技術(shù)編號：41954385
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種多軸的、特別是雙軸的微型掃描器系統(tǒng)以及一種用于控制這種微型掃描器系統(tǒng)的驅(qū)動器的方法、裝置和計算機程序(產(chǎn)品)。背景技術(shù)、微型掃描器，在技術(shù)語言中特別地還稱為“mems掃描器”、“mems鏡”或“微型鏡”，或者在英語中特別地被稱為“微型掃描器”或“微型掃描鏡”或“mems鏡”，屬于微型機電系統(tǒng)(mems)，或者更精確地說是用于電磁射束、特別是可見光的動態(tài)調(diào)制的微型鏡致動器類型的微型光-電-機系統(tǒng)(moems)。根據(jù)構(gòu)型，單個鏡的調(diào)制運動可以平移地或者圍繞至少一個軸旋轉(zhuǎn)地進行。第一種...
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