技術(shù)編號：41950613
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基板升降裝置和基板加工方法。背景技術(shù)、在制造半導(dǎo)體器件的工藝中，半導(dǎo)體基板經(jīng)歷包括沉積材料層的工藝、蝕刻所沉積的材料層的工藝、清潔工藝和干燥工藝的幾個(gè)工藝。這些工藝在工藝腔室中執(zhí)行，該工藝腔室為半導(dǎo)體制造設(shè)備。、腔室為具有密封的內(nèi)部反應(yīng)區(qū)的反應(yīng)容器、并安裝有卡盤以固定位于內(nèi)部的半導(dǎo)體基板。在這種情況下，根據(jù)基板的夾持方法，卡盤可以分為使用真空的真空卡盤或使用靜電力的靜電卡盤。、通過基板傳送設(shè)備將基板傳送到腔室中或傳送出腔室?；宓膫魉褪窃谔嵘逡耘c卡盤間隔開的狀態(tài)下進(jìn)行的。...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。