本發(fā)明涉及一種多軸的、特別是雙軸的微型掃描器系統(tǒng)以及一種用于控制這種微型掃描器系統(tǒng)的驅(qū)動器的方法、裝置和計算機程序(產(chǎn)品)。

背景技術：

1、微型掃描器，在技術語言中特別地還稱為“mems掃描器”、“mems鏡”或“微型鏡”，或者在英語中特別地被稱為“微型掃描器”或“微型掃描鏡”或“mems鏡”，屬于微型機電系統(tǒng)(mems)，或者更精確地說是用于電磁射束、特別是可見光的動態(tài)調(diào)制的微型鏡致動器類型的微型光-電-機系統(tǒng)(moems)。根據(jù)構型，單個鏡的調(diào)制運動可以平移地或者圍繞至少一個軸旋轉(zhuǎn)地進行。第一種情況實現(xiàn)了相移效應，第二種情況實現(xiàn)了入射電磁射束的偏轉(zhuǎn)(ablenkung)。另外還要考慮的是微型掃描器，其中單個鏡的調(diào)制運動至少也是旋轉(zhuǎn)進行的。相比于在鏡陣列中通過在單一mems構件上的多個鏡的協(xié)作來調(diào)制入射光，在微型掃描器中調(diào)制通常是通過各個mems構件(微型掃描器)的單個鏡產(chǎn)生的。

2、因此，微型掃描器可以特別用于偏轉(zhuǎn)電磁射束，以便借助于偏轉(zhuǎn)元件(“鏡”)對入射于其上的電磁射束關于其偏轉(zhuǎn)方向進行調(diào)制。這可以特別用于射束在觀察場或投影場中產(chǎn)生利薩茹投影。由此，可以例如完成成像感測任務或者實現(xiàn)顯示功能。此外，這種微型掃描器還可以用于以有利的方式照射材料，特別是對其進行處理。其它可能的應用包括在利用電磁射束來照明(beleuchtung)或照亮(ausleuchtung)某些開放的或封閉的空間或空間區(qū)域的領域，例如在前照燈應用的背景下。

3、在許多情況下，微型掃描器由鏡板(偏轉(zhuǎn)板)組成，其側(cè)向懸掛在可彈性拉伸的彈簧上。人們將單軸鏡與雙軸鏡和多軸鏡區(qū)分開來，單軸鏡應該優(yōu)選地僅圍繞唯一的軸可轉(zhuǎn)動地懸掛，而在雙軸鏡和多軸鏡中旋轉(zhuǎn)、特別是旋轉(zhuǎn)振蕩可以圍繞相應數(shù)量的不同的軸進行，特別是同時進行。

4、因此，用于偏轉(zhuǎn)電磁射束的微型掃描器系統(tǒng)可以特別地具有雙軸微型掃描器，即具有兩個不同的、不平行的、特別是彼此正交的振動軸的微型掃描器，或者是多個單一的、特別是兩個單軸微型掃描器的組合，這些單軸微型掃描器被布置為，使得入射射束可以依次通過微型掃描器系統(tǒng)的不同的單一微型掃描器偏轉(zhuǎn)，以便產(chǎn)生二維偏轉(zhuǎn)圖案、特別是利薩茹圖形。在具有兩個或三個單軸微型掃描器組合的微型掃描器系統(tǒng)中，它們的不平行的振動軸特別是可以成對地彼此正交。

5、無論是在成像傳感器的情況下，還是在顯示功能的情況下，多軸微型掃描器都是用于至少二維地(例如水平和豎直地)偏轉(zhuǎn)電磁射束，例如激光束或者來自任意其它電磁射束源的成形射束，從而掃描或照亮處于觀察場內(nèi)部的對象表面。這可以特別是這樣進行，即，使掃描激光束掃過投影場中投影面上的矩形區(qū)域。因此，在這些應用中是使用具有至少雙軸微型掃描器或具有多個、特別是兩個在光路中依次連接的單軸微型掃描器的微型掃描器系統(tǒng)。待偏轉(zhuǎn)射束的波長范圍原則上可以從短波uv射束、經(jīng)由vis范圍、nir范圍、ir范圍、fir范圍直至長波陸地和雷達射束的整個光譜中選擇。

6、特別是在所謂的利薩茹微型掃描器或利薩茹微型掃描器系統(tǒng)中，兩個不平行的、特別是彼此正交的振動軸同時特別是以諧振方式運行，以便據(jù)此使偏轉(zhuǎn)射束產(chǎn)生利薩茹圖形形式的軌跡。通過這種方式，可以在兩個軸上實現(xiàn)較大的振幅。

7、由專利文獻ep2514211b1已知一種用于將利薩茹圖形投影到觀察場的投影系統(tǒng)的偏轉(zhuǎn)裝置，其被設計為使光束圍繞至少一個第一和第二偏轉(zhuǎn)軸偏轉(zhuǎn)，以產(chǎn)生利薩茹圖形。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于進一步改進利薩茹微型掃描器的運行，特別涉及到在投影顯示領域的應用，尤其是確保能夠?qū)崿F(xiàn)較高的圖像質(zhì)量以照亮觀察場。

2、本發(fā)明的目的通過獨立權利要求的教導來實現(xiàn)。本發(fā)明的各種實施方式和擴展方案由從屬權利要求給出。

3、本發(fā)明的第一方面涉及一種用于控制用于多軸的、特別是雙軸的微型掃描器系統(tǒng)的驅(qū)動器的方法。在該方法的框架下，微型掃描器系統(tǒng)的驅(qū)動裝置被操控為(即，為此生成合適的控制信號并輸出)，使得微型掃描器系統(tǒng)借助于具有第一驅(qū)動頻率的激勵來驅(qū)動微型掃描器系統(tǒng)的偏轉(zhuǎn)元件圍繞第一振動軸的第一旋轉(zhuǎn)振蕩驅(qū)動，并且與該第一振蕩同時地借助于具有第二驅(qū)動頻率的激勵來驅(qū)動微型掃描器系統(tǒng)的偏轉(zhuǎn)元件圍繞與第一振動軸不平行地、特別正交地延伸的第二振動軸的第二旋轉(zhuǎn)振蕩，其中這些驅(qū)動頻率分別隨時間變化。在此，驅(qū)動頻率的隨時間變化這樣進行：即，同時反作用于(entgegengewirkt)兩個驅(qū)動頻率之間頻率比的變化。亦即，當驅(qū)動頻率本身改變時，頻率比的變化受到反作用。

4、本文中使用的術語“偏轉(zhuǎn)元件”(及其變型)特別是被理解為具有足夠平滑的反射面(鏡面)的物體，使得根據(jù)反射定律在鏡面上反射的電磁射束(例如可見光)能夠保持其平行性并由此產(chǎn)生圖像。為此，鏡面的粗糙度必須小于電磁射束波長的大約一半。偏轉(zhuǎn)元件可以特別是被構造為具有至少一個鏡面的鏡板或者具有這樣的鏡板。特別地，鏡面本身可以由與偏轉(zhuǎn)元件的其它主體不同的材料構成，例如由金屬構成，特別是由(例如通過化學氣相沉積(cvd)或濺射)沉積的金屬構成。在上述基于本技術方案的微型掃描器系統(tǒng)中，第一振蕩和第二振蕩或者涉及微型掃描器系統(tǒng)中的同一個、此時為多軸的偏轉(zhuǎn)元件，或者涉及布置在同一光路中的不同偏轉(zhuǎn)元件，特別是微型掃描器系統(tǒng)的單軸微型掃描器的偏轉(zhuǎn)元件。

5、本文中使用的術語“利薩茹投影”(及其變型)特別是被理解為借助于電磁射束對觀察場的掃描(scanning)，該掃描通過將射束偏轉(zhuǎn)到觀察場中的偏轉(zhuǎn)裝置的、特別是至少雙軸微型掃描器系統(tǒng)的至少兩個彼此不平行、特別是正交的正弦形振動(振蕩)引起。

6、本文中使用的術語“軸”或同義的“振動軸”(及其變型)應被理解為特別是振蕩的旋轉(zhuǎn)運動的轉(zhuǎn)動軸線(旋轉(zhuǎn)軸線)。因此，其是定義或描述旋轉(zhuǎn)或轉(zhuǎn)動的直線。

7、本文中使用的術語“驅(qū)動裝置”(及其變型)特別是被理解為具有一個或多個致動器的裝置，該制動器用于驅(qū)動微型掃描器系統(tǒng)的一個或多個偏轉(zhuǎn)元件的振動運動。在具有多個微型掃描器的微型掃描器系統(tǒng)的情況下，驅(qū)動裝置也可以特別是被理解為具有一個或多個用于驅(qū)動微型掃描器各自的偏轉(zhuǎn)單元的致動器的裝置。

8、在本文中可能使用的術語“包括”、“包含”、“涉及”、“具有”、“帶有”、“有”或其任何其它變型旨在涵蓋非排他性的包括。例如，包括或具有一系列元件的方法或裝置不一定限于這些元件，而是可以包括未明確列出或在這種方法或這種裝置中固有的其它元件。

9、此外，除非有明確相反的規(guī)定，否則“或”是指包容性的“或者”，而不是非包容性的“或者”。例如，滿足條件a或b的情況之一是：a為真(或存在)和b為假(或不存在)；a為假(或不存在)和b為真(或存在)；以及a和b兩者均為真(或存在)。

10、本文中使用的術語“一”或“一個”被定義為“一個/一個或多個”。術語“另一”和“另一個”及其任何其它變型應被理解為“至少另一個”。

11、本文中使用的術語“多個”應被理解為“兩個或更多個”。

12、本文中可能使用的術語“被配置”或者“被設計”用于滿足一定的功能(及其相應的變型)應被理解為，相關裝置或其組件已經(jīng)被設計或調(diào)整能夠執(zhí)行該功能，或者其至少能夠被調(diào)整、即能夠被配置為按照相應的調(diào)整執(zhí)行該功能。在此，該配置可以例如通過相應地調(diào)整工藝流程的參數(shù)或者由用于激活或停用功能或設定的開關等來實現(xiàn)。特別地，裝置可以具有多個預定的配置或運行模式，從而可以通過選擇這些配置或運行模式中的一個來進行配置。

13、當多軸微型掃描器系統(tǒng)用于基于利薩茹圖形的圖像投影時，可實現(xiàn)的圖像質(zhì)量在此主要取決于兩個振蕩頻率的比率。該比率的微小變化在此也會導致投影圖像中出現(xiàn)明顯的干擾，例如圖像閃爍或覆蓋不佳或線密度不足，特別是會導致圖像缺口。

14、如果兩個振蕩的驅(qū)動頻率是被獨立地調(diào)整(verstimmt)(例如為了補償溫度波動或其它干擾因素)，則頻率比必然發(fā)生波動。這種情況特別是會出現(xiàn)在調(diào)節(jié)(closed-loop，閉環(huán))運行中。

15、根據(jù)第一方面的方法通過以下方式解決了這一問題：控制各種振蕩，使得其驅(qū)動頻率的隨時間的變化(調(diào)整)能夠同時反作用于兩個驅(qū)動頻率之間頻率比的變化。亦即，即使驅(qū)動頻率本身被調(diào)整，頻率比也盡可能小地改變。

16、因此，驅(qū)動頻率只能相互依賴地進行調(diào)整，以使頻率比在此盡可能小地變化，即保持穩(wěn)定。由此，在振蕩的起振狀態(tài)下，基本上始終相同的通過頻率比確定的利薩茹圖形將作為偏轉(zhuǎn)射束的軌跡被駛過。如果驅(qū)動頻率現(xiàn)在升高或降低(例如為了補償溫度波動以及由此導致的微型掃描器系統(tǒng)的一個或多個偏轉(zhuǎn)元件的諧振頻率的變化)，則利薩茹圖形的形狀的至少基本保持不變。只有圖形的穿經(jīng)速度會略有變化。由此，即使在較長的時間段內(nèi)也能夠?qū)崿F(xiàn)并保持均勻的、特別是無閃爍且穩(wěn)定的、高質(zhì)量的投影，即高圖像質(zhì)量。

17、下面將首先描述該方法的各種不同的示例性實施方式，只要沒有明確排除或者技術上不可行，否則這些實施方式可以任意地相互組合，并且可以與所描述的本發(fā)明的其它方面組合。

18、在一些實施方式中，頻率比是一個能夠通過至少一種控制參數(shù)化進行調(diào)節(jié)的參量，并且該方法還包括將該參量調(diào)節(jié)到目標值。通過這種方式，可以根據(jù)該調(diào)節(jié)從多種不同的可能性中選擇所期望的利薩茹圖形。這使得特別是能夠根據(jù)應用或場景進行優(yōu)化選擇。

19、特別地，根據(jù)其中一些實施方式，可以在驅(qū)動裝置驅(qū)動振蕩期間將該參量調(diào)節(jié)到目標值。由此，即使在微型掃描器運行期間，也可以實現(xiàn)利薩茹圖形的動態(tài)選擇，即圖形的動態(tài)變換(dynamischer?wechsel)。這特別是可以根據(jù)預定模式(schema)自動進行，該模式定義了不同調(diào)整的時間順序。

20、在一些實施方式中，至少在兩個振蕩的起振狀態(tài)下，對兩個驅(qū)動頻率之間頻率比的變化的反作用通過以下方式實現(xiàn)：頻率比在此保持在其在驅(qū)動頻率開始隨時間變化時的初始值的±1％范圍內(nèi)，特別是在±0.01％范圍內(nèi)，優(yōu)選是在±0.001％范圍內(nèi)，尤其是在通過相應調(diào)節(jié)的控制的情況下。這樣可以實現(xiàn)所產(chǎn)生的利薩茹圖形的高穩(wěn)定性，從而為觀察場的照明提供特別高的圖像質(zhì)量。

21、本文中使用的術語“起振狀態(tài)”特別是指振動系統(tǒng)(在此為微型掃描器系統(tǒng)或其至少一個偏轉(zhuǎn)元件)在外部激勵之后或者在外部激勵繼續(xù)存在的情況下的狀態(tài)，其中，(i)振動系統(tǒng)(特別分別涉及至少一個偏轉(zhuǎn)元件的相應振動軸的角位置)，(ii)在激勵繼續(xù)的情況下還有激勵信號，二者的狀態(tài)變量幅度、頻率和相位至少近似恒定。

22、在一些實施方式中，操控驅(qū)動裝置包括對振蕩的調(diào)節(jié)，其中，驅(qū)動頻率的隨時間變化能夠同時根據(jù)該調(diào)節(jié)而反作用于兩個驅(qū)動頻率之間頻率比的變化。因此，特別是即使在沒有調(diào)節(jié)時改變振動的狀態(tài)參數(shù)并因此改變了所產(chǎn)生的利薩茹圖形，也能夠?qū)崿F(xiàn)所產(chǎn)生的利薩茹圖形的高穩(wěn)定性，從而為照亮觀察場提供特別高的圖像質(zhì)量。例如，微型掃描器系統(tǒng)的一個或多個偏轉(zhuǎn)元件的諧振頻率通常特別是與溫度有關，使得通過該調(diào)節(jié)能夠調(diào)整振動軸的驅(qū)動頻率，以保持驅(qū)動頻率之間預定的頻率比。

23、在這些實施方式的其中一些中，針對該調(diào)節(jié)使用了調(diào)節(jié)參量該調(diào)節(jié)參量(i)既依賴于至少一個與第一振動軸的諧振頻率有依賴關系的物理參量的第一傳感技術檢測值，(ii)又取決于至少一個與第二振動軸的諧振頻率有依賴關系的第二物理參量的第二傳感技術檢測值。因此，在此針對調(diào)節(jié)考慮了一個涉及兩個振動軸的調(diào)節(jié)參量，由此可以特別有效地并且高動態(tài)特性地或低延遲地保持驅(qū)動頻率的頻率比。

24、本文中使用的術語兩個參量(及其變型)之間的“依賴關系”應該被理解為這兩個參量中的至少一個取決于另一個參量。這種依賴性可以特別在數(shù)學函數(shù)意義下表示，或者更一般地在關系或相關性意義下表示。至關重要的是，根據(jù)至少一個參數(shù)的測量值可以推斷出與其相關的諧振頻率。這種依賴性可以是單方面的或者相互的。

25、在一些實施方式中，物理參量表征或取決于微型掃描器系統(tǒng)(特別是其一部分或組件)的以下狀態(tài)之一或至少兩種這樣的狀態(tài)或狀態(tài)變化的組合：(i)所測量的至少一個振蕩的諧振頻率的偏移；(ii)溫度；(iii)機械應力或應變；(iv)偏轉(zhuǎn)元件的振幅；(v)在至少一個振蕩中出現(xiàn)的相位不穩(wěn)定性；(vi)超過用于至少一個振蕩的相位的相位調(diào)節(jié)回路的相應控制參量(vii)用于操控驅(qū)動裝置的驅(qū)動信號與表示所測得的偏轉(zhuǎn)元件的偏轉(zhuǎn)的測量信號之間的相位差；(viii)偏轉(zhuǎn)元件通過吸收(absorption)所接收的入射電磁射束功率的變化；(ix)微型掃描器系統(tǒng)中的參考振蕩器的振動狀態(tài)或其變化，其中參考振蕩器的振動狀態(tài)或其變化與至少一個偏轉(zhuǎn)元件的振動狀態(tài)或其變化相關，特別是處于特定的依賴關系中。因此，例如在經(jīng)過先前的校準之后，可以由所檢測到的參考振蕩器的振動狀態(tài)或其變化推斷出至少一個偏轉(zhuǎn)元件的振動狀態(tài)或其變化。特別地，可以將各個振蕩的幅度、頻率和/或相位或者這些參量中的兩個或更多個的組合視為振動狀態(tài)。

26、所有這些狀態(tài)或狀態(tài)變化的共同點在于，一方面它們能夠被良好地傳感技術檢測，另一方面它們與微型掃描器系統(tǒng)的當前諧振頻率呈依賴關系，并因此適合作為輸入?yún)⒘坑糜谡{(diào)節(jié)一個或多個驅(qū)動頻率。

27、在一些實施方式中，調(diào)節(jié)參量根據(jù)作為(用于平均值計算的)輸入變量的第一物理參量和第二物理參量的平均值計算來確定。這一方面特別易于實現(xiàn)，另一方面提供了良好的并且是關于兩個振動軸對稱的調(diào)節(jié)質(zhì)量。

28、在一些實施方式中，調(diào)節(jié)參量根據(jù)作為(用于不利點調(diào)節(jié)(schlechtpunktregelung)的)輸入?yún)⒘康牡谝晃锢韰⒘亢偷诙锢韰⒘康牟焕c調(diào)節(jié)來確定。本文中使用的術語“不利點調(diào)節(jié)”特別是被理解為將兩個物理參量中對實現(xiàn)調(diào)節(jié)的良好引導行為更關鍵的物理參量作作引導參量特別地，可以根據(jù)需要對更有可能偏離諧振的軸的相位進行調(diào)節(jié)。

29、在一些實施方式中，該方法包括：(i)第一方法模式，其中，操控驅(qū)動裝置，使得第一振蕩和第二振蕩被彼此獨立地調(diào)節(jié)、特別是相位調(diào)節(jié)；以及(ii)第二方法模式，其中，如前所述地將驅(qū)動裝置操控為，使得在調(diào)節(jié)過程中驅(qū)動頻率的隨時間變化同時反作用于兩個驅(qū)動頻率之間的頻率比的變化。在本方法的框架下，會在這兩種方法模式之間切換。切換可以從第一方法模式到第二方法模式，反之亦然。特別地，也可以考慮進行多次切換。

30、在一些實施方式中，為了使振蕩從靜止狀態(tài)起振，或者當檢測到至少一個振蕩出現(xiàn)干擾時，使用第一方法模式；當后續(xù)檢測到兩個振蕩處于各自的起振狀態(tài)時，從第一方法模式切換到第二方法模式。通過這種方式，起振可以快速到達起振狀態(tài)，并且特別是通過將每個振蕩的驅(qū)動頻率至少近似地接近對應振蕩的諧振頻率。之后，通過在諧振頻率變化時相應地調(diào)整驅(qū)動頻率，但是頻率比在此保持不變，來維持通過當前諧振頻率的頻率比所調(diào)整的利薩茹圖形。對起振狀態(tài)的檢測可以特別地根據(jù)對至少一個振蕩的相應振幅的測量來進行，尤其是當幅度根據(jù)預定義的穩(wěn)定性標準(例如停留在預定義的波動范圍內(nèi))被識別為穩(wěn)定時，就檢測到起振狀態(tài)。

31、在一些實施方式中，微型掃描器系統(tǒng)的偏轉(zhuǎn)元件關于其至少一個振動軸形成非線性振蕩器(nicht-linearen?oszillator)，特別是duffing振蕩器或者可以用duffing振蕩器很好地近似描述的振蕩器(例如與最佳近似的理想duffing振蕩器的振幅偏差最大5％)。在此，驅(qū)動頻率的隨時間變化能夠同時反作用于兩個驅(qū)動頻率之間的頻率比的變化，使得頻率比保持在一個特定的頻率比范圍內(nèi)，其中，相應驅(qū)動頻率的頻率范圍低于對應的非線性振蕩器在驅(qū)動頻率增加時達到最大幅度的頻率。該頻率范圍的下限可以特別是對應于非線性振蕩器的諧振頻率(在自由振動的情況下)。由此可以利用非線性振蕩器的優(yōu)點，特別是在面對尤其是由于溫度變化引起的驅(qū)動頻率或諧振頻率的偏移或波動時有較高的振幅和相位穩(wěn)定性的優(yōu)點，同時避免了由滯后引起的不期望的幅度和/或相位躍變，例如在顯示滯后的非線性振蕩器中可能會在某些躍變點出現(xiàn)的那樣。

32、本發(fā)明的第二方面涉及一種用于控制對多軸微型掃描器系統(tǒng)的驅(qū)動的控制裝置，該控制裝置被配置為執(zhí)行根據(jù)本發(fā)明的第一方面的、特別是根據(jù)這里描述的一種或多種實施方式的方法。

33、本文中使用的術語“控制裝置”特別是指一種裝置，尤其是所謂的“嵌入式系統(tǒng)”(embedded?system)，其適用于集成到微型掃描器系統(tǒng)中，并且被設計為，通過相應的信號在控制或調(diào)節(jié)意義下操控對多軸微型掃描器系統(tǒng)的驅(qū)動，特別是驅(qū)動裝置。特別地，該控制裝置還可以具有信號或數(shù)據(jù)輸入端，以便能夠接收例如來自傳感器或微掃描系統(tǒng)的其它組件的傳感器信號或數(shù)據(jù)。

34、在該控制裝置的一些實施方式中，該控制裝置具有兩個振蕩共用的相位調(diào)節(jié)回路，用于根據(jù)所述第一方面的方法使用調(diào)節(jié)來調(diào)節(jié)兩個振蕩的相位。通過這種方式，可以特別有效地實現(xiàn)該方法，特別是作為硬件技術方案通過電路、特別是集成電路來實現(xiàn)。通過這種基于硬件的實現(xiàn)方式，特別還可以實現(xiàn)較高的性能。

35、在一些實施方式中，該控制裝置還具有：(i)各個獨立的相位調(diào)節(jié)回路，用于分別獨立地調(diào)節(jié)兩個振蕩；以及(ii)用于在方法模式之間進行切換的開關裝置。在此，控制裝置被配置為，根據(jù)第一方面的方法調(diào)節(jié)兩個振蕩的相位(只要該方法具有上述兩種方法模式)，并且在第一方法模式中針對每個振蕩使用各自配屬的獨立相位調(diào)節(jié)回路，以及在第二方法模式中使用共用相位調(diào)節(jié)回路來調(diào)節(jié)兩個振蕩的相位。

36、本發(fā)明的第三方面涉及一種微型掃描器系統(tǒng)，其具有(i)至少一個可以圍繞第一振動軸執(zhí)行第一旋轉(zhuǎn)振蕩的偏轉(zhuǎn)元件，和至少一個可以能夠與第一振蕩同時地圍繞與第一振動軸不平行的、特別是正交的第二振動軸執(zhí)行第二旋轉(zhuǎn)振蕩的偏轉(zhuǎn)元件(并且特別可以是與執(zhí)行第一振蕩的偏轉(zhuǎn)元件相同的偏轉(zhuǎn)元件)，以便通過將在同時振蕩期間入射到微型掃描器系統(tǒng)上的電磁射束反射偏轉(zhuǎn)在觀察場中產(chǎn)生利薩茹投影；(ii)驅(qū)動裝置，用于驅(qū)動所述的同時振蕩；以及(iii)根據(jù)第二方面的控制裝置，用于操控驅(qū)動裝置。

37、在一些實施方式中，微型掃描器的偏轉(zhuǎn)元件關于其至少一個振動軸形成非線性振蕩器，特別是duffing振蕩器或者可以用duffing振蕩器很好地近似描述的振蕩器。

38、特別地，控制裝置可以在此被配置為，操控驅(qū)動裝置至少驅(qū)動非線性振蕩器，使得驅(qū)動頻率的隨時間變化能夠?qū)㈩l率比保持在一個特定的頻率比范圍內(nèi)，其中，相應驅(qū)動頻率的頻率范圍低于相應的非線性振蕩器在驅(qū)動頻率增加時達到最大幅度的頻率。該頻率范圍的下限可以特別是對應于非線性振蕩器的諧振頻率(在自由振動的情況下)。由此可以利用非線性振蕩器的優(yōu)點，特別是在面對尤其是由于溫度變化引起的驅(qū)動頻率或諧振頻率的偏移或波動時有較高的振幅和相位穩(wěn)定性的優(yōu)點，同時避免了由滯后引起的不期望的幅度和/或相位躍變，例如在顯示滯后的非線性振蕩器中可能會在某些躍變點出現(xiàn)的那樣。

39、本發(fā)明的第四方面涉及一種計算機程序或計算機程序產(chǎn)品，其具有指令，這些指令在根據(jù)第二方面的控制裝置的至少一個處理器上運行時使該控制裝置執(zhí)行根據(jù)第一方面的用于控制多軸微型掃描器系統(tǒng)的驅(qū)動的方法。

40、計算機程序可以特別地存儲在非易失性數(shù)據(jù)載體上。優(yōu)選地，這種非易失性數(shù)據(jù)載體是光學數(shù)據(jù)載體或閃存模塊形式的數(shù)據(jù)載體。如果計算機程序本身應該獨立于運行一個或多個程序的處理器平臺進行處理，則這可能是有利的。在另一種實施方式中，計算機程序可以作為文件存儲在數(shù)據(jù)處理單元、特別是服務器上，并能夠通過數(shù)據(jù)連接(例如因特網(wǎng)或?qū)Ｓ脭?shù)據(jù)連接，例如專用網(wǎng)絡或局域網(wǎng))下載。此外，計算機程序可以具有多個協(xié)同工作的獨立程序模塊。這些模塊可以特別地被配置為或者在任何情況下都能夠被使用為，在不同設備(計算機或處理器單元)上以分布式計算(英語：“distributed?computing”)方式運行，這些設備在地理上彼此分離并通過數(shù)據(jù)網(wǎng)絡相互連接。

41、微型掃描器系統(tǒng)，特別是控制裝置，可以相應地具有程序存儲器，計算機程序存儲在該程序存儲器中。替代地，微型掃描器系統(tǒng)或控制裝置也可以被設計為通過通信連接訪問例如在一個或多個服務器或其它數(shù)據(jù)處理單元上可用的外部計算機程序，特別是與該外部計算機程序交換數(shù)據(jù)，這些數(shù)據(jù)在該方法或計算機程序運行期間被使用或者代表計算機程序的輸出。

42、關于本發(fā)明第一方面所闡述的特征和優(yōu)點也相應地適用于本發(fā)明的其它方面。