本發(fā)明涉及光固化材料，具體而言，涉及一種感光性樹脂組合物及光刻膠。

背景技術(shù)：

1、聚酰亞胺(pi)、聚苯并惡唑(pbo)是一類綜合性能優(yōu)異的高性能聚合物，其因具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、良好的機(jī)械性能、化學(xué)、電學(xué)性能，可作為光刻膠之原材料應(yīng)用于芯片半導(dǎo)體封裝：緩沖涂層、鈍化層、層間絕緣層等。

2、光刻膠的穩(wěn)定性是指在不同的制造過程中光刻膠的物理和化學(xué)性能是否保持一致，這包括光刻膠的附著力、粘度、化學(xué)成分等參數(shù)。在芯片生產(chǎn)制造過程中，光刻膠的壽命必須與生產(chǎn)周期相一致，如果光刻膠的壽命過短，在生產(chǎn)過程中光刻膠的參數(shù)發(fā)生變化，則會(huì)影響芯片生產(chǎn)的質(zhì)量穩(wěn)定性，將會(huì)造成生產(chǎn)成本的大大增加。因此，提高光刻膠的開瓶?jī)?chǔ)存穩(wěn)定性，提高可持續(xù)承載的加工次數(shù)，對(duì)于保證芯片生產(chǎn)的質(zhì)量穩(wěn)定性至關(guān)重要。

3、pspi、pspbo光刻膠應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝，因樹脂本身與基材的附著力還不夠好，因此會(huì)在光刻膠組合物中添加一定量的硅烷偶聯(lián)劑，以提高膠膜與基材之間的粘附性。在光刻膠開瓶使用過程中，硅烷偶聯(lián)劑容易發(fā)生水解變質(zhì)，不僅使提高膠液與基材間附著力的效果大打折扣，而且光刻膠中易出現(xiàn)顆粒物，大大影響了生產(chǎn)過程中光刻膠的開瓶?jī)?chǔ)存穩(wěn)定性，如感光性聚酰亞胺樹脂組合物在23±2℃、50±10％rh環(huán)境中放置過程中，其曝光窗口縮窄，且硅面粘附性會(huì)隨之下降，穩(wěn)定性較差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的主要目的在于提供一種感光性樹脂組合物及光刻膠，以解決現(xiàn)有技術(shù)中光刻膠的開瓶?jī)?chǔ)存穩(wěn)定性較差的問題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種感光性樹脂組合物，以質(zhì)量百分比計(jì)，該感光性樹脂組合物包括：20～60wt％的樹脂、20～60wt％的有機(jī)溶劑、0.1～10wt％的硅烷偶聯(lián)劑以及0.002～10wt％的穩(wěn)定劑；其中，穩(wěn)定劑的化學(xué)式為r-oh，r選自取代或非取代的c1～c10的直鏈烷基、c3～c10的支鏈烷基、c6～c20的芳香基中的任意一種或多種。

3、進(jìn)一步地，當(dāng)上述r中有取代基時(shí)，取代基選自甲基、乙基、丙基、-cl中的任意一種或多種。

4、進(jìn)一步地，上述r選自取代或非取代的c1～c4的直鏈烷基、c3～c6的支鏈烷基、c6～c10的芳香基中的任意一種或多種；優(yōu)選r選自甲基、乙基、丙基、異丙基、異丁基、苯基中的任意一種或多種；進(jìn)一步地，優(yōu)選r為甲基和/或乙基。

5、進(jìn)一步地，上述穩(wěn)定劑的質(zhì)量為硅烷偶聯(lián)劑與穩(wěn)定劑的總質(zhì)量的0.1～50wt％。

6、進(jìn)一步地，上述硅烷偶聯(lián)劑的化學(xué)通式為r14-psi(or2)p，其中，p為1～3的任意數(shù)，r1選自乙烯基、氨基、酰胺基、羧基、環(huán)氧基、甲基丙烯酰氧基、巰基或脲丙基中的任意一種或多種；r2選自取代或非取代的c1～c10的直鏈烷基、c3～c10的支鏈烷基、c6～c20的芳香基中的任意一種或多種，當(dāng)r2中有取代基時(shí)，優(yōu)選取代基選自甲基、乙基、丙基、-cl中的任意一種或多種；優(yōu)選r2選自取代或非取代的c1～c4的直鏈烷基、c3～c6的支鏈烷基、c6～c10的芳香基中的任意一種或多種；優(yōu)選r2選自甲基、乙基、丙基、異丙基、異丁基、苯基中的任意一種或多種；進(jìn)一步地，優(yōu)選r2為甲基和/或乙基。

7、進(jìn)一步地，上述有機(jī)溶劑選自酰胺類溶劑、內(nèi)酯類溶劑、亞砜類溶劑、酮類溶劑、醚類溶劑、鹵代烴類溶劑、烴類溶劑、四甲基脲中的任意一種或多種；優(yōu)選有機(jī)溶劑選自n-甲基-2-吡咯烷酮、n,n-二甲基甲酰胺、n,n-二甲基乙酰胺、二甲基亞砜、四甲基脲、γ-丁內(nèi)酯中的任意一種或多種。

8、進(jìn)一步地，上述樹脂選自聚酰亞胺、聚酰亞胺前體、聚噁唑、聚噁唑前體中的任意一種或多種，優(yōu)選聚噁唑前體選自聚羥基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亞胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑、聚苯并噻唑中的任意一種或多種。

9、進(jìn)一步地，上述聚酰亞胺前體為聚酰胺酸和/或聚酰胺酸酯，聚酰亞胺前體的結(jié)構(gòu)通式如下：

10、

11、其中，m表示聚酰亞胺前體的鏈節(jié)單元數(shù)量，m為3～10000中的任意數(shù)，r1和r2各自獨(dú)立地為氫原子或1價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，優(yōu)選1價(jià)的有機(jī)基團(tuán)具有如下的結(jié)構(gòu)通式，

12、

13、其中，l1、l2和l3各自獨(dú)立地為氫原子或碳數(shù)為1～3的有機(jī)基團(tuán)，并且n為2～10的任意整數(shù)，x選自

14、中的任意一種或多種；y選自

15、

16、中的任意一種或多種。

17、進(jìn)一步地，上述感光性樹脂組合物還包括0.1～10wt％的光引發(fā)劑，優(yōu)選光引發(fā)劑為肟脂類光引發(fā)劑，優(yōu)選肟脂類光引發(fā)劑的結(jié)構(gòu)通式為：

18、

19、其中，n為0或1；r1與r4各自獨(dú)立地選自取代或非取代的c1～c10的烷基、取代或非取代的苯基、取代或非取代的咔唑基、取代或非取代的芴基、取代或非取代的二苯硫醚基中的任意一種；優(yōu)選r1與r4各自獨(dú)立地選自甲基、乙基、丙基、苯基、咔唑基、芴基、二苯硫醚基中的任意一種；

20、r2、r3、r5、r6、r7、r8各自獨(dú)立地選自氫原子、c1～c6的烷基、c3～c10的環(huán)烷基、c3～c8的環(huán)烷基取代的c1～c6的烷基、苯基中的任意一種；優(yōu)選r2、r3、r5、r6、r7、r8各自獨(dú)立地選自氫原子、甲基、乙基、丙基、環(huán)丙基、環(huán)丁基、苯基中的任意一種；

21、當(dāng)r1與r4有取代基時(shí)，優(yōu)選取代基選自c1～c5的直鏈烷基、c3～c5的支鏈烷基、c1～c5的烷氧基、c3～c10的環(huán)烷基、苯甲?；械娜我庖环N或多種；優(yōu)選取代基選自甲基、乙基、丙基、異丙基、異丁基、甲氧基、乙氧基、環(huán)丙基、環(huán)丁基、苯甲酰基中的任意一種或多種。

22、進(jìn)一步地，上述感光性樹脂組合物還包括0.1～10wt％的光交聯(lián)劑，優(yōu)選光交聯(lián)劑為甲基丙烯酸酯類化合物和/或丙烯酸酯類化合物，優(yōu)選光交聯(lián)劑選自烷基丙烯酸酯、含羥基烷基丙烯酸酯、聚乙二醇丙烯酸酯、聚丙二醇丙烯酸酯、聚四亞甲基二醇丙烯酸酯、三環(huán)癸醇丙烯酸酯、烷氧基化雙酚a丙烯酸酯、(烷氧基化)三羥甲基丙烷丙烯酸酯、烷氧基化丙三醇丙烯酸酯、異氰脲酸酯丙烯酸酯、季戊四醇丙烯酸酯、(烷氧基化)季戊四醇丙烯酸酯、(烷氧基化)雙三羥甲基丙烷丙烯酸酯、(烷氧基化)二聚季戊四醇丙烯酸酯、聚季戊四醇聚丙烯酸酯、烷基甲基丙烯酸酯、含羥基甲基丙烯酸酯、聚乙二醇甲基丙烯酸酯、聚丙二醇甲基丙烯酸酯、三環(huán)癸醇甲基丙烯酸酯、環(huán)氧化雙酚a甲基丙烯酸酯、(烷氧基化)三羥甲基丙烷甲基丙烯酸酯中的任意一種或多種。

23、進(jìn)一步地，上述聚苯并噁唑前體結(jié)構(gòu)通式如下：

24、

25、其中，q為3～10000中的任意數(shù)，x'為四價(jià)有機(jī)基團(tuán)，x'為二羥基二胺衍生物去掉羥基和胺基的殘基，優(yōu)選二羥基二胺衍生物選自3,3'-二氨基-4,4'-二羥基聯(lián)苯、4,4'-二氨基-3,3'-二羥基聯(lián)苯、2,2-雙(3-氨基-4-羥基苯基)丙烷、2,2-雙(4-氨基-3-羥基苯基)丙烷,雙(3-氨基-4-羥基苯基)砜、雙(4-氨基-3-羥基苯基)砜、2,2-雙(3-氨基-4-羥基苯基))-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷、2,2-雙(4-氨基-3-羥基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷、9,9-雙(3-氨基-4-羥基苯基)芴、9,9-雙(4-(3-氨基-4-羥基苯氧基)苯基)芴、1,3-雙(3-氨基-4-羥基苯基)金剛烷、1,3-雙(4-(3-氨基-4-羥基苯氧基)苯基)金剛烷、2,2-雙(3-氨基-4-羥基苯基)金剛烷、2,2-雙(4-(3-氨基-4-)羥基苯氧基)苯基)金剛烷中的任意一種或多種；y'為二價(jià)有機(jī)基團(tuán)，y'為二羧酸衍生物去掉羧基后的殘基，優(yōu)選二羧酸衍生物選自間苯二甲酸、對(duì)苯二甲酸、2,2-雙(4-羧基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷、4,4'-二羧基聯(lián)苯、4,4'-二羧基二苯醚、4,4'-二羧基四苯基硅烷、雙(4-羧基苯基)砜、2,2-雙(對(duì)羧基苯基)丙烷、5-叔丁基間苯二甲酸、5-溴間苯二甲酸、5-氟間苯二甲酸、5-氯間苯二甲酸、2,6-萘二甲酸、9,9-雙(4-羧基苯基)芴、9,9-雙(4-(3-羧基苯氧基)苯基)芴、9,9-雙(4-(4-羧基苯氧基)苯基)芴、1,3-雙(4-羧基苯基)金剛烷、1,3-雙(4-(3-羧基苯氧基)苯基)金剛烷、1,3-雙(4-(4-羧基苯氧基)苯基)金剛烷、2,2-雙(4-羧基苯基)金剛烷、2,2-雙(4-(3-羧基苯氧基)金剛烷、2,2-雙(4-(4-羧基苯氧基)金剛烷、1,2-環(huán)丁烷二甲酸、1,4-環(huán)己烷二甲酸、1,3-環(huán)戊烷二甲酸、草酸、丙二酸和脂肪族二羧酸中的任意一種或多種。

26、進(jìn)一步地，上述感光性樹脂組合物還包括1～40wt％的光活性化合物，光活性化合物的結(jié)構(gòu)中的任意一種或多種：其中，r9為h或中的“＊”表示其與光活性化合物中“-o-”的連接位置，x”與y”各自獨(dú)立地選自h、-ch3、-c2h5中的任意一種。

27、根據(jù)本技術(shù)的另一個(gè)方面，提供了一種光刻膠，由樹脂組合物混合得到，該樹脂組合物為上述的感光性樹脂組合物。

28、應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)方案，本技術(shù)在感光性樹脂組合物中添加適量的r-oh，提高了硅烷偶聯(lián)劑的常溫儲(chǔ)存穩(wěn)定性，從而保證了光刻膠穩(wěn)定性的同時(shí)，進(jìn)而有助于膠液與基材間粘附性的提高。