本公開(kāi)涉及基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)，特別涉及具備保持多個(gè)基板的基板保持機(jī)械手的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、以往，公知一種保持多個(gè)基板的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)。例如，在日本專(zhuān)利第6833685號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了一種具備搬運(yùn)基板的移送機(jī)器人的基板處理裝置。在移送機(jī)器人的臂配置有保持基板的末端執(zhí)行器。上述日本專(zhuān)利第6833685號(hào)公報(bào)的基板處理裝置具有相對(duì)于作為基板的搬運(yùn)目的地的基板保持位置以規(guī)定的位置關(guān)系配置的參照面?；逄幚硌b置使被末端執(zhí)行器保持的狀態(tài)下的基板與該參照面接觸，由此使末端執(zhí)行器上的基板移動(dòng)而改變末端執(zhí)行器與基板之間的偏心。然后，通過(guò)測(cè)定末端執(zhí)行器與基板之間的偏心的變化，從而基于測(cè)定出的偏心的變化、和基板保持位置與參照面的位置關(guān)系，對(duì)移送機(jī)器人進(jìn)行基板保持位置的示教。另外，在上述日本專(zhuān)利第6833685號(hào)公報(bào)的基板處理裝置中，公開(kāi)了通過(guò)使末端執(zhí)行器上的基板與規(guī)定的接觸面或銷(xiāo)等接觸來(lái)將基板錯(cuò)開(kāi)配置在相對(duì)于末端執(zhí)行器的規(guī)定的位置的例子。另外，在上述日本專(zhuān)利第6833685號(hào)公報(bào)中，公開(kāi)了在移送機(jī)器人中通過(guò)將兩個(gè)基板以相鄰的方式排列保持的末端執(zhí)行器配置在一個(gè)臂來(lái)集中搬運(yùn)兩個(gè)基板的例子。

2、專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本專(zhuān)利第6833685號(hào)公報(bào)

3、這里，雖然在上述日本專(zhuān)利第6833685號(hào)公報(bào)中沒(méi)有明確記載，但在如上述日本專(zhuān)利第6833685號(hào)公報(bào)所記載的基板處理裝置的移送機(jī)器人那樣搬運(yùn)基板的情況下，由作為末端執(zhí)行器的機(jī)械手保持的基板的位置可能在機(jī)械手上偏移。例如，在保持基板以對(duì)其進(jìn)行搬運(yùn)時(shí)，基板可能在相對(duì)于機(jī)械手從規(guī)定的位置偏移的狀態(tài)下被保持。特別是在集中搬運(yùn)多個(gè)基板的情況下，在多個(gè)基板的每一個(gè)，機(jī)械手上的位置偏移的偏移量可能彼此不同。在該情況下，在如上述日本專(zhuān)利第6833685號(hào)公報(bào)那樣使基板與規(guī)定的接觸面或銷(xiāo)等基板以外的部件接觸而使機(jī)械手上的多個(gè)基板分別移動(dòng)的情況下，可以認(rèn)為因接觸而導(dǎo)致在基板產(chǎn)生破裂或變形等異常，或者由于因接觸產(chǎn)生的異物而導(dǎo)致在基板的處理中產(chǎn)生異常。另外，在抑制基板以外的部件與基板的接觸的情況下，在基板的配置在機(jī)械手上偏移的狀態(tài)下進(jìn)行基板的搬運(yùn)，因此難以將多個(gè)基板分別高精度地搬運(yùn)到搬運(yùn)目的地的載置部。因此，存在難以在抑制與基板以外的部件的接觸的同時(shí)高精度地搬運(yùn)多個(gè)基板的問(wèn)題點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本公開(kāi)是為了解決上述那樣的課題而完成的，本公開(kāi)的目的之一在于提供一種能夠在抑制與基板以外的部件的接觸的同時(shí)高精度地搬運(yùn)多個(gè)基板的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)。

2、本公開(kāi)的一個(gè)方面所涉及的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)具備：基板保持機(jī)械手，具有保持多個(gè)基板的每一個(gè)的多個(gè)保持部；機(jī)器人臂，安裝有基板保持機(jī)械手；以及控制部，基于對(duì)由基板保持機(jī)械手保持的多個(gè)基板分別進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)部的檢測(cè)結(jié)果，取得多個(gè)基板各自的相對(duì)于規(guī)定的基準(zhǔn)位置的配置的偏移量，并且基于各自的所取得的偏移量，控制搬運(yùn)多個(gè)基板的上述機(jī)器人臂的搬運(yùn)動(dòng)作，以便進(jìn)行將多個(gè)基板分別獨(dú)立地搬入到載置部、與從載置部分別搬出中的至少一個(gè)。

3、本公開(kāi)的一個(gè)方面所涉及的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)如上述那樣具備控制部，該控制部基于對(duì)由基板保持機(jī)械手保持的多個(gè)基板分別進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)部的檢測(cè)結(jié)果，取得多個(gè)基板各自的相對(duì)于規(guī)定的基準(zhǔn)位置的配置的偏移量，并且基于各自的所取得的偏移量，控制搬運(yùn)多個(gè)基板的機(jī)器人臂的搬運(yùn)動(dòng)作，以便進(jìn)行將多個(gè)基板分別獨(dú)立地搬入到載置部、與從載置部獨(dú)立地搬出中的至少一個(gè)。由此，即使當(dāng)在相對(duì)于規(guī)定的基準(zhǔn)位置偏移的狀態(tài)下配置了基板的情況下，通過(guò)控制部基于偏移量來(lái)控制機(jī)器人臂的搬運(yùn)動(dòng)作，也能夠不改變多個(gè)基板的各自的相對(duì)于基板保持機(jī)械手的相對(duì)配置，而以修正配置的偏移的方式對(duì)多個(gè)基板分別進(jìn)行搬運(yùn)。其結(jié)果是，能夠在抑制與基板以外的部件的接觸的同時(shí)高精度地搬運(yùn)多個(gè)基板。

4、根據(jù)本公開(kāi)，能夠在抑制與基板以外的部件的接觸的同時(shí)高精度地搬運(yùn)多個(gè)基板。

技術(shù)特征：

1.一種基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)，其特征在于，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)，其特征在于，

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
該基板搬運(yùn)機(jī)器人系統(tǒng)(100)具備保持多個(gè)基板的每一個(gè)的基板保持機(jī)械手(23)、機(jī)器人臂(21)、以及控制部(30)?？刂撇?30)基于檢測(cè)部(60)的檢測(cè)結(jié)果，取得多個(gè)基板的各自的相對(duì)于規(guī)定的基準(zhǔn)位置的配置的偏移量，并且基于各自的所取得的偏移量，控制搬運(yùn)多個(gè)基板的機(jī)器人臂(21)的搬運(yùn)動(dòng)作，以便進(jìn)行將多個(gè)基板分別獨(dú)立地搬入到載置部、與從載置部獨(dú)立地搬出中的至少一個(gè)。

技術(shù)研發(fā)人員：今西泰希,北野真也,中矢敦史
受保護(hù)的技術(shù)使用者：川崎重工業(yè)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15