技術(shù)編號(hào)：41954421
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)，特別涉及具備保持多個(gè)基板的基板保持機(jī)械手的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)。背景技術(shù)、以往，公知一種保持多個(gè)基板的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)。例如，在日本專利第號(hào)公報(bào)中公開了一種具備搬運(yùn)基板的移送機(jī)器人的基板處理裝置。在移送機(jī)器人的臂配置有保持基板的末端執(zhí)行器。上述日本專利第號(hào)公報(bào)的基板處理裝置具有相對于作為基板的搬運(yùn)目的地的基板保持位置以規(guī)定的位置關(guān)系配置的參照面。基板處理裝置使被末端執(zhí)行器保持的狀態(tài)下的基板與該參照面接觸，由此使末端執(zhí)行器上的基板移動(dòng)而改...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。