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一種加速器及其束流路徑在線監(jiān)測裝置的制作方法

文檔序號:11237158閱讀:1347來源:國知局
一種加速器及其束流路徑在線監(jiān)測裝置的制造方法

本發(fā)明涉及加速器技術領域,更進一步涉及一種流路徑在線監(jiān)測裝置。此外,本發(fā)明還涉及一種加速器。



背景技術:

電子加速器是輻射技術應用的基本設備,通過人工方法使電子在真空中受磁場力控制、電場力加速而達到高能量并能被引出應用,可以提供高能量、大功率、良好品質(zhì)的電子束。

電子加速器的電子槍是電子束的源頭,由其燈絲發(fā)射的電子通過陽極引出到加速管,電子束在加速管內(nèi)被一系列電極或微波電場加速,得到較高的能量,電子束會經(jīng)各種形態(tài)的電磁場進行引導約束,使其沿著預定的軌道運動,通常所指的預定軌道就是整個束流光路的通道。

電子束需要保持正中,現(xiàn)有技術在電子束最終被引出位置檢測電子斑點的位置,通過打束流斑點的方式判斷電子束是否居中,但僅能檢測電子引出時是否居中,并不能保證電子束整體都保持居中;另外電子束在生產(chǎn)使用過程中不能通過打束流斑點的方式進行電子束居中的檢測,無法實現(xiàn)在線檢測,無法保證檢測的時效性。



技術實現(xiàn)要素:

本發(fā)明公開了一種束流路徑在線監(jiān)測裝置,可以實現(xiàn)電子束實時準確監(jiān)測,對加速器的正常工作不產(chǎn)生影響,具體方案如下:

一種束流路徑在線監(jiān)測裝置,包括設置于加速器束流通道上的環(huán)狀光闌,所述環(huán)狀光闌的中間設置用于通過電子流通道;所述環(huán)狀光闌上沿周向均勻設置多個溫度傳感器,所述環(huán)狀光闌的中心安裝在束流通道的理論中心,各所述溫度傳感器距離所述環(huán)狀光闌中心的距離相等;所述溫度傳感器的信號傳遞至監(jiān)測器,所述監(jiān)測器根據(jù)所述溫度傳感器監(jiān)測的溫度差異判斷電子束是否處于正中。

可選地,所述環(huán)狀光闌設置環(huán)狀的水流通道,所述水流通道中流通冷卻水,所述溫度傳感器從所述水流通道的外側(cè)向內(nèi)插裝。

可選地,所述水流通道朝向中心設置用于安裝所述溫度傳感器的盲孔,所述盲孔的內(nèi)壁設置與所述溫度傳感器配合固定的螺紋。

可選地,所述水流通道為內(nèi)部整體連通的密封腔體,所述水流通道外周上相對的位置分別設置進水口和出水口。

可選地,所述水流通道的外周呈圓形,所述電子流通道為圓形通孔。

可選地,所述水流通道的一側(cè)端面上均勻設置多個連接孔,所述連接孔通過螺栓連接在法蘭盤上。

可選地,所述水流通道上設置六個所述溫度傳感器,所述溫度傳感器、所述進水口和所述出水口等間距分布;所述水流通道的端面上設置八個所述連接孔。

本發(fā)明還提供一種加速器,包括相互連接形成束流通道的電子槍、加速管、真空抽氣系統(tǒng)、漂移管、真空波紋管、掃描裝置和掃描窗,還包括上述任一項所述的束流路徑在線監(jiān)測裝置。

可選地,所述環(huán)狀光闌連接在所述真空波紋管和所述掃描裝置之間。本發(fā)明提供一種束流路徑在線監(jiān)測裝置,包括環(huán)狀光闌和監(jiān)測器,環(huán)狀光闌設置于加速器的束流通道上,正對加速器的電子束,環(huán)狀光闌的中間設置用于通過電子的電子流通道,電子從電子流通道中穿過環(huán)狀光闌繼續(xù)運動,環(huán)狀光闌不影響電子的運動軌跡;環(huán)狀光闌上沿周向均勻設置多個溫度傳感器,各溫度傳感器距離環(huán)狀光闌中心的距離相等,且環(huán)狀光闌的中心對正束流通道的理論中心,當電子束位于環(huán)狀光闌的正中時,電子距離各溫度傳感器的距離相等;溫度傳感器的信號傳遞至監(jiān)測器,監(jiān)測器根據(jù)溫度傳感器的溫度差異判斷電子束是否處于正中。

當電子束不發(fā)生偏移時,電子束位從電子流通道的正中通過時,電子距離各溫度傳感器的距離相等,使環(huán)狀光闌周向的溫度保持基本相同,溫差極小;若電子束偏移,則距離各個溫度傳感器的距離發(fā)生變化,距離電子束較近的位置溫度較高,距離電子束較近的位置溫度較低,溫度的高低與距離的遠近呈一定的比例關系,監(jiān)測器根據(jù)各溫度傳感器的監(jiān)測溫度的變化判斷電子束是否發(fā)生了偏移。

本發(fā)明的環(huán)狀光闌套裝在束流通道中,對電子的正常運行不產(chǎn)生影響,因此可實現(xiàn)在線監(jiān)測的目的,檢測結果實時準確;環(huán)狀光闌構成束流通道的一部分,相對于傳統(tǒng)僅檢測末端電子位置的方式,本申請可測量整個電子束是否居中。

本發(fā)明還提供一種加速器,包括上述的束流路徑在線監(jiān)測裝置,可實現(xiàn)相同的技術效果。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1a為環(huán)狀光闌的俯視圖;

圖1b為環(huán)狀光闌的正視圖;

圖2為監(jiān)測器的結構示意圖;

圖3為加速器的一種具體結構圖。

其中包括:

環(huán)狀光闌1、電子流通道11、水流通道12、連接孔13、監(jiān)測器2、顯示器21、電源開關22、指示燈23、溫度傳感器3、進水口4、出水口5、電子槍61、加速管62、真空抽氣系統(tǒng)63、漂移管64、真空波紋管65、掃描裝置66、掃描窗67。

具體實施方式

本發(fā)明公開了一種束流路徑在線監(jiān)測裝置,可以實現(xiàn)電子束實時準確監(jiān)測,對加速器的正常工作不產(chǎn)生影響。

為了使本領域的技術人員更好地理解本發(fā)明的技術方案,下面將結合附圖及具體的實施方式,對本申請的加速器及其束流路徑在線監(jiān)測裝置進行詳細的介紹說明。

本發(fā)明提供一種束流路徑在線監(jiān)測裝置,其包括環(huán)狀光闌1和監(jiān)測器2,如圖1a所示,為環(huán)狀光闌的俯視圖,圖1b為環(huán)狀光闌的正視圖,圖2為監(jiān)測器的結構示意圖;環(huán)狀光闌1設置于加速器束流通道上,加速器的束流通道是用于對電子進行加速、約束的管狀結構;環(huán)狀光闌1的中間開設用于通過電子的電子流通道11,電子流通道11對電子束的運動不產(chǎn)生干擾,可以保證電子束正常運動;環(huán)狀光闌1上沿周向均勻設置多個溫度傳感器3,環(huán)狀光闌1的中心對正束流通道的理論中心,各溫度傳感器3距離環(huán)狀光闌1中心的距離相等,當電子束處于正中時,各溫度傳感器3距離電子束的距離相等;溫度傳感器3連接監(jiān)測器2,監(jiān)測器2接收溫度傳感器3傳遞的信號,根據(jù)溫度傳感器3監(jiān)測的溫度差異判斷電子束是否處于正中。

當電子束不發(fā)生偏移時,電子束位于束流通道的正中,電子距離各溫度傳感器3的距離相等,使環(huán)狀光闌1周向各位置的溫度保持基本相同,溫差極小,當監(jiān)測器2檢測到各溫度傳感器3的溫差很小基本相同時,判定此時電子束居中;若電子束偏移,則距離各個溫度傳感器3的距離發(fā)生變化,距離電子束較近的位置溫度較高,距離電子束較遠的位置溫度較低,溫度的高低與距離的遠近呈一定的比例關系,相對于電子束居中的情況,電子束靠近一側(cè)的溫度升高,電子束遠離一側(cè)的溫度降低,溫度的變化根據(jù)距離的遠近而不同,通過各個溫度傳感器3所處位置的不同得到電子束偏移的方向,對電子束的偏移進行調(diào)整。

監(jiān)測器2對應于溫度傳感器3設置多個顯示器21,可用于顯示各個溫度傳感器3的實時溫度;監(jiān)測器2為總控部件,還設置電源開關22;監(jiān)測器2上還設置多個指示燈23,用于顯示溫度傳感器3是否正常工作,監(jiān)測器2設置溫度上限,當溫度傳感器3的溫度超過上限后通過相應的指示燈23報警。

本發(fā)明的環(huán)狀光闌1套裝在束流通道中,對電子的正常運行不產(chǎn)生影響,因此可實現(xiàn)在線監(jiān)測的目的,檢測結果實時準確;環(huán)狀光闌1構成束流通道的一部分,相對于傳統(tǒng)僅檢測末端電子位置的方式,本申請可測量整個電子束是否居中。在一個電子束管道中可以設置兩個或多個環(huán)狀光闌1,從而實時監(jiān)測電子束多個位置的位置情況。

因電子束穿過時造成環(huán)狀光闌1大量發(fā)熱,為了及時降溫散熱,本申請在環(huán)狀光闌1中設置環(huán)狀的水流通道12,水流通道12中流通冷卻水,溫度傳感器3設置在水流通道12的外側(cè),位于遠離電子束的一側(cè),使溫度傳感器3的線束遠離中心的高溫區(qū)域,實時監(jiān)測水溫的變化。

水流通道12朝向中心設置用于安裝溫度傳感器3的盲孔,溫度傳感器不接觸內(nèi)部的水,盲孔的內(nèi)壁設置與溫度傳感器3配合固定的螺紋,安裝時直接將溫度傳感器3擰裝固定即可。溫度傳感器3為長條形的結構,前端與電子流通道11保持適當?shù)木嚯x,可靈敏地感受溫度變化。

具體地,本申請中水流通道12為內(nèi)部整體連通的密封腔體,水流通道12為一個完整的腔體,各處保持連通,使水可自由流動,水流通道12內(nèi)部腔體的結構可根據(jù)具體情況作出相應的設定,可以為圓環(huán)形的腔體,也可以是其他形狀的通道,能夠引導水流沿特定的方向流動。

水流通道12外周上相對的位置分別設置進水口4和出水口5,水流從進水口4進入并經(jīng)出水口5流出,形成完整的循環(huán)。由于電子束所產(chǎn)生的熱量很大,對水溫的影響即時變化,在一個腔體內(nèi)的水溫也會出現(xiàn)實時的變化。當然,若將水流通道12中間隔為多個獨立的腔體也可以,每個腔體中設置進出水口以及溫度傳感器,這些具體的設置方式都包含在本申請的保護范圍之內(nèi)。

具體地,為最大程度保證各處距離相等,本發(fā)明中的水流通道12的外周呈圓形,電子流通道11為圓形通孔。當然,若水流通道12設置為多邊形結構也是可以的,能夠?qū)崿F(xiàn)相同的技術效果。

水流通道12的上下兩端面連接電子束管道,水流通道12的一側(cè)端面上均勻設置多個連接孔13,連接孔13可用于穿過螺栓,通過螺栓連接在法蘭盤上,將環(huán)狀光闌1與其他部件連接,連接后保證水流通道12內(nèi)部為一個獨立封閉的腔體。

具體地,本申請中水流通道12上設置六個溫度傳感器3,將水流通道12劃分為六個區(qū)域,可以更加準確地判斷電子束的偏移方向,六個溫度傳感器3、一個進水口4和一個出水口5等間距分布,共八個結構中,相鄰兩結構之間的距離相等。水流通道12的端面上設置八個連接孔13,環(huán)狀光闌1與其他部件連接的受力均勻一致,具有足夠的穩(wěn)定性。

本發(fā)明還提供一種加速器,如圖3所示,為加速器的一種具體結構圖,從上到下依次包括相互連接形成束流通道的電子槍61、加速管62、真空抽氣系統(tǒng)63、漂移管64、真空波紋管65、掃描裝置66和掃描窗67,還包括上述的束流路徑在線監(jiān)測裝置,可以實現(xiàn)相同的技術效果。

本發(fā)明優(yōu)選地設置一個環(huán)狀光闌1,環(huán)狀光闌1連接在真空波紋管65和掃描裝置66之間,在電子進行掃描之前進行檢測。

對所公開的實施例的上述說明,使本領域?qū)I(yè)技術人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理,可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下,在其它實施例中實現(xiàn)。因此,本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實施例,而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。

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