專利名稱:一種微型芯片rf抽檢測試用數(shù)字化控制壓力機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及一種微型芯片RF抽檢測試用數(shù)字化控制壓力機,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片測試。
背景技術(shù):
隨著現(xiàn)代電子行業(yè)的迅速發(fā)展,對于產(chǎn)品的高集成化,小型化的需求觸發(fā)半導(dǎo)體元器件的微型化,特別是IC芯片微型化給制造及測試帶來了挑戰(zhàn)。目前行業(yè)中對IC RF測試還普片存在一些手動操作的測試。通過手動按壓或者借助一些輔助的下壓機構(gòu)給芯片一定的壓力來測試芯片的RF導(dǎo)通信號。由于芯片上面的信號導(dǎo)通觸角很小,對測試時產(chǎn)生的壓痕有著嚴格的控制,這樣手動下壓,由于對力道不能精確的控制,會給芯片帶來壓痕和外觀等不良導(dǎo)致芯片報廢。
實用新型內(nèi)容本實用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)的上述不足,提供了一種微型芯片RF抽檢測試用數(shù)字化控制壓力機。本實用新型的上述目的通過以下的技術(shù)方案來實現(xiàn)一種微型芯片RF抽檢測試用數(shù)字化控制壓力機,包括基座、控制平臺、直線導(dǎo)軌、壓頭裝置和測試平臺,控制平臺包括PLC控制器、步進電機和滾珠絲桿,滾珠絲桿連接壓頭裝置,壓頭裝置沿直線導(dǎo)軌行走,所述壓頭裝置包括壓頭和壓力傳感器。所述壓頭裝置下設(shè)有緩沖彈簧,通過緩沖彈簧放大下壓位移和力的線性關(guān)系,從而實現(xiàn)力的精確控制。所述基座上設(shè)有觸摸屏,當(dāng)需要切換其他產(chǎn)品需要不同的壓力值時,只要在觸目屏里面設(shè)置所需要的壓力值即可。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點是本實用新型實現(xiàn)的芯片測試操作方便快捷,力度控制精確,降低產(chǎn)片測試不良的產(chǎn)生。
圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型進一步詳述如圖1所示,一種微型芯片RF抽檢測試用數(shù)字化控制壓力機,包括基座1、控制平臺2、直線導(dǎo)軌3、壓頭裝置4和測試平臺5,控制平臺2包括PLC控制器、步進電機和滾珠絲桿,滾珠絲桿連接壓頭裝置4,壓頭裝置4沿直線導(dǎo)軌3行走,所述壓頭裝置4包括壓頭41和壓力傳感器42。所述壓頭裝置4下設(shè)有緩沖彈簧6,通過緩沖彈簧6放大下壓位移和力的線性關(guān)系,從而實現(xiàn)力的精確控制。所述基座上設(shè)有觸摸屏觸摸屏7,當(dāng)需要切換其他產(chǎn)品需要不同的壓力值時,只要在觸摸屏7里面設(shè)置所需要的壓力值即可。但是,上述的具體實施方式
只是示例性的,是為了更好的使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠理解本專利,不能理解為是對本專利包括范圍的限制;只要是根據(jù)本專利所揭示精神的所作的任何等同變更或修飾,均落入本專利包括的范圍。
權(quán)利要求1.一種微型芯片RF抽檢測試用數(shù)字化控制壓力機,包括基座、控制平臺、直線導(dǎo)軌、壓頭裝置和測試平臺,控制平臺包括PLC控制器、步進電機和滾珠絲桿,滾珠絲桿連接壓頭裝置,壓頭裝置沿直線導(dǎo)軌行走,所述壓頭裝置包括壓頭和壓力傳感器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微型芯片RF抽檢測試用數(shù)字化控制壓力機,其特征在于所述壓頭裝置下設(shè)有緩沖彈簧。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微型芯片RF抽檢測試用數(shù)字化控制壓力機,其特征在于所述基座上設(shè)有觸摸屏。
專利摘要本實用新型公開了一種微型芯片RF抽檢測試用數(shù)字化控制壓力機,包括基座、控制平臺、直線導(dǎo)軌、壓頭裝置和測試平臺,控制平臺包括PLC控制器、步進電機和滾珠絲桿,滾珠絲桿連接壓頭裝置,壓頭裝置沿直線導(dǎo)軌行走,所述壓頭裝置包括壓頭和壓力傳感器。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點是本實用新型實現(xiàn)的芯片測試操作方便快捷,力度控制精確,降低產(chǎn)片測試不良的產(chǎn)生。
文檔編號B30B15/26GK202826446SQ201220528099
公開日2013年3月27日 申請日期2012年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月17日
發(fā)明者肖春華, 馬全成, 徐曉松 申請人:蘇州工業(yè)園區(qū)世紀福科技有限公司