專利名稱：光掃描器封裝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光掃描器封裝，尤其涉及一種具有改進(jìn)的結(jié)構(gòu)的光掃描器封裝，以在所成圖像中減少噪聲。
背景技術(shù)：
諸如投影電視的家用電器包括光掃描器裝置，該裝置具有微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)通過由梳形電極引起的靜電效應(yīng)使激光束傾斜。不過，這種光掃描器裝置的鏡子非常小，在幾毫米量級(jí)上或更小，因此對(duì)外界條件非常敏感。因此，為了保持光掃描器裝置的特性并保護(hù)光掃描器裝置，需要密封的封裝。
圖1是常規(guī)光掃描器封裝的截面圖。參考圖1，常規(guī)光掃描器封裝包括光掃描器裝置10、容納光掃描器10的封裝容器20、以及封裝窗口30，封裝窗口30密封地封住封裝容器20并保護(hù)光掃描器裝置10不受外界條件影響。光掃描器裝置10包括掃描入射光束的掃描鏡12和操作掃描鏡12的梳形電極14。通過使用外部電源掃描入射光束，光掃描器裝置10在屏幕單元S上實(shí)現(xiàn)圖像。光掃描器封裝的制造工藝包括在封裝容器20中芯片接合(diebonding)光掃描器裝置10、向光掃描器裝置10施加外部電源以及通過將封裝窗口30接合到封裝容器20而與外界隔絕地封住光掃描器裝置10。光掃描器裝置結(jié)構(gòu)和其制造方法被公開于韓國專利公報(bào)No.2004-35116、韓國專利申請(qǐng)No.2003-86624和韓國專利申請(qǐng)No.2004-85357，在此引入它們以作參考。
不過，在常規(guī)光掃描器裝置中，當(dāng)入射光束被傳送到封裝窗口30并到達(dá)光掃描器裝置時(shí)，入射光束在封裝窗口30的表面上被反射，這樣就產(chǎn)生了噪聲光束。噪聲光束在屏幕單元S上產(chǎn)生不期望的圖像。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種在所成圖像中減少噪聲的用于光掃描器的光掃描器封裝。
根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種光掃描器封裝，包括掃描入射光束的光掃描器裝置，包括掃描鏡和操作掃描鏡的梳形電極結(jié)構(gòu)；容納光掃描器裝置的封裝容器；及封裝窗口，形成于封裝容器上以密封住封裝容器，并包括反射鏡，該反射鏡將來自光掃描器裝置的被掃描光束反射到一側(cè)上的屏幕單元，從而將被掃描光束的路徑與源自入射光束的噪聲光束的路徑分開。
優(yōu)選地，封裝窗口可以由透光材料形成，且反射鏡涂布有光反射材料，例如Ag、Al和Au。
優(yōu)選地，封裝窗口可以包括第一和第二透光表面，通過它們向光掃描器裝置傳送的入射光束被依次透射；第三透光表面，在其上形成反射鏡；以及第四透光表面，通過它從反射鏡向屏幕單元反射的掃描光束被透射。封裝窗口的垂直截面可以形成不對(duì)稱梯形。該光掃描器封裝可以進(jìn)一步包括在反射鏡上由諸如TiO2、Ta2O5和SiO2的透明介電材料形成的高反射涂層膜。該光掃描器封裝還可以包括分別在第一、第二和第四透光表面上由MgF2或SiO2形成的抗反射涂層膜。
在本發(fā)明實(shí)施例中的光掃描器封裝中，向屏幕單元S前進(jìn)的掃描光束的路徑與源自入射光束的噪聲光束的路徑是分開的，因此可以減少所成圖像中的噪聲。


通過參考附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的示范性實(shí)施例，本發(fā)明的上述和其他特征和優(yōu)勢(shì)將變得更加明顯，附圖中圖1是常規(guī)光掃描器封裝的示意性截面圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的光掃描器封裝的示意性截面圖；圖3是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的光掃描器封裝的示意性截面圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的光掃描器封裝的示意性截面圖；以及圖5是根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的光掃描器封裝的示意性截面圖。
具體實(shí)施例方式
圖2是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的光掃描器封裝的示意性截面圖。參考圖2，根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的光掃描器封裝包括光掃描器裝置110；封裝容器120，容納該光掃描器裝置110；以及封裝窗口130，通過氣密地封住封裝容器120與外界條件隔絕地封住光掃描器裝置110。
該光掃描器裝置110包括掃描鏡112和操作掃描鏡112的梳形電極114，并通過使用電源掃描入射光束而在屏幕單元S上實(shí)現(xiàn)圖像。具體地講，封裝窗口130包括第一和第二透光表面130a和130b，向光掃描器裝置110傳送的入射光束依次入射在它們上；第三透光表面130c，在其上形成反射鏡140；以及第四透光表面130d，被反射鏡140反射且向屏幕單元S前進(jìn)的掃描光束向其傳送。封裝窗口130的垂直截面形成不對(duì)稱的梯形。封裝窗口130由透光材料形成，且反射鏡140由光反射材料，諸如Ag、Al或Au形成且涂布在第三透光表面130c上。
在本實(shí)施例的光掃描器封裝中，入射光束依次傳送到封裝窗口130的第一和第二透光表面130a和130b上，到達(dá)光掃描器裝置110，并被光掃描器裝置110掃描。來自光掃描器裝置的掃描光束依次傳送到第二和第三透光表面130b和130c并到達(dá)反射鏡140。掃描光束被反射鏡140反射到第四透光表面130d，然后向屏幕單元S前進(jìn)。因此，掃描光束向屏幕單元S前進(jìn)的路徑與噪聲光束的路徑分開，該噪聲光束起源于封裝窗口130的表面上的入射光束，因此能夠減少所成圖像中的噪聲。
可以在反射鏡140上形成由諸如TiO2、Ta2O5或SiO2的透明介電材料形成的高反射涂層膜。此外，可以在第一、第二和第四透光表面130a、130b和130d上進(jìn)一步形成由諸如MgF2或SiO2的材料形成的抗反射涂層膜150。
圖3是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的光掃描器封裝的示意性截面圖。第一和第二實(shí)施例共有的元件的描述將不再重復(fù)。類似的附圖標(biāo)記指示類似元件。
本發(fā)明第二實(shí)施例包括從封裝窗口130改造而成的封裝窗口230。即，本發(fā)明第二實(shí)施例的封裝窗口230包括反射鏡240，如第一實(shí)施例，反射鏡240對(duì)從光掃描器裝置110傳送向屏幕單元S的掃描光束進(jìn)行反射，不過它具有不同的結(jié)構(gòu)。具體地講，封裝窗口230包括第一窗口231，設(shè)置于封裝容器120上，面對(duì)封裝容器120并具有第一和第二透光表面231a和231b，入射光束通過它們傳送到光掃描器裝置110；第二窗口232，安裝于封裝容器120的側(cè)壁上，以支撐第一窗口231的一例，并具有倒置不對(duì)稱梯形的垂直截面，在第二窗口232的一側(cè)上形成有反射鏡240；以及第三窗口233，安裝于封裝容器120的另一側(cè)壁上，以支撐第一窗口231的另一側(cè)，并包括第三和第四透光表面233a和233b，被反射鏡240反射并向屏幕單元S前進(jìn)的掃描光束依次通過它們傳送。
在本實(shí)施例中，入射光束依次通過第一窗口231的第一和第二透光表面231a和231b傳輸，到達(dá)光掃描器裝置110，并被光掃描器110掃描。來自1光掃描器裝置110的掃描光束到達(dá)形成于第二窗口232一側(cè)上的反射鏡240。而且，掃描光束被反射鏡240反射到第三和第四透光表面233a和233b并向屏幕單元S前進(jìn)。因此，向屏幕單元S前進(jìn)的掃描光束的路徑與源自入射光束的噪聲光束的路徑分開，這樣就能減少所成圖像中的噪聲。
可以在反射鏡240上進(jìn)一步形成由諸如TiO2、Ta2O5或SiO2的透明介電材料形成的高反射涂層膜。此外，可以進(jìn)一步在第一、第二、第三和第四透光表面231a、231b、233a和233b上形成由諸如MgF2或SiO2的材料形成的抗反射涂層膜250。
圖4是根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的光掃描器封裝的示意性截面圖。與第一和第三實(shí)施例共有的元件的描述將不再重復(fù)。類似參考數(shù)字指示類似元件。
本發(fā)明的第三實(shí)施例包括由封裝窗口130改造來的封裝窗口330。即，本發(fā)明第三實(shí)施例的封裝窗口330包括反射鏡340，如第一實(shí)施例中一樣，反射鏡340將從光掃描器裝置110傳送的掃描光束反射到屏幕單元S，不過封裝窗口330具有與第一實(shí)施例的封裝窗口130不同的結(jié)構(gòu)。具體來說，第三實(shí)施例的封裝窗口330包括密封封裝容器120的第一窗口331以及安裝在所述第一窗口331上的第二窗口332。第二窗口332包括第一和第二透光表面332a和332b，入射光束通過它們連續(xù)傳送；第三光學(xué)表面332c，其上形成反射鏡340；以及第四光學(xué)表面332d，通過其傳送被反射鏡340反射并向屏幕單元S前進(jìn)的掃描光束。第二窗口332的垂直截面形成不對(duì)稱的梯形。
在本實(shí)施例中，入射光束經(jīng)過第二窗口332的第一和第二透光表面332a和332b傳送，抵達(dá)光掃描器裝置110，并被光掃描器裝置110掃描。來自光掃描器裝置110的掃描光束傳送到第一窗口331和第二與第三透光表面332b和332c，到達(dá)反射鏡340。而且，掃描光束從反射鏡340反射到第四透光表面332d并前進(jìn)到屏幕單元S。因此，掃描光束前進(jìn)到屏幕單元S的路徑與源自入射光束的噪聲光束的路徑分開，這樣就能減少所成圖像中的噪聲。
第一和第二窗口332可以用UV膠結(jié)合，且第一和第二窗口331和332可以形成為一體。還可以在反射鏡340上形成由諸如TiO2、Ta2O5或SiO2的透明介電材料形成的高反射涂層膜。此外，還可以在第一、第二和第四透光表面332a、332b和332d上形成由MgF2或SiO2形成的抗反射涂層膜350。
圖5是根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的光掃描器封裝的示意性截面圖。不再重復(fù)與第一和第四實(shí)施例共有的元件的描述。類似參考數(shù)字指示類似的元件。
本發(fā)明的第四實(shí)施例包括從封裝窗口130改造來的封裝窗口430。亦即，本發(fā)明第四實(shí)施例的封裝窗口430包括反射鏡440，如第一實(shí)施例中一樣，將從光掃描器裝置110傳送來的掃描光束反射到屏幕單元S，不過具有與第一實(shí)施例的封裝窗口130不同的結(jié)構(gòu)。詳細(xì)地講，第四實(shí)施例的封裝窗口430包括第一窗口431和從第一窗口431的一側(cè)延伸的第二窗口432；以及插置在第一和第二窗口431和432之間的反射鏡440。第一窗口431包括第一和第二透光表面431a和431b，入射光束通過它們連續(xù)傳送；第三光學(xué)表面431c，其上形成反射鏡440；以及第四光學(xué)表面431d，通過其傳送被反射鏡440反射并向屏幕單元S前進(jìn)的掃描光束。第二窗口432的垂直截面形成不對(duì)稱的梯形，且第二窗口432用UV膠結(jié)合在反射鏡440上。
在光掃描器封裝的本實(shí)施例中，入射光束經(jīng)過第二窗口430的第一和第二透光表面431a和431b連續(xù)傳送，抵達(dá)光掃描器裝置110，并被光掃描器裝置110掃描。來自光掃描器裝置110的掃描光束被連續(xù)傳送到第二和第三透光表面431b和431c，到達(dá)反射鏡440。掃描光束從反射鏡440反射到第四透光表面431d并前進(jìn)到屏幕單元S。因此，掃描光束前進(jìn)到屏幕單元S的路徑與源自封裝窗口430的表面上的入射光束的噪聲光束的路徑是分開的，這樣就能夠減少所成圖像中的噪聲。
還可以在反射鏡440上形成由諸如TiO2、Ta2O5或SiO2的透明介電材料形成的高反射涂層膜。此外，還可以在第一、第二和第四透光表面431a、431b和431d上形成由MgF2或SiO2形成的抗反射涂層膜450。
根據(jù)本發(fā)明，在改進(jìn)的光掃描器封裝中，掃描光束前進(jìn)到屏幕單元S的路徑和源自入射光束的噪聲光束的路徑是分開的，這樣就能夠減少所成圖像中的噪聲。因此，在本發(fā)明中，可以改善發(fā)光性和對(duì)比度。而且，這樣的光掃描器封裝可以在芯片尺度上封裝，因此在尺寸上可以更小。此外，可以簡化封裝工藝且可以減少制造成本。
盡管已經(jīng)參考其示范性實(shí)施例特別展示和描述了本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，在不背離如權(quán)利要求所界定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下可以在其中做出多種形式和細(xì)節(jié)上的變化。
權(quán)利要求
1.一種光掃描器封裝，包括光掃描器裝置，掃描入射光束并包括掃描鏡和操作所述掃描鏡的梳型電極結(jié)構(gòu)；容納所述光掃描器裝置的封裝容器；以及封裝窗口，形成于所述封裝容器上以密封所述封裝容器，并包括反射鏡，所述反射鏡將來自所述光掃描器裝置的所述掃描光束反射到在一側(cè)上的屏幕單元，從而將所述掃描光束的路徑與源自所述入射光束的噪聲光束的路徑分開。
2.如權(quán)利要求1所述的光掃描器封裝，其中所述封裝窗口由透光材料形成。
3.如權(quán)利要求2所述的光掃描器封裝，其中所述反射鏡用光反射材料涂布。
4.如權(quán)利要求3所述的光掃描器封裝，其中所述光反射材料從包括Ag、Al和Au的組中選擇。
5.如權(quán)利要求2所述的光掃描器封裝，其中所述封裝窗口包括第一和第二透光表面，傳送到所述光掃描器裝置的入射光束通過它們連續(xù)傳送；第三透光表面，其上形成所述反射鏡；以及第四透光表面，通過其傳送從所述反射鏡反射到所述屏幕單元的所述掃描光束。
6.如權(quán)利要求5所述的光掃描器封裝，其中所述封裝窗口的垂直截面形成不對(duì)稱的梯形。
7.如權(quán)利要求5所述的光掃描器封裝，還包括在所述反射鏡上由透明介電材料形成的高反射涂層膜。
8.如權(quán)利要求7所述的光掃描器封裝，其中所述透明介電材料選自包括TiO2、Ta2O5和SiO2的組中的一種。
9.如權(quán)利要求5所述的光掃描器封裝，還包括分別形成于所述第一、第二和第四透光表面上的抗反射涂層膜。
10.如權(quán)利要求9所述的光掃描器封裝，其中所述抗反射涂層膜由MgF2或SiO2形成。
11.如權(quán)利要求2所述的光掃描器封裝，所述封裝窗口包括第一窗口，設(shè)置于所述封裝容器上且面對(duì)所述封裝容器，并包括第一和第二透光表面，傳送到所述光掃描器裝置的入射光束通過所述第一和第二透光表面依次傳送；第二窗口，安裝于所述封裝容器的側(cè)壁上，支撐所述第一窗口的一端并具有形成倒梯形的垂直截面；反射鏡，形成于所述第二窗口的一側(cè)上；以及第三窗口，安裝于所述封裝容器的另一側(cè)壁上，支撐所述第一窗口的另一端，并包括第三和第四透光表面，從所述反射鏡反射到所述屏幕單元的掃描光束通過所述第三和第四透光表面連續(xù)傳送。
12.如權(quán)利要求11所述的光掃描器封裝，還包括在所述反射鏡上由透明介電材料形成的高反射涂層膜。
13.如權(quán)利要求12所述的光掃描器封裝，其中所述透明介電材料選自包括TiO2、Ta2O5和SiO2的組。
14.如權(quán)利要求11所述的光掃描器封裝，還包括分別形成于所述第一、第二、第三和第四透光表面上的抗反射涂層膜。
15.如權(quán)利要求14所述的光掃描器封裝，其中所述抗反射涂層膜由MgF2或SiO2形成。
16.如權(quán)利要求2所述的光掃描器封裝，其中所述封裝窗口包括第一窗口，密封所述封裝容器；以及第二窗口，包括安裝于所述第一窗口上的第一和第二透光表面，傳送到所述光掃描器裝置的入射光束通過它們連續(xù)傳送；第三透光表面，其上形成所述反射鏡；以及第四透光表面，通過其傳送被所述反射鏡反射到所述屏幕單元的掃描光束。
17.如權(quán)利要求16所述的光掃描器封裝，其中所述第二窗口的垂直截面形成不對(duì)稱的梯形。
18.如權(quán)利要求16所述的光掃描器封裝，還包括在所述反射鏡上由透明介電材料形成的高反射涂層膜。
19.如權(quán)利要求18所述的光掃描器封裝，其中所述透明介電材料選自包括TiO2、Ta2O5和SiO2的組。
20.如權(quán)利要求16所述的光掃描器封裝，還包括分別形成于所述第一、第二和第四透光表面上的抗反射涂層膜。
21.如權(quán)利要求20所述的光掃描器封裝，其中所述抗反射涂層膜由MgF2或SiO2形成。
22.如權(quán)利要求16所述的光掃描器封裝，其中所述第一和第二窗口用UV膠結(jié)合。
23.如權(quán)利要求16所述的光掃描器封裝，其中所述第一和第二窗口形成一體。
24.如權(quán)利要求2所述的光掃描器封裝，所述封裝窗口包括第一窗口，包括第一和第二透光表面，傳送到所述光掃描器裝置的入射光束通過它們連續(xù)傳送；第三透光表面，其上形成所述反射鏡；以及第四透光表面，通過其傳送被所述反射鏡反射到所述屏幕單元的掃描光束；以及第二窗口，具有一個(gè)接觸所述反射鏡的表面，且具有形成倒梯形的一個(gè)垂直截面。
25.如權(quán)利要求24所述的光掃描器封裝，其中所述第一窗口的垂直截面形成倒置不對(duì)稱的梯形。
26.如權(quán)利要求24所述的光掃描器封裝，其中所述反射鏡和所述第二窗口用UV膠結(jié)合。
27.如權(quán)利要求24所述的光掃描器封裝，還包括在所述反射鏡上由透明介電材料形成的高反射涂層膜。
28.如權(quán)利要求27所述的光掃描器封裝，其中所述透明介電材料選自包括TiO2、Ta2O5和SiO2的組。
29.如權(quán)利要求24所述的光掃描器封裝，還包括分別形成于所述第一、第二和第四透光表面上的抗反射涂層膜。
30.如權(quán)利要求29所述的光掃描器封裝，其中所述抗反射涂層膜由MgF2或SiO2形成。
全文摘要
提供了一種光掃描器封裝。該光掃描器封裝包括光掃描器裝置，掃描入射光束并包括掃描鏡和操作所述掃描鏡的梳型電極結(jié)構(gòu)；容納所述光掃描器裝置的封裝容器；以及封裝窗口，形成于所述封裝容器上以密封所述封裝容器，并包括反射鏡，所述反射鏡將來自所述光掃描器裝置的所述掃描光束反射到在一側(cè)上的屏幕單元，從而將所述掃描光束的路徑與源自所述入射光束的噪聲光束的路徑分開。
文檔編號(hào)H04N3/02GK1892282SQ20061000884
公開日2007年1月10日 申請(qǐng)日期2006年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月9日
發(fā)明者文龍權(quán), 崔源璟 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社