技術(shù)編號(hào)：41954375
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)、本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造裝置，并且特別地，涉及基板處理裝置和對(duì)包括半導(dǎo)體晶圓和液晶基板在內(nèi)的基板進(jìn)行處理的基板處理方法。、在制造半導(dǎo)體裝置和液晶裝置時(shí)，使用包括執(zhí)行過程加工比如在基板上形成器件等的裝置以及基板檢查裝置的多個(gè)制造裝置?；逄幚碓O(shè)備用于在這些制造裝置之間傳送半導(dǎo)體晶圓和液晶基板?；逄幚碓O(shè)備包括工業(yè)機(jī)器人，特別地，在安裝有半導(dǎo)體制造裝置的潔凈室中使用的工業(yè)機(jī)器人稱為潔凈型機(jī)器人。潔凈型機(jī)器人從其上安裝有多個(gè)基板的前開式晶圓傳送盒(front?opening?unified?...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。