下的雙頻等離子發(fā)生器的工藝腔體中，工藝腔體兩端設(shè)有載板入出的開口，載板位于高頻射頻電源與低頻射頻電源之間。工藝腔體與真空泵連通，載板上的硅片需要加工，被等離子體反應(yīng)，從而獲得需要的器件結(jié)構(gòu)，在載板完全離開等離子體區(qū)域以后脫離滾輪并從工藝腔體的另一端離開。進入閉合腔室，在需要暫停的情況下開啟傳感器，傳輸滾輪將載板傳到相應(yīng)的工位，傳感器將信號傳輸至電磁控制閥開啟氣缸6進行緩存，從而形成不間斷生產(chǎn)的鏈?zhǔn)綏l件，避免了廢品的產(chǎn)生，也節(jié)約了再啟動時間。

工藝腔體內(nèi)由一對平行板組成，平行板的第一電極板連接高頻射頻電源，第二電極板連接低頻射頻電源，第二電極板與載板通過一個或多個滾輪或?qū)щ娝⒌冗B接。載板可以從真空裝置的一端進入，經(jīng)過等離子發(fā)生器區(qū)域，再從工藝腔體的另一端離開。進入緩存臺的閉合腔室內(nèi)。

實施例二

由于剛出載的載板上硅片會帶有殘留的工藝氣體，工藝氣體長期累積會產(chǎn)生不健康環(huán)境，需要排風(fēng)。為了防止工藝氣體長期積累，本實施例二中還包括設(shè)置于所述閉合腔室上設(shè)置有通孔，用于抽氣排放。為了防止工藝氣體長期積累，會產(chǎn)生不健康環(huán)境，還包括設(shè)置于所述密閉腔體室上的抽氣法蘭1。抽氣法蘭1設(shè)置于閉合腔室的頂部與通孔連通，通過廠務(wù)排風(fēng)系統(tǒng)把殘留氣體排放出去。

本實施例二中抽氣法蘭1設(shè)置于閉合腔室的頂部，作為閉合腔室的抽氣接口，通過廠務(wù)排風(fēng)系統(tǒng)，可以將閉合腔室內(nèi)的氣體抽出把殘留氣體排放出去。其他同實施例一。

實施例三

由于載板為熱的，為了對工藝腔體出來的載板進行冷卻，本實施例三中還包括對應(yīng)于所述載板設(shè)置的風(fēng)扇3。即風(fēng)扇3設(shè)置于載板的下方。

進一步地，為了更好的對載板進行降溫，本實施例三中還包括對應(yīng)于所述風(fēng)扇3設(shè)置的板式換熱器4。板式換熱器4裝在風(fēng)扇3的抽風(fēng)口下面，可以降低抽風(fēng)溫度，達到冷卻效果。板式換熱器也可以是其他形式的能夠?qū)崿F(xiàn)降溫的換熱器。

實施例四

自動化上料臺和自動化下料臺在同一端，情況一為載板依次經(jīng)過裝載腔端、下傳輸系統(tǒng)、升降臺、自動化下料臺、自動化上料臺最后至裝載腔。情況二為載板經(jīng)過在卸載腔端即放氣腔、載板緩存冷卻臺、自動化下料臺、自動化上料臺、升降臺最后至下傳輸系統(tǒng)。

本實用新型提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)使用時，載板依次進過自動化上料臺、抽真空腔體及工藝腔體，從工藝腔體內(nèi)出載設(shè)備故障時，傳感器打開，傳輸滾輪7將載板傳到相應(yīng)工位，如載板傳輸至托架8的中間部位時，傳感器觸發(fā)，氣缸電磁控制閥得電，氣缸6上升，緩存一塊載板。設(shè)備故障解除時，載板依次通過傳輸滾輪7移出鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)進入放氣腔體和自動化下料臺。需要時可以將抽氣法蘭1打開將熱氣抽取，或者采用風(fēng)扇3對載板進行散熱，也可以根據(jù)需要設(shè)置換熱器。

綜上所述，本實用新型提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)包括下傳輸系統(tǒng)，及依次連接的自動化上料臺、抽真空腔體、工藝腔體、放氣腔體和自動化下料臺；所述下傳輸系統(tǒng)分別與所述自動化下料臺及自動化上料臺連接，所述自動化下料臺與所述放氣腔體之間設(shè)置有載板緩存冷卻臺。本實用新型提供的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)中采用緩存單元能夠使載板在該單元有一定的停留時間使載板冷卻，同時在上下料工位或其它傳輸工位發(fā)故障時能收存載板，使已經(jīng)進入真空的載板完成工藝過程，將完成處理的載板緩存起來，避免了廢品的產(chǎn)生，也節(jié)約了再啟動時間；具有生產(chǎn)率高和成品率高的優(yōu)點。

最后應(yīng)說明的是：以上各實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述各實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分或者全部技術(shù)特征進行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施例技術(shù)方案的范圍。