一種靶材涂銦加熱平臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實用新型涉及靶材涂銦平臺，具體涉及一種可更換發(fā)熱管均勻加熱靶材涂銦平臺O
【背景技術(shù)】
[0002]靶材是一種具有高附加價值的特種電子材料，主要使用在微電子、顯示器、存儲器以及光學(xué)鍍膜等產(chǎn)業(yè)上，市場對靶材濺射薄膜、ITO靶材和巨磁阻薄膜材料的需求量很大。
[0003]靶材涂銦是指將銦金屬融化后涂布在靶材表面。
[0004]目前靶材涂銦采用的加熱平臺都是澆鑄成型。有以下缺點:1、表面粗糙;2、加熱速度慢(加熱至200攝氏度時需要2小時);3、表面容易氧化;4、整體容易變形;5、發(fā)熱管不能更換;6、平臺表面溫差大(正負(fù)15度以上)，靶材容易受熱不均而出現(xiàn)裂紋。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足及存在的問題，本實用新型提供一種可以改善傳統(tǒng)靶材涂銦的加熱平臺結(jié)構(gòu)。
[0006]本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的:
[0007]—種靶材涂銦加熱平臺，包括不銹鋼框架、柜體部分和安裝在不銹鋼框架上部的加熱平臺；所述加熱平臺上設(shè)有孔，孔內(nèi)裝有發(fā)熱管。
[0008]所述加熱平臺采用鋁合金板材壓鑄成型，加熱平臺上的孔為均勻分布，加熱平臺的邊緣設(shè)有匯流槽。
[0009]所述發(fā)熱管為單頭出線發(fā)熱管，發(fā)熱管與加熱平臺上的孔間隙配合。
[0010]所述加熱平臺上每一個孔內(nèi)裝入一支發(fā)熱管。
[0011 ]所述不銹鋼框架上還安裝有活動腳輪和平衡固定膠杯。
[0012]所述柜體部分上還設(shè)有總開關(guān)、溫控器和指示燈。
[0013]本實用新型提供的一種靶材涂銦加熱平臺的支架采用不銹鋼結(jié)構(gòu)，堅固耐用；加熱平臺使用的壓鑄成型鋁合金板材表面可作精磨加工，表面光滑，能與靶材無縫接觸，熱傳遞快;鋁合金板材易于加工，發(fā)熱管均勻分布，因此加熱平臺的表面溫差小，在正負(fù)5攝氏度內(nèi)，這樣靶材可均勻受熱；因加熱平臺采用鋁合金材料，表面不易氧化，正常加熱溫度范圍內(nèi)整體熱變形量極小;發(fā)熱管是采用精密工藝制造的單頭出線發(fā)熱管，壓鑄成型的加熱平臺的合金鋁板孔精度高，發(fā)熱管可與加熱平臺的內(nèi)孔精密配合;加熱平臺的每一個孔內(nèi)插入一支發(fā)熱管，發(fā)熱管可以單獨更換。使用本實用新型改善了以往涂銦平臺表面粗燥、加熱速度慢、整體易變形、表面易氧化、平臺表面溫差大、發(fā)熱管不能更換的缺點。
【附圖說明】

[0014]圖1為本實用新型靶材涂銦加熱平臺結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖中標(biāo)號所示為:1-不銹鋼框架，2-柜體部分，3-加熱平臺，4-活動腳輪，5-平衡固定膠杯，6-總開關(guān)，7-溫控器，8-指示燈，9-發(fā)熱管，I O-匯流槽。
【具體實施方式】
[0016]為了便于本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解，下面結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步的描述。
[0017]—種靶材涂銦加熱平臺包括不銹鋼框架1、柜體部分2和安裝在不銹鋼框架I上部的加熱平臺3;所述加熱平臺3上設(shè)有孔，孔內(nèi)裝有發(fā)熱管9。
[0018]如圖1所示，一種靶材涂銦加熱平臺的不銹鋼框架I一般通過焊接工藝制造，以不銹鋼框架I為支撐的柜體部分2安裝在不銹鋼框架I上，加熱平臺3通過螺栓連接固定在不銹鋼框架I上。
[0019]加熱平臺3采用壓鑄成型高密度的鋁合金板材，加熱平臺3上的孔通過壓鑄一次成型或者在板材上通過后續(xù)鉆孔加工，加熱平臺3上的孔為均勻分布，孔內(nèi)裝入發(fā)熱管9，發(fā)熱管9通電產(chǎn)熱，可使加熱平臺3均勻受熱。
[0020]加熱平臺3使用的壓鑄成型鋁合金板材表面作精磨加工，表面光滑，能與靶材無縫接觸，熱傳遞快。
[0021]所述加熱平臺3邊緣有匯流槽10，匯流槽10由壓鑄工藝一次成型。
[0022]加熱平臺3采用的發(fā)熱管9為精密工藝制造的單頭出線發(fā)熱管，加熱平臺3的孔加工精度高，因此發(fā)熱管9與加熱平臺3配合精密，傳熱效果好，使得加熱平臺3升溫快。
[0023]加熱平臺3上的每一個孔內(nèi)裝入一支發(fā)熱管9，因此發(fā)熱管9可獨立快速更換。
[0024]不銹鋼框架I上還安裝有活動腳輪4和平衡固定膠杯5，方便平臺的移動和平衡固定。
[0025]柜體2上還設(shè)有總開關(guān)6、溫控器7和指示燈8，柜體2內(nèi)部設(shè)有控制和顯示電路，柜體2表面還布置有控制和顯示用的按鈕、儀表和屏幕。
[0026]所述實施例為本實用新型較佳的實現(xiàn)方案，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，只是對本實用新型作出直接的置換或等同的替換，均屬于本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種靶材涂銦加熱平臺，其特征在于:包括不銹鋼框架(I)、柜體部分(2)和安裝在不銹鋼框架(I)上部的加熱平臺(3);所述加熱平臺(3)上設(shè)有孔，孔內(nèi)裝有發(fā)熱管(9)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材涂銦加熱平臺，其特征在于:所述加熱平臺(3)采用鋁合金板材壓鑄成型，加熱平臺(3)上的孔為均勻分布，加熱平臺(3)的邊緣設(shè)有匯流槽(10)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靶材涂銦加熱平臺，其特征在于:發(fā)熱管(9)為單頭出線發(fā)熱管，發(fā)熱管(9)與加熱平臺(3)上的孔間隙配合。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的靶材涂銦加熱平臺，其特征在于:所述加熱平臺(3)上每一個孔內(nèi)裝入一支發(fā)熱管(9)。5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的靶材涂銦加熱平臺，其特征在于:所述不銹鋼框架(I)上還安裝有活動腳輪(4)和平衡固定膠杯(5)。6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的靶材涂銦加熱平臺，其特征在于:所述柜體部分(2)上還設(shè)有總開關(guān)(6)、溫控器(7)和指示燈(8)。
【專利摘要】一種靶材涂銦加熱平臺，所述靶材涂銦過程是指將銦金屬融化后涂布在靶材表面。所述加熱平臺包括不銹鋼框架，柜體部分，以及安裝在不銹鋼框架上部的加熱平臺；所述加熱平臺采用高密度的鋁合金板材壓鑄成型；所述加熱平臺采用的發(fā)熱管采用精密工藝制造的單頭出線發(fā)熱管，發(fā)熱管與平臺鋁板的均勻分布的插孔配合。由于以往靶材涂銦平臺表面粗燥、整體易變形、發(fā)熱管不能更換、平臺表面溫差大，本實用新型平臺采用壓鑄成型高密度的鋁合金板材，采用均勻分布的可更換單頭出線發(fā)熱管，改進(jìn)了傳統(tǒng)加熱平臺的不足。
【IPC分類】H05B3/42
【公開號】CN205385619
【申請?zhí)枴緾N201521123024
【發(fā)明人】梁國雄
【申請人】廣州市番禺科進(jìn)超聲波設(shè)備廠
【公開日】2016年7月13日
【申請日】2015年12月31日