技術(shù)編號：41954626
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體地，涉及一種用于半導(dǎo)體熱處理設(shè)備的回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)及半導(dǎo)體熱處理設(shè)備。背景技術(shù)、半導(dǎo)體熱處理設(shè)備是集成電路制造的核心裝備，適用于集成電路制造過程中各種氧化、退火和薄膜生長等工藝。其中，立式反應(yīng)爐是一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備。、如圖所示，立式反應(yīng)爐包括：腔室本體、工藝門組件、回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和晶舟。腔室本體扣設(shè)在工藝門組件上并圍成工藝空間，回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在工藝門組件上，用于放置晶舟。在工藝加工過程中，將晶舟放置在回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上，可以通過回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動晶舟在工藝空間內(nèi)轉(zhuǎn)動，從而使晶舟上...
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