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感光性樹脂組合物及光刻膠的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:41950539

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本發(fā)明涉及光固化材料,具體而言,涉及一種感光性樹脂組合物及光刻膠。背景技術(shù)、聚酰亞胺(pi)、聚苯并惡唑(pbo)是一類綜合性能優(yōu)異的高性能聚合物,其因具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、良好的機(jī)械性能、化學(xué)、電學(xué)性能,可作為光刻膠之原材料應(yīng)用于芯片半導(dǎo)體封裝:緩沖涂層、鈍化層、層間絕緣層等。、光刻膠的穩(wěn)定性是指在不同的制造過程中光刻膠的物理和化學(xué)性能是否保持一致,這包括光刻膠的附著力、粘度、化學(xué)成分等參數(shù)。在芯片生產(chǎn)制造過程中,光刻膠的壽命必須與生產(chǎn)周期相一致,如果光刻膠的壽命過短,在生產(chǎn)過程中光刻膠的參...
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