專利名稱：光學(xué)多環(huán)掃描元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光學(xué)多環(huán)掃描元件，尤指一種于鏡面與外環(huán)間再增加至少一個(gè)環(huán)狀結(jié)構(gòu)的光學(xué)多環(huán)掃描元件，該環(huán)狀結(jié)構(gòu)與鏡面同一扭轉(zhuǎn)軸心，通過(guò)特殊的模態(tài)設(shè)計(jì)與電磁力驅(qū)動(dòng)后，具備同時(shí)進(jìn)行水平與垂直方向二維掃描的能力，可產(chǎn)生放大掃描角度與降低鏡面操作溫度的效果。
背景技術(shù)：
移動(dòng)電子裝置如手機(jī)已成為人類最重要的隨身裝置，預(yù)估2010年手機(jī)需求將超過(guò)12億只，而2012年后約15億只手機(jī)中，更將有5%以上(約7500萬(wàn)只)的手機(jī)將內(nèi)建微型投影模塊。微型投影模塊的關(guān)鍵元件即為微光學(xué)掃描面鏡，其可整合于如手機(jī)、數(shù)字相機(jī)、筆記本電腦、個(gè)人數(shù)字助理、游戲機(jī)等3C移動(dòng)電子裝置內(nèi)，或應(yīng)用于大型激光投影機(jī)、 激光電視、頭戴顯示器、條碼讀取裝置、光通訊開(kāi)關(guān)、車用抬頭顯示器等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。目前微型投影模塊依光源可分為激光與發(fā)光二極管兩種投影技術(shù)，兩者間具有明顯的差異，包含第一、激光光源的色域更廣，色彩飽和度表現(xiàn)更佳，故可達(dá)到最極致的鮮艷畫(huà)質(zhì)！第二、核心的MEMS (微機(jī)電系統(tǒng))雙軸反射鏡構(gòu)造簡(jiǎn)單，只有單一鏡面，而發(fā)光二極管投影機(jī)所使用DLP (數(shù)字光源處理)技術(shù)在單一元件中必須制作百萬(wàn)顆以上的微振鏡；此外可運(yùn)用半導(dǎo)體微機(jī)電工藝進(jìn)行批次量產(chǎn)(Batch Process)，故具有高成品率、低成本的特性！第三、激光光束可在包含彎曲表面的任何平面進(jìn)行投影，單位面積亮度高、指向性強(qiáng)， 故不需復(fù)雜昂貴的光學(xué)聚焦與對(duì)焦鏡組，光機(jī)結(jié)構(gòu)更簡(jiǎn)單，可以最小的模塊體積內(nèi)建于電子裝置中！故不論在尺寸、成本、性能等重要指標(biāo)的比較上，激光投影均具備絕佳的市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)。微機(jī)電掃描反射鏡為微型激光投影模塊的關(guān)鍵元件，發(fā)展至今主要可分為電磁式、靜電式、壓電式、熱電式等致動(dòng)原理，但是彼此間都具有不易克服的缺點(diǎn)；利用靜電力驅(qū)動(dòng)的微振鏡，通常在非共振態(tài)時(shí)的掃描角度不足，且需要超過(guò)80伏特以上的大電壓驅(qū)動(dòng)， 元件側(cè)壁間亦容易發(fā)生吸附效應(yīng)更使得元件損壞，復(fù)雜的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)也讓工藝成品率低；電磁力驅(qū)動(dòng)的微掃描面鏡則通常需要電鍍復(fù)雜的電流繞線于鏡面上，鏡面上的電流導(dǎo)線亦會(huì)產(chǎn)生熱累積導(dǎo)致鏡面變形的可能；熱電式驅(qū)動(dòng)則有熱效應(yīng)問(wèn)題，以致掃描頻率不高，無(wú)法實(shí)用；壓電式則有體積過(guò)大的問(wèn)題，致動(dòng)時(shí)的低位移量，亦使其掃描角度過(guò)小。因此如何選擇一適合于移動(dòng)投影的最佳致動(dòng)方案是元件設(shè)計(jì)最重要的任務(wù)。目前國(guó)際間最成功的微型激光投影模塊的掃描元件驅(qū)動(dòng)方式，是以電磁式致動(dòng)為主，即為在微面鏡上電鍍金屬線圈以產(chǎn)生勞倫茲力驅(qū)動(dòng)，但如前所述，電磁式雖然具有大掃描角度、低操作電壓、線性的控制角度與高畫(huà)面解析度等優(yōu)點(diǎn)，但復(fù)雜的電鍍金屬線圈常需十幾道的光刻步驟，導(dǎo)致工藝難度高，成品率不易控制，此外當(dāng)鏡面上的線圈通電后，亦可能會(huì)因?yàn)闊崂鄯e效應(yīng)造成鏡面溫度太高而變形；因此如何解決上述問(wèn)題即是目前產(chǎn)業(yè)間重要研究的方向。電磁式掃描元件最常使用的致動(dòng)原理為在鏡面上電鍍金屬線圈，通過(guò)線圈中的電流與置放于元件兩側(cè)的永久磁鐵所產(chǎn)生的磁場(chǎng)，相互作用后所生成的勞倫茲力來(lái)致動(dòng)，例如美國(guó)發(fā)明專利公開(kāi)號(hào) 20050253055 "MEMS device havingsimplified drive”，其于硅基鏡面的快慢雙軸上電鍍金屬線圈，讓兩軸均運(yùn)用勞倫茲力為驅(qū)動(dòng)力，雖然此方法具有提升驅(qū)動(dòng)力以增加掃描角度的優(yōu)點(diǎn)，但鏡面電鍍金屬線圈的方式易造成操作時(shí)鏡面溫度升高的結(jié)果，很可能因?yàn)闊崂鄯e導(dǎo)致產(chǎn)生鏡面變形的問(wèn)題。關(guān)于運(yùn)用靜磁力來(lái)驅(qū)動(dòng)鏡面的公知技藝，例如美國(guó)發(fā)明專利6965177號(hào)“Pulse drive of resonant MEMS devices”，其致動(dòng)方式為在鏡面兩軸的邊緣粘貼永久磁鐵，并在元件下方放置數(shù)個(gè)通上交流電的螺線管，故螺線管將會(huì)產(chǎn)生切換磁場(chǎng)，并可與鏡面的永久磁鐵產(chǎn)生吸斥作用而驅(qū)使鏡面依據(jù)所通入的電流頻率振蕩。此方式的困難點(diǎn)在于不易粘貼磁鐵，將增加組裝人力成本，無(wú)法量產(chǎn)，且在薄弱的鏡面上承載磁鐵，會(huì)對(duì)微振鏡的共振頻率與耐用度造成影響。此外，例如美國(guó)發(fā)明專利公開(kāi)號(hào)20070047046 “Micro-Mirror Device AndArray Therefor”，其同樣采用電鍍金屬線圈產(chǎn)生勞侖茲力的傳統(tǒng)電磁式驅(qū)動(dòng)，該案公開(kāi)一種于鏡面外部設(shè)有一內(nèi)環(huán)及一外環(huán)的雙環(huán)結(jié)構(gòu)，其內(nèi)環(huán)與鏡面之間設(shè)有互相連結(jié)的增強(qiáng)結(jié)構(gòu) (Reinforcement rim)，該內(nèi)環(huán)的目的單純是為達(dá)到穩(wěn)定鏡面的效果，其鏡面與內(nèi)環(huán)之間并不會(huì)產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，亦即其鏡面與內(nèi)環(huán)同步震動(dòng)，并不會(huì)有放大角度的模態(tài)與效果產(chǎn)生，而其增加內(nèi)環(huán)的設(shè)計(jì)，亦會(huì)增加元件面積，但實(shí)際上對(duì)于鏡面穩(wěn)定效果極為有限。據(jù)此可知，公知應(yīng)用于光學(xué)感測(cè)或激光投影的光學(xué)掃描元件，主要均由位于中央位置的掃描鏡面、圍繞于掃描鏡面外的單環(huán)狀結(jié)構(gòu)、承載外框等單元所組成，上述三構(gòu)建之間常以互相正交的兩組扭轉(zhuǎn)梁連結(jié)，因此存在有掃描角度無(wú)法有效放大，且鏡面容易因?yàn)榫€圈作用導(dǎo)致溫度過(guò)高而變形，造成投影畫(huà)面失真等缺失。此外，一般電磁式為了將電鍍金屬線圈的電性順利導(dǎo)出，常需制作成雙層導(dǎo)線，但雙層導(dǎo)線的工藝難度高，光刻數(shù)目常超過(guò) 10道以上，成品率不易控制，制作成本也高。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于公知技術(shù)的缺失，本發(fā)明提出一種光學(xué)多環(huán)掃描元件，在鏡面與外環(huán)間再增加至少一個(gè)環(huán)狀結(jié)構(gòu)，該環(huán)狀結(jié)構(gòu)與鏡面同一扭轉(zhuǎn)軸心，通過(guò)特殊的模態(tài)設(shè)計(jì)與電磁力驅(qū)動(dòng)后，具備同時(shí)進(jìn)行水平與垂直方向二維掃描的能力，可產(chǎn)生放大掃描角度與降低鏡面操作溫度的效果。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出一種光學(xué)多環(huán)掃描元件，包含一基板，該基板具有一第一透空部，該基板具有相互垂直的一第一軸方向以及一第二軸方向；一外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，設(shè)置于該第一透空部?jī)?nèi)，且該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件具有一第二透空部， 該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件兩側(cè)對(duì)稱各設(shè)有一第一扭轉(zhuǎn)臂連接于該基板，該二第一扭轉(zhuǎn)臂具有一第一延伸方向，且該第一延伸方向平行于該第一軸方向；至少一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，其包括一第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件設(shè)置于該第二透空部?jī)?nèi)，且該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件具有一第三透空部，在該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件的兩側(cè)對(duì)稱各設(shè)有一第二扭轉(zhuǎn)臂連接于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，該二第二扭轉(zhuǎn)臂具有一第二延伸方向，且該第二延伸方向平行于該第二軸方向；以及
ー鏡面，設(shè)置于該第三透空部?jī)?nèi)，該鏡面的兩側(cè)對(duì)稱各設(shè)有ー第三扭轉(zhuǎn)臂連接于 該內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，且該ニ個(gè)第三扭轉(zhuǎn)臂與該ニ個(gè)第ニ扭轉(zhuǎn)臂同軸。為使本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)于本發(fā)明的結(jié)構(gòu)目的和功效有更進(jìn)ー步的了解與認(rèn)同，茲 配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。


圖1為本發(fā)明第ー實(shí)施例立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明第ー實(shí)施例俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明第ー實(shí)施例振動(dòng)狀態(tài)示意圖；圖4為本發(fā)明第ニ實(shí)施例立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明第三實(shí)施例立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明第四實(shí)施例立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為以本發(fā)明第ー實(shí)施例結(jié)構(gòu)為依據(jù)的具體尺寸實(shí)施例俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為對(duì)應(yīng)圖7該具體尺寸實(shí)施例的公知單環(huán)元件俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本發(fā)明第五實(shí)施例立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為本發(fā)明第六實(shí)施例立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖11為本發(fā)明第七實(shí)施例立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖12為本發(fā)明第八實(shí)施例立體結(jié)構(gòu)示意圖。其中，附圖標(biāo)記10、10ム、108、100、20、30、40、50、60、70-光學(xué)多環(huán)掃描元件11、11六、118、11。、41、51、61、71-基板111、411-第ー透空部12、12六、128、120、22、42、52、62、72-外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件121、421-第ニ透空部122&、122ヒ、422&、422ヒ、722&、722ヒ-第ー扭轉(zhuǎn)臂123a. 123b.723a.723b-外部電性接 ロ124a、124b、124c、124d、124e、124f、124g、124h-電性隔離區(qū)13、13六、138、130、23、43、53、63、73-第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件131、431-第三透空部132a. 132b.432a.432b-第二扭轉(zhuǎn)臂133、133A、133B、133C、134、134A、134B、134C-._114、14六、148、14。、24、34、44、54、64、74-鏡面1413、141ヒ、4413、441ヒ-第三扭轉(zhuǎn)臂 15、45、55、65-立體螺旋管163、16。、763-第一永久磁鐵 16ヒ、164、76レ第ニ永久磁鐵32-單環(huán)驅(qū)動(dòng)元件46-第二內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件461-第四透空部46加、462レ第四扭轉(zhuǎn)臂66-第二內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件Fl-第一軸方向(慢軸)F2-第二軸方向(快軸)F3、F4_磁性方向
具體實(shí)施例方式以下將參照隨附的附圖來(lái)描述本發(fā)明為達(dá)成目的所使用的技術(shù)手段與功效，而以下附圖所列舉的實(shí)施例僅為輔助說(shuō)明，以利本領(lǐng)域技術(shù)人員了解，但本申請(qǐng)的技術(shù)手段并不限于所列舉圖式。請(qǐng)參閱圖1及圖2所示本發(fā)明第一實(shí)施例立體結(jié)構(gòu)示意圖，該光學(xué)多環(huán)掃描元件 10包含一基板11、一外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12、一第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13及一鏡面14。該基板11可為一硅基板、一金屬基板、一玻璃基板或一電路板，該基板11具有相互垂直的一第一軸方向Fl以及一第二軸方向F2，該第一軸方向Fl為慢軸，該第二軸方向 F2為快軸，在本實(shí)施例中，該第一軸方向Fl為X軸方向，該第二軸方向F2為Y軸方向，于該基板11設(shè)有一第一透空部111，在該基板11下方設(shè)有一立體螺旋管15，該立體螺旋管15 用以制動(dòng)該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12。該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12表面采用電鍍工藝形成有硬磁性(hard magnetic)薄膜合金， 該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12設(shè)置于該第一透空部111內(nèi)，且該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12具有一第二透空部 121，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12兩側(cè)對(duì)稱各設(shè)有一第一扭轉(zhuǎn)臂12加、122b連接于該基板11，該二個(gè)第一扭轉(zhuǎn)臂122a、122b具有一第一延伸方向，且該第一延伸方向平行于該第一軸方向F1， 該二第一扭轉(zhuǎn)臂122a、122b連接于該基板11的一端分別設(shè)有一外部電性接口 123a、123b， 該外部電性接口 123a、12 用以連接外部電流。該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13采用電鍍工藝形成有線圈(圖中未示出)，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13設(shè)置于該第二透空部121內(nèi)，且該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13具有一第三透空部131， 于該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13的兩側(cè)對(duì)稱各設(shè)有一第二扭轉(zhuǎn)臂132a、132b連接于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12，該二個(gè)第二扭轉(zhuǎn)臂132a、132b具有一第二延伸方向，且該第二延伸方向平行于該第二軸方向F2。該鏡面14鍍有反光層，該反光層可為金、銀、鋁、鎳、銅、等金屬材質(zhì)，該鏡面14設(shè)置于該第三透空部131內(nèi)，該鏡面14的兩側(cè)對(duì)稱各設(shè)有一第三扭轉(zhuǎn)臂141a、141b連接于該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13，且該二第三扭轉(zhuǎn)臂141a、141b與該二第二扭轉(zhuǎn)臂132a、132b同軸。在該基板11外部設(shè)有磁性相反的第一磁場(chǎng)以及第二磁場(chǎng)，該第一磁場(chǎng)由一第一永久磁鐵16a構(gòu)成，該第二磁場(chǎng)由一第二永久磁鐵16b構(gòu)成，該第一永久磁鐵16a與該第二永久磁鐵16b的極性相反，例如該第一永久磁鐵16a為S極，該第二永久磁鐵16b為N極， 或可相反極性設(shè)置，且該第一永久磁鐵16a及該第二永久磁鐵16b的磁性方向平行于該第一軸方向F1，由該第一永久磁鐵16a及該第二永久磁鐵16b提供磁性配合該立體螺線管15 以驅(qū)動(dòng)該光學(xué)多環(huán)掃描元件10動(dòng)作。該基板11、外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13及鏡面14，及該第一扭轉(zhuǎn)臂 122a、122b、第二扭轉(zhuǎn)臂132a、132b、第三扭轉(zhuǎn)臂141a、141b通常均為相同材質(zhì)，再利用工藝方式將其區(qū)隔開(kāi)，最常采用的材質(zhì)為硅，例如單晶硅、多晶硅、SOI wafer等；在其他實(shí)施例， 亦可由工藝方式成長(zhǎng)為金屬結(jié)構(gòu)，可采用一般金屬如銅、鋁、鋼，或磁性材料如鎳、鐵、鈷，或磁性合金如鈷鎳、鈷鎳錳磷；亦即，該基板11、外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13及鏡面14，及該第一扭轉(zhuǎn)臂122a、122b、第二扭轉(zhuǎn)臂132a、132b、第三扭轉(zhuǎn)臂141a、141b均可完全由硅，或完全由金屬，或由硅與金屬與磁性材料等混合搭配的方式組成。以圖1所示本發(fā)明該第一實(shí)施例而言，在該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12上加設(shè)有電鍍磁性材料，如鎳，或磁性合金，如鐵鎳、鈷鎳、鈷鎳錳磷，在該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12內(nèi)設(shè)有金屬下電極導(dǎo)電層，在該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13上加設(shè)有電鍍金屬線圈，如銅、鋁、鎳、金、銀等，該金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈間有絕緣層，如二氧化硅或氮化硅，其間通過(guò)一導(dǎo)電孔(via)進(jìn)行電性連結(jié)；該金屬下電極導(dǎo)電層作為導(dǎo)電回路之用，可用電鍍、蒸鍍、濺鍍、沉積等方式制作，其材質(zhì)可為銅、鋁、鎳、 金、銀等；或以離子注入(doping)方式制作。請(qǐng)參閱圖2及圖3所示本發(fā)明第一實(shí)施例，該光學(xué)多環(huán)掃描元件10采用電磁力趨動(dòng)，該電磁力為勞倫茲力(Lorentz Force)或靜磁力(Magnetostatic Force)或以勞倫茲力及靜磁力的雙重電磁力分別驅(qū)動(dòng)快慢軸，運(yùn)用雙重電磁力趨動(dòng)元件時(shí)，因其慢軸Fl及快軸F2分屬于結(jié)構(gòu)內(nèi)外側(cè)的差異，若運(yùn)用不同的驅(qū)動(dòng)方式，搭配特殊設(shè)計(jì)的振動(dòng)模態(tài)，可得到最佳的驅(qū)動(dòng)效果。該快軸F2主要是帶動(dòng)最內(nèi)側(cè)的該鏡面14進(jìn)行水平方向的快速掃描，由于傳統(tǒng)電磁式直接在鏡面上電鍍金屬線圈，以勞倫茲力趨動(dòng)的方式，會(huì)因熱累積而導(dǎo)致鏡面變形，導(dǎo)致影像失真的風(fēng)險(xiǎn)，而本發(fā)明由于將線圈設(shè)置于該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13，因此可避免傳統(tǒng)將線圈設(shè)置于鏡面的缺失，此外，由于本發(fā)明具有與該鏡面14同軸的第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13與該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12形成一特殊的雙環(huán)結(jié)構(gòu)(Double Ring)，此雙環(huán)結(jié)構(gòu)搭配特別設(shè)計(jì)的共振模態(tài)，包括反相位共振模態(tài)(Out-phase resonance mode)或同相位共振模態(tài)αη-phaseresonance mode)，若將驅(qū)動(dòng)力加于該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13上，則可順利間接帶動(dòng)該鏡面14振動(dòng)，除了具有放大掃描角度效果外，亦有降低鏡面 14溫度的優(yōu)點(diǎn)。在慢軸F2部分，一般均由最外側(cè)的該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12負(fù)責(zé)垂直方向的低速掃描，因?yàn)樵撏猸h(huán)驅(qū)動(dòng)元件12須低頻制動(dòng)，故均有面積大的特性，而本發(fā)明采用電鍍硬磁性薄膜于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12，搭配下方通以60Hz交流電的高密度立體螺線管15，以靜磁力吸斥該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12的方式來(lái)制動(dòng)。關(guān)于本發(fā)明的電流路徑，請(qǐng)參閱圖2箭頭路徑所示簡(jiǎn)要說(shuō)明之，電流以該外部電性接口 123a作為起始點(diǎn)，進(jìn)入一以電鍍或離子注入方式制作的電性導(dǎo)通層，導(dǎo)通層上區(qū)分出電性隔離區(qū)；電流將通過(guò)該第一扭轉(zhuǎn)臂12 進(jìn)入該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12內(nèi)的金屬下電極導(dǎo)電層(圖示虛線箭頭路徑)，因該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12設(shè)有電性隔離區(qū)IMa，故電流將由該第二扭轉(zhuǎn)臂13 進(jìn)入該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13，電流經(jīng)一導(dǎo)電孔133向上與該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13的電鍍金屬線圈接合，電流依線圈環(huán)繞方向由外向內(nèi)流通(圖示實(shí)線箭頭路徑)，通過(guò)圖示該電性隔離區(qū)12k、lMd、12^的設(shè)置，可確保電流沿著第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13內(nèi)的電鍍金屬線圈流動(dòng)而不致產(chǎn)生短路，而后，電流再經(jīng)一導(dǎo)電孔134下潛并流入該內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13與外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12內(nèi)的金屬下電極導(dǎo)電層(圖示虛線箭頭路徑)，同樣地，在該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12設(shè)有電性隔離區(qū)1Mb，因此電流可被導(dǎo)引流入該第二扭轉(zhuǎn)臂122b，最后由該外部電性接口 123b流出，通過(guò)該電性隔離區(qū)lMa、124b、lMc、124d的設(shè)置，以及金屬下電極導(dǎo)電層(圖示虛線箭頭路徑區(qū)域)、該導(dǎo)電孔133、134的設(shè)置，可提供該二個(gè)外部電性接口 123a、123b與該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13、鏡面14所設(shè)置的電鍍金屬線圈形成一電流行進(jìn)路徑，可確保電流行進(jìn)于所需的路徑而不致短路。值得附帶說(shuō)明的是，上述提供該電流行進(jìn)路徑的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈之間均設(shè)有絕緣層(圖中未示出)將彼此隔絕，以避免金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈短路，使得該金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈僅于該導(dǎo)電孔133、134相互導(dǎo)通，該金屬下電極導(dǎo)電層的形成方式不限，例如可以工藝方式沉積金屬層，如金、鋁、銅、鎳、銀等，或金屬合金，如鈦金等，或以離子注入方式注入硼、磷等，以形成電性回路。以上述該基板11、外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13及鏡面14，及該第一扭轉(zhuǎn)臂12加、122b、第二扭轉(zhuǎn)臂13加、132b、第三扭轉(zhuǎn)臂141a、141b的材質(zhì)均采用硅而言，其實(shí)施方式更具有以下不同變化實(shí)施例。請(qǐng)參閱圖4所示第二實(shí)施例，該光學(xué)多環(huán)掃描元件IOA同樣采用雙重電磁力趨動(dòng)， 本實(shí)施例與第一實(shí)施例的差異在于該鏡面14A也鍍有線圈，亦即，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12A上加設(shè)有電鍍磁性材料，如鎳，或磁性合金，如鐵鎳、鈷鎳、鈷鎳錳磷，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12A所加設(shè)的電鍍磁性材料或磁性合金與該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12A之間設(shè)有電性絕緣層，且該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12A、該內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13A、該鏡面14A內(nèi)均設(shè)有金屬下電極導(dǎo)電層，而該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13A及鏡面14A上均加設(shè)有電鍍金屬線圈，如銅、鋁、鎳、金、銀等，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件 13A及鏡面14A上所加設(shè)的電鍍金屬線圈與該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13A及鏡面14A之間設(shè)有電性絕緣層，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13A及鏡面14A負(fù)責(zé)驅(qū)動(dòng)快軸(該第二軸方向F》，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12A驅(qū)動(dòng)慢軸(該第一軸方向Fl)，該金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈間有絕緣層，如二氧化硅或氮化硅，其間通過(guò)導(dǎo)電孔(via)進(jìn)行電性連結(jié)；該金屬下電極導(dǎo)電層作為導(dǎo)電回路之用，可用電鍍、蒸鍍、濺鍍、沉積等方式制作，其材質(zhì)可為銅、鋁、鎳、金、銀等； 或以離子注入(doping)方式制作；其電流路徑如圖4所示，電流由該外部電性接口 123a進(jìn)入后，通過(guò)該第一扭轉(zhuǎn)臂12 進(jìn)入該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12A，此時(shí)電流于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12A 內(nèi)部的金屬下電極導(dǎo)電層內(nèi)流動(dòng)(該虛線箭頭路徑)，而后經(jīng)過(guò)一導(dǎo)電孔133A流入該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13A及鏡面14A的電鍍金屬線圈(該實(shí)線箭頭路徑)，再經(jīng)另一導(dǎo)電孔134A 流入該鏡面14A、內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13A、外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12A內(nèi)部的金屬下電極導(dǎo)電層，再流入該第二扭轉(zhuǎn)臂12 ，最后由該外部電性接口 12 流出。通過(guò)該電性隔離區(qū)U4a、124b、lMc、 124d, 124g的設(shè)置，以及金屬下電極導(dǎo)電層(圖示虛線箭頭路徑區(qū)域)、該導(dǎo)電孔133A、134A 的設(shè)置，可提供該二外部電性接口 123a、12;3b與該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12A、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件 13A、鏡面14A所設(shè)置的電鍍金屬線圈之間形成一電流行進(jìn)路徑，可確保電流行進(jìn)于所需的路徑而不致短路。請(qǐng)參閱圖5所示第三實(shí)施例，該光學(xué)多環(huán)掃描元件IOB設(shè)置二極性相同且相鄰設(shè)置的第一永久磁鐵16a、16c，以及二極性相同且相鄰設(shè)置的第二永久磁鐵16b、16d，該第一永久磁鐵16a、16c的極性與該第二永久磁鐵16b、16d的極性相反，例如該第一永久磁鐵 16a、16c為S極，該第二永久磁鐵16b、16d為N極，該第一永久磁鐵16a、16c以及該第二永久磁鐵16b、16d均可產(chǎn)生一傾斜的磁性方向F3，該磁性方向F3不平行于該第一軸方向Fl以及該第二軸方向F2，在該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12B及該內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13B內(nèi)設(shè)有金屬下電極導(dǎo)電層，于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12B、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件1 均設(shè)有電鍍金屬線圈，如銅、鋁、鎳、金、 銀等，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13B負(fù)責(zé)驅(qū)動(dòng)快軸(該第二軸方向F》，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12B驅(qū)動(dòng)慢軸(該第一軸方向Fl)，而不涉及磁性合金的原理或架構(gòu)，亦即本實(shí)施例不需要電鍍合金，且無(wú)須設(shè)置圖1及圖4所示實(shí)施例中的該立體螺線管15，在金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈間有絕緣層，如二氧化硅或氮化硅，其間通過(guò)導(dǎo)電孔(via)進(jìn)行電性連結(jié)；該金屬下電極導(dǎo)電層作為導(dǎo)電回路之用，可用電鍍、蒸鍍、濺鍍、沉積等方式制作，其材質(zhì)可為銅、 鋁、鎳、金、銀等；或以離子注入(doping)方式制作；本實(shí)施例的特點(diǎn)在于采用單純勞倫茲驅(qū)動(dòng)，其電流路徑如圖5所示，電流由該外部電性接口 123a進(jìn)入基板IlB內(nèi)的金屬下電極導(dǎo)電層，電流(該虛線箭頭路徑)再通過(guò)該第一扭轉(zhuǎn)臂12 進(jìn)入該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12、此時(shí)電流經(jīng)一導(dǎo)電孔13 向上沿著于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12B及第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13B的電鍍金屬線圈行進(jìn)(該實(shí)線箭頭路徑)，而后經(jīng)過(guò)一導(dǎo)電孔134B流入該內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13B內(nèi)部的金屬下電極導(dǎo)電層內(nèi)(該虛線箭頭路徑)，再流入該第二扭轉(zhuǎn)臂122b，最后由該外部電性接口 12 流出，通過(guò)該電性隔離區(qū)12如、1Mb、124h的設(shè)置，以及金屬下電極導(dǎo)電層(圖示虛線箭頭路徑區(qū)域)、該導(dǎo)電孔133B、134B的設(shè)置，可提供該二外部電性接口 123a、123b與該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12B、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13B、鏡面14B所設(shè)置的電鍍金屬線圈之間形成一電流行進(jìn)路徑，可確保電流行進(jìn)于所需的路徑而不致短路。請(qǐng)參閱圖6所示第四實(shí)施例，該光學(xué)多環(huán)掃描元件IOC的架構(gòu)與圖5該第三實(shí)施例相同，本實(shí)施例的特點(diǎn)在于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12C、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13C及鏡面14C均設(shè)有電鍍金屬線圈，如銅、鋁、鎳、金、銀等，且該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12C、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13C及鏡面14C內(nèi)均設(shè)有金屬下電極導(dǎo)電層，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13C及鏡面14C負(fù)責(zé)驅(qū)動(dòng)快軸 (該第二軸方向，因鏡面14C驅(qū)動(dòng)效率最高，但有熱變形問(wèn)題，故可以繞較少線圈，再以該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13C輔助，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12C仍然驅(qū)動(dòng)慢軸(該第一軸方向F1)，亦不涉及磁性合金的原理或工藝。在金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈間有絕緣層，如二氧化硅或氮化硅，其間通過(guò)導(dǎo)電孔(via)進(jìn)行電性連結(jié)；該金屬下電極導(dǎo)電層作為導(dǎo)電回路之用，可用電鍍、蒸鍍、濺鍍、沉積等方式制作，其材質(zhì)可為銅、鋁、鎳、金、銀等；或以離子注入(doping)方式制作；本實(shí)施例也是采用單勞倫茲驅(qū)動(dòng)，其電流路徑如圖6所示，電流由該外部電性接口 123a進(jìn)入基板IlC內(nèi)的金屬下電極導(dǎo)電層，電流(該虛線箭頭路徑)再通過(guò)該第一扭轉(zhuǎn)臂12 進(jìn)入該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12C，此時(shí)電流經(jīng)一導(dǎo)電孔133C向上沿著于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12C及第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13C以及鏡面14C的電鍍金屬線圈行進(jìn)(該實(shí)線箭頭路徑)，而后經(jīng)過(guò)一導(dǎo)電孔134C流入該鏡面14C內(nèi)部的金屬下電極導(dǎo)電層內(nèi)(該虛線箭頭路徑)，再流入該第二扭轉(zhuǎn)臂122b，最后由該外部電性接口 12 流出，通過(guò)該電性隔離區(qū)12^、lMb、124f的設(shè)置，以及金屬下電極導(dǎo)電層(圖示虛線箭頭路徑區(qū)域)、該導(dǎo)電孔 133CU34C的設(shè)置，可提供該二外部電性接口 123a、12 與該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12C、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13C、鏡面14C所設(shè)置的電鍍金屬線圈之間形成一電流行進(jìn)路徑，可確保電流行進(jìn)于所需的路徑而不致短路。根據(jù)上述不同實(shí)施例，請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D1，該基板11的材質(zhì)可采用硅，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件 12、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13及鏡面14均具有金屬下電極導(dǎo)電層(圖中未示出)，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13及鏡面14，及該第一扭轉(zhuǎn)臂12加、122b、第二扭轉(zhuǎn)臂132a、 132b、第三扭轉(zhuǎn)臂141a、141b均采用金屬，如銅、鋁、鋼，或采用磁性材料，如鎳、鐵、鈷，或采用磁性合金，如鐵鎳、鈷鎳、鈷鎳錳磷，同理，其實(shí)施架構(gòu)有以下四種a.于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12上加設(shè)有電鍍磁性材料，如鎳，或磁性合金，如鐵鎳、鈷鎳、鈷鎳錳磷，于該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13上加設(shè)有電鍍金屬線圈，如銅、鋁、鎳、金、銀等。其電流路徑與圖2相同。b.于外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12上加設(shè)有電鍍磁性材料，如鎳，或磁性合金，如鈷鎳、鈷鎳錳磷，于該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13及鏡面14上均加設(shè)有電鍍金屬線圈，如銅、鋁、鎳、金、銀等。 其電流路徑與圖4相同。c.于外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13上均加設(shè)有電鍍金屬線圈，如銅、鋁、鎳、金、銀等。其電流路徑與圖5相同。d.該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13及鏡面14上均加設(shè)有電鍍金屬線圈，如銅、鋁、鎳、金、銀等。其電流路徑與圖6相同。必須說(shuō)明的是，上述所有的電鍍磁性材料、磁性合金或電鍍金屬線圈，與其所屬的金屬結(jié)構(gòu)層(亦即該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13及鏡面14)之間均設(shè)有電性絕緣層。由上述不同實(shí)施例可知，當(dāng)本發(fā)明所公開(kāi)的光學(xué)多環(huán)掃描元件采用的材質(zhì)不同， 且搭配不同電鍍磁性材料、磁性合金、電鍍金屬線圈及金屬結(jié)構(gòu)層設(shè)計(jì)時(shí)，即可構(gòu)成單勞倫茲力或雙驅(qū)動(dòng)力趨動(dòng)架構(gòu)，說(shuō)明本發(fā)明所提出的光學(xué)多環(huán)掃描元件適用于單勞倫茲力或雙驅(qū)動(dòng)力，綜言之，當(dāng)采用單勞倫茲力驅(qū)動(dòng)時(shí)，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13及鏡面14皆以線圈來(lái)驅(qū)動(dòng)，若采用純靜磁力驅(qū)動(dòng)，則該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件12、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件13 及鏡面14皆具有電鍍磁性材料，必須說(shuō)明的是，該驅(qū)動(dòng)力不限于電磁力，亦可為靜電力、壓電力或熱電力。請(qǐng)參閱圖7及圖8所示，說(shuō)明本發(fā)明所提出的多環(huán)結(jié)構(gòu)相較于公知單環(huán)結(jié)構(gòu)所能達(dá)成的功效，圖7顯示一種雙環(huán)結(jié)構(gòu)實(shí)施例，該光學(xué)多環(huán)掃描元件20的外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件 22尺寸為3000X;3500um，第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件23尺寸為2050X2050um，鏡面M尺寸為 llOOXllOOum，結(jié)構(gòu)與扭轉(zhuǎn)軸厚度為30um，圖8顯示一種公知單環(huán)結(jié)構(gòu)，該光學(xué)單環(huán)掃描元件30的單環(huán)驅(qū)動(dòng)元件32尺寸為3000\350011111，鏡面；34尺寸為1100X llOOum，結(jié)構(gòu)與扭轉(zhuǎn)軸厚度為30um，亦即，該光學(xué)多環(huán)掃描元件20與光學(xué)單環(huán)掃描元件30的外環(huán)尺寸與鏡面尺寸，以及結(jié)構(gòu)與扭轉(zhuǎn)軸厚度相同，在相同比較基礎(chǔ)的條件下，利用有限元素分析軟件ANSYS 模擬共振頻與掃描角度，主要考慮會(huì)影響掃描角度的因素包含驅(qū)動(dòng)面積、鏡面尺寸、與驅(qū)動(dòng)頻率三項(xiàng)；經(jīng)調(diào)整結(jié)構(gòu)尺寸后，求得該光學(xué)多環(huán)掃描元件20與光學(xué)單環(huán)掃描元件30均為 22. 5kHz的高頻共振頻后，再進(jìn)行掃描角度比較，其中該光學(xué)多環(huán)掃描元件20的快軸共振頻率為22494Hz，慢軸共振頻為1046Hz，首先針對(duì)該光學(xué)多環(huán)掃描元件20進(jìn)行單獨(dú)施加電磁力于外環(huán)或內(nèi)環(huán)的差異比較，以確認(rèn)增加的第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件23是否能夠發(fā)揮不同的效果，其中計(jì)算電磁力的相關(guān)參數(shù)如下中心磁場(chǎng)密度B = 0. 15T、導(dǎo)線電流I = 0. 1A、導(dǎo)線寬度=lOum、導(dǎo)線間距=IOum ；導(dǎo)線圈數(shù)N可通過(guò)該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件23及外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件 22的寬度除以導(dǎo)線寬度加間距后得知，約為18m圈，而勞倫茲力公式為F = NXIXLXB，故實(shí)際作用于該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件23上的勞倫茲力可由累加各線圈的段落后求得，若再除以該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件23及外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件22對(duì)應(yīng)的梯型面積，即可求得該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件23及外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件22上的壓力P = 1500pa,將此值代入分析軟件ANSYS進(jìn)行簡(jiǎn)諧分析，于damping值設(shè)定為0. 002下，可求得只施力于該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件23時(shí)的機(jī)械角θ =士 13°，只施力于外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件22時(shí)的機(jī)械角θ = 士 0.8°。由上述結(jié)果可得知，在相同的施力條件與近似的面積下，施加于該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件23將可發(fā)揮更大的驅(qū)動(dòng)效果， 其原因?yàn)樵诠舱衲B(tài)下，若施力于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件22的左右兩側(cè)時(shí)，即靠近外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件 22的第一扭轉(zhuǎn)臂222a、222b之處，受限于施力點(diǎn)處的位置較上下兩側(cè)更不易扭動(dòng)，故其位移與形變量并不明顯，相較之下，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件23的位移量較大，故在該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件23施力時(shí)，可帶動(dòng)該鏡面M作更大的位移。其次，就圖8該光學(xué)單環(huán)掃描元件30的進(jìn)行分析，通過(guò)微調(diào)其單環(huán)驅(qū)動(dòng)元件32的第一扭轉(zhuǎn)臂32h、322b的幾何尺寸，可得到頻率約22. 5kHz時(shí)的掃描角度值。于相同施力條件下，該光學(xué)單環(huán)掃描元件30機(jī)械角θ =士3.5°，據(jù)此可知，由于該光學(xué)單環(huán)掃描元件 30的單環(huán)施力點(diǎn)剛性過(guò)大，以致無(wú)法有效率的帶動(dòng)鏡面34角度。此外，傳統(tǒng)鏡面上的電鍍金屬線圈產(chǎn)生的熱效應(yīng)亦是考慮的重點(diǎn)，傳統(tǒng)單環(huán)結(jié)構(gòu)， 如圖8所示該光學(xué)單環(huán)掃描元件30，將線圈繞于該單環(huán)驅(qū)動(dòng)元件32，面積大且為雙層線圈， 因此電阻值高達(dá)150 200歐姆，功耗大，而本發(fā)明的雙環(huán)結(jié)構(gòu)，如圖8所示該光學(xué)多環(huán)掃描元件20，將線圈繞于該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件23，面積較小，電阻值低，約50歐姆，功耗較小， 將本發(fā)明該光學(xué)多環(huán)掃描元件20與公知光學(xué)單環(huán)掃描元件30兩者以熱模擬軟件分析后可知，該光學(xué)單環(huán)掃描元件30的鏡面34溫度高達(dá)攝氏180度，而本發(fā)明該光學(xué)多環(huán)掃描元件 20的鏡面M溫度為攝氏105度，顯示本發(fā)明該光學(xué)多環(huán)掃描元件20具有可降低鏡面M溫度的優(yōu)點(diǎn)。請(qǐng)參閱圖9所示本發(fā)明第五實(shí)施例立體結(jié)構(gòu)示意圖，本實(shí)施例以圖1該實(shí)施例為基礎(chǔ)，圖1該光學(xué)多環(huán)掃描元件10為雙環(huán)結(jié)構(gòu)，而本實(shí)施例的特點(diǎn)在于呈現(xiàn)三環(huán)結(jié)構(gòu)，該光學(xué)多環(huán)掃描元件40包含一基板41、一外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件42、一第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件43、一第二內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件46、一鏡面44，于基板41下方設(shè)有一立體螺旋管45，該基板41、外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件42、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件43、第二內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件46分別具有一第一透空部411、第二透空部 421、第三透空部431、第四透空部461，分別提供該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件42、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件43、 第二內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件46及鏡面44設(shè)置于其內(nèi)，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件42通過(guò)兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置的第一扭轉(zhuǎn)臂422a、42^連接于該基板41，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件43通過(guò)上下對(duì)稱設(shè)置的第二扭轉(zhuǎn)臂432a、432b連接于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件42，該第二內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件46通過(guò)上下對(duì)稱設(shè)置的第四扭轉(zhuǎn)臂46h、462b連接于該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件43，該鏡面44通過(guò)上下對(duì)稱設(shè)置的第三扭轉(zhuǎn)臂441a、441b連接于該第二內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件46，該第一扭轉(zhuǎn)臂422a、42^平行于該第一軸方向Fl (快軸)，該第二扭轉(zhuǎn)臂43^i、432b、第四扭轉(zhuǎn)臂46^i、462b、第三扭轉(zhuǎn)臂441a、441b平行于該第二軸方向F2(慢軸)，且該該第二扭轉(zhuǎn)臂43h、432b、第四扭轉(zhuǎn)臂46h、462b、第三扭轉(zhuǎn)臂441a,441b同軸。請(qǐng)參閱圖10所示本發(fā)明第六實(shí)施例立體結(jié)構(gòu)示意圖，本實(shí)施例以圖1該實(shí)施例為基礎(chǔ)，該光學(xué)多環(huán)掃描元件50包括一基板51、一外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件52、一第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件53、 一鏡面54，于基板51下方設(shè)有一立體螺旋管55，本實(shí)施例的特點(diǎn)在于，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件52、 第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件53、鏡面M均呈圓形。請(qǐng)參閱圖11所示本發(fā)明第七實(shí)施例立體結(jié)構(gòu)示意圖，本實(shí)施例綜合圖9及圖10 實(shí)施例結(jié)構(gòu)，該光學(xué)多環(huán)掃描元件60包括一基板61、一外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件62、一第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件63、一第二內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件66、一鏡面64，于基板61下方設(shè)有一立體螺旋管65，本實(shí)施例的特點(diǎn)在于，一外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件62、一第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件63、一第二內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件66均呈矩形，該鏡面64呈圓形。請(qǐng)參閱圖12所示本發(fā)明第八實(shí)施例立體結(jié)構(gòu)示意圖，該光學(xué)多環(huán)掃描元件70包括一基板71、一外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件72、一第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件73、一鏡面74、一第一永久磁鐵76a以及一第二永久磁鐵76b，該基板71兩側(cè)各設(shè)有一第一扭轉(zhuǎn)臂72h、722b， 以及一外部電性接口 723a、723b，該基板71與該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件72、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件73及該鏡面74斜置一角度，該角度無(wú)一定限制，可為45度，該基板71具有相互垂直的一第一軸方向Fl以及一第二軸方向F2，該第一軸方向Π為慢軸，該第二軸方向F2為快軸，該二第一扭轉(zhuǎn)臂722a、722b具有一第一延伸方向，且該第一延伸方向平行于該第一軸方向F1，該第一永久磁鐵76a以及該第二永久磁鐵76b均可產(chǎn)生一磁性方向F4，該磁性方向F4不平行也不垂直于該第一軸方向F1，同時(shí)，該磁性方向F4不平行也不垂直于該第二軸方向F2，如此，當(dāng)如圖1該第一實(shí)施例與圖4該第二實(shí)施例中，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件72所鍍材料為磁性材料(如鎳)，而非硬磁性材料(如磁性合金)時(shí)，該第一永久磁鐵76a以及該第二永久磁鐵 76b產(chǎn)生的磁場(chǎng)分量將可同時(shí)提供給快慢兩軸(亦即該第一軸方向Fl及第二軸方向F2)的磁力使用。同理，在圖5該第三實(shí)施例與圖6該第四實(shí)施例中，于外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件72設(shè)有電鍍金屬線圈的情況下，若該基板71與第一軸方向Fl及該第二軸方向F2之間，為一非水平或垂直的夾角關(guān)系，則只須設(shè)置如圖12所示該第一永久磁鐵76a及該第二永久磁鐵76b即可，而無(wú)需設(shè)置如圖5及圖6所示該第一永久磁鐵16a、16c及第二永久磁鐵16b、16d等四個(gè)磁鐵，以達(dá)成更微型化體積的目的。同理，上述圖1至圖11實(shí)施例均可應(yīng)用于如圖12所示該斜置45度的型態(tài)。由上述不同實(shí)施例可知，本發(fā)明所公開(kāi)的光學(xué)多環(huán)掃描元件可為雙環(huán)結(jié)構(gòu)，也可為三環(huán)結(jié)構(gòu)，以此類推，可為三環(huán)以上結(jié)構(gòu)，同時(shí)，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及鏡面的形狀沒(méi)有一定限制，可為矩形、圓形或不同形狀混合搭配，以此類推，也可為其他多邊形，但無(wú)論整體形狀或內(nèi)環(huán)數(shù)量如何變化，本發(fā)明的設(shè)計(jì)原則在于內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件與鏡面的扭轉(zhuǎn)臂為同軸設(shè)置。綜上所述可知，本發(fā)明所提供的光學(xué)多環(huán)掃描元件與公知結(jié)構(gòu)在手段、功效、成本上的差異如下；—、獨(dú)特多環(huán)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，其快軸設(shè)計(jì)于共振模態(tài)，當(dāng)通電流于內(nèi)環(huán)電鍍金屬線圈時(shí)，通過(guò)多環(huán)結(jié)構(gòu)可激發(fā)放大快軸(鏡面)掃描角度。二、通過(guò)制作金屬下電極導(dǎo)電層方式，只需電鍍單層線圈，可大幅降低工藝復(fù)雜度、提升成品率，降低成本。三、內(nèi)環(huán)可作為熱緩沖層，可有效降低鏡面溫度，避免公知技術(shù)中常見(jiàn)鏡面溫度過(guò)高而變形，造成投影畫(huà)面失真的耐用度問(wèn)題。四、不在微鏡面上組裝磁鐵，可避免微面鏡的共振頻與耐用度受影響。當(dāng)然，本發(fā)明還可有其它多種實(shí)施例，在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
1權(quán)利要求
1.一種光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，包含一基板，該基板具有一第一透空部，該基板具有相互垂直的一第一軸方向以及一第二軸方向；一外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，設(shè)置于該第一透空部?jī)?nèi)，且該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件具有一第二透空部，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件兩側(cè)對(duì)稱各設(shè)有一第一扭轉(zhuǎn)臂連接于該基板，該二個(gè)第一扭轉(zhuǎn)臂具有一第一延伸方向，且該第一延伸方向平行于該第一軸方向；至少一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，其包括一第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件設(shè)置于該第二透空部?jī)?nèi)，且該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件具有一第三透空部，在該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件的兩側(cè)對(duì)稱各設(shè)有一第二扭轉(zhuǎn)臂連接于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，該二個(gè)第二扭轉(zhuǎn)臂具有一第二延伸方向， 且該第二延伸方向平行于該第二軸方向；以及一鏡面，設(shè)置于該第三透空部?jī)?nèi)，該鏡面的兩側(cè)對(duì)稱各設(shè)有一第三扭轉(zhuǎn)臂連接于該內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，且該二個(gè)第三扭轉(zhuǎn)臂與該二個(gè)第二扭轉(zhuǎn)臂同軸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該基板的第一軸方向?yàn)槁S，該第二軸方向?yàn)榭燧S。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該基板為一硅基板、金屬基板、一玻璃基板或一電路板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，其采用電磁力、靜電力、壓電力及熱電力為驅(qū)動(dòng)力。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該電磁力為勞倫茲力或靜磁力或以兩種力分別驅(qū)動(dòng)快慢軸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該基板外部設(shè)有磁性相反的第一磁場(chǎng)以及第二磁場(chǎng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該第一磁場(chǎng)由至少一第一永久磁鐵構(gòu)成，該第二磁場(chǎng)由至少一第二永久磁鐵構(gòu)成，該第一永久磁鐵與該第二永久磁鐵的極性相反。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該第一永久磁鐵及該第二永久磁鐵的磁性方向平行于該第一軸方向。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該第一永久磁鐵及該第二永久磁鐵的磁性方向不平行也不垂直于該第一軸方向，且該第一永久磁鐵及該第二永久磁鐵的磁性方向不平行也不垂直于該第二軸方向。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該基板、外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及鏡面，及該第一扭轉(zhuǎn)臂、第二扭轉(zhuǎn)臂、第三扭轉(zhuǎn)臂的材質(zhì)均為硅。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件具有金屬下電極導(dǎo)電層，且該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件上設(shè)有電鍍磁性材料，在該金屬下電極導(dǎo)電層與該電鍍磁性材料之間設(shè)有絕緣層；該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件具有金屬下電極導(dǎo)電層，且該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件設(shè)有電鍍金屬線圈，該金屬下電極導(dǎo)電層與該電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層；該二個(gè)第一扭轉(zhuǎn)臂連接于該基板的一端分別設(shè)有一外部電性接口，該外部電性接口連接外部電流；該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面其中之一或其組合設(shè)有至少一導(dǎo)電孔，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍磁性材料之間，以及該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈之間，在該導(dǎo)電孔處形成電性導(dǎo)通；通過(guò)該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍磁性材料、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈、該導(dǎo)電孔以及該絕緣層，提供該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面與該二外部電性接口形成一電流行進(jìn)路徑而不致短路。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該電鍍磁性材料為鎳， 或鈷鎳、鐵鎳、鈷鎳錳磷的磁性合金，該電鍍金屬線圈及金屬下電極導(dǎo)電層為銅、鋁、鎳、金、 銀，該絕緣層為二氧化硅或氮化硅。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件具有金屬下電極導(dǎo)電層，且該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件上設(shè)有電鍍磁性材料，在該金屬下電極導(dǎo)電層與該電鍍磁性材料之間設(shè)有絕緣層；該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面具有金屬下電極導(dǎo)電層，且該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面設(shè)有電鍍金屬線圈，該金屬下電極導(dǎo)電層與該電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層；該二個(gè)第一扭轉(zhuǎn)臂連接于該基板的一端分別設(shè)有一外部電性接口，該外部電性接口連接外部電流；該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面其中之一或其組合設(shè)有至少一導(dǎo)電孔，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍磁性材料之間，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈之間，在該導(dǎo)電孔處形成電性導(dǎo)通；通過(guò)該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍磁性材料、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈、該導(dǎo)電孔以及該絕緣層，提供該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、 該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面與該二外部電性接口形成一電流行進(jìn)路徑而不致短路。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該電鍍磁性材料為鎳， 或鈷鎳、鐵鎳、鈷鎳錳磷的磁性合金，該電鍍金屬線圈及金屬下電極導(dǎo)電層為銅、鋁、鎳、金、 銀，該絕緣層為二氧化硅或氮化硅。
15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件均具有金屬下電極導(dǎo)電層及電鍍金屬線圈，在該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層，在該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層；該二個(gè)第一扭轉(zhuǎn)臂連接于該基板的一端分別設(shè)有一外部電性接口，該外部電性接口連接外部電流；該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面其中之一或其組合設(shè)有至少一導(dǎo)電孔，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件以及該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈之間， 于該導(dǎo)電孔處形成電性導(dǎo)通；通過(guò)該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件以及該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件分別所設(shè)置的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈、該導(dǎo)電孔以及該絕緣層，提供該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面與該二外部電性接口形成一電流行進(jìn)路徑而不致短路。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該電鍍金屬線圈及金屬下電極導(dǎo)電層為銅、鋁、鎳、金、銀，該絕緣層為二氧化硅或氮化硅。
17.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面分別均設(shè)有金屬下電極導(dǎo)電層及電鍍金屬線圈，在該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層，在該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層，在該鏡面的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層；該二個(gè)第一扭轉(zhuǎn)臂連接于該基板的一端分別設(shè)有一外部電性接口，該外部電性接口連接外部電流；該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面其中之一或其組合設(shè)有至少一導(dǎo)電孔，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈之間在該導(dǎo)電孔處形成電性導(dǎo)通；通過(guò)該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面分別所設(shè)置的金屬下電極導(dǎo)電層與電鍍金屬線圈、該導(dǎo)電孔以及該絕緣層，提供該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面與該二個(gè)外部電性接口形成一電流行進(jìn)路徑而不致短路。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該電鍍金屬線圈及金屬下電極導(dǎo)電層為銅、鋁、鎳、金、銀，該絕緣層為二氧化硅或氮化硅。
19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該基板的材質(zhì)為硅，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面，及該第一扭轉(zhuǎn)臂、該第二扭轉(zhuǎn)臂、該第三扭轉(zhuǎn)臂的材質(zhì)為金屬或磁性材料。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該金屬為銅、鋁、鋼，該磁性材料為鎳、鐵、鈷，或鈷鎳、鐵鎳、鈷鎳錳磷的磁性合金。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件上設(shè)有電鍍磁性材料；該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件設(shè)有電鍍金屬線圈，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件與該電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層；該二第一扭轉(zhuǎn)臂連接于該基板的一端分別設(shè)有一外部電性接口，該外部電性接口連接外部電流；該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面其中之一或其組合設(shè)有至少一導(dǎo)電孔，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件與該電鍍金屬線圈之間，在該導(dǎo)電孔處形成電性導(dǎo)通；通過(guò)該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件與電鍍磁性材料、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件與該電鍍金屬線圈、該導(dǎo)電孔以及該絕緣層，提供該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及鏡面與該二外部電性接口形成一電流行進(jìn)路徑而不致短路。
22.根據(jù)權(quán)利要求19所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于 該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件上設(shè)有電鍍磁性材料；該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面均具有電鍍金屬線圈，在該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件與電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層，在該鏡面與電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層；該二第一扭轉(zhuǎn)臂連接于該基板的一端分別設(shè)有一外部電性接口，該外部電性接口連接外部電流；該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及鏡面其中之一或其組合設(shè)有至少一導(dǎo)電孔， 該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面與電鍍金屬線圈之間，在該導(dǎo)電孔處形成電性導(dǎo)通；通過(guò)該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件與電鍍磁性材料、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面與電鍍金屬線圈、該導(dǎo)電孔以及該絕緣層，提供該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及鏡面與該二外部電性接口形成一電流行進(jìn)路徑而不致短路。
23.根據(jù)權(quán)利要求19所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件均具有電鍍金屬線圈，在該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件與電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層，在該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件與電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層；該二第一扭轉(zhuǎn)臂連接于該基板的一端分別設(shè)有一外部電性接口，該外部電性接口連接外部電流；該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及鏡面其中之一或其組合設(shè)有至少一導(dǎo)電孔， 該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件以及該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件與電鍍金屬線圈之間，在該導(dǎo)電孔處形成電性導(dǎo)通；通過(guò)該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件以及該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件與電鍍金屬線圈、該導(dǎo)電孔以及該絕緣層，提供該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及鏡面與該二外部電性接口形成一電流行進(jìn)路徑而不致短路。
24.根據(jù)權(quán)利要求19所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面分別均設(shè)有電鍍金屬線圈，在該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件與電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層，在該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件與電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層，在該鏡面與電鍍金屬線圈之間設(shè)有絕緣層；該二第一扭轉(zhuǎn)臂連接于該基板的一端分別設(shè)有一外部電性接口，該外部電性接口連接外部電流；該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及鏡面其中之一或其組合設(shè)有至少一導(dǎo)電孔， 該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面與電鍍金屬線圈之間在該導(dǎo)電孔處形成電性導(dǎo)通；通過(guò)該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及該鏡面與電鍍金屬線圈、該導(dǎo)電孔以及該絕緣層，提供該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及鏡面與該二外部電性接口形成一電流行進(jìn)路徑而不致短路。
25.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，該鏡面鍍有反光層，該反光層為金、銀、鋁、鎳、銅金屬材質(zhì)。
26.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，其更包括一立體螺旋管， 該立體螺旋管設(shè)置于該基板下方，該立體螺旋管用以制動(dòng)該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件。
27.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)多環(huán)掃描元件，其特征在于，其更包括一第二內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，該第二內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件設(shè)置于該第三透空部?jī)?nèi)，在該第二內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件具有一第四透空部，該鏡面設(shè)置于該第四透空部?jī)?nèi)，該第二內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件的兩側(cè)對(duì)稱各設(shè)有一第四扭轉(zhuǎn)臂連接于該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，且該二第四扭轉(zhuǎn)臂與該二第二扭轉(zhuǎn)臂及該二第三扭轉(zhuǎn)臂同軸ο
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)一種光學(xué)多環(huán)掃描元件，包含一基板、一外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件、至少一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件及一鏡面，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件設(shè)置于該基板內(nèi)，該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件左右兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有第一扭轉(zhuǎn)臂連接于該基板，該至少一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件包括一第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件設(shè)置于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件內(nèi)，該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件上下兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有第二扭轉(zhuǎn)臂連接于該外環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，該鏡面設(shè)置于該第一內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件內(nèi)，該鏡面上下兩側(cè)對(duì)稱各設(shè)有一第三扭轉(zhuǎn)臂連接于該內(nèi)環(huán)驅(qū)動(dòng)元件，該第三扭轉(zhuǎn)臂與該第二扭轉(zhuǎn)臂同軸，該第一扭轉(zhuǎn)臂垂直于該第二扭轉(zhuǎn)臂及第三扭轉(zhuǎn)臂。
文檔編號(hào)H02K33/16GK102193189SQ20101012486
公開(kāi)日2011年9月21日 申請(qǐng)日期2010年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月1日
發(fā)明者周明杰, 張平, 李鴻忠, 陳重德 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院