技術(shù)編號(hào):41959191
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明有關(guān)于一種降低氮氧化物的有機(jī)尾氣處理系統(tǒng)及其方法,尤指一種能提升揮發(fā)性有機(jī)尾氣處理的效率,并具有降低氮氧化物排放的效能,而適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)或化學(xué)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理系統(tǒng)或類似設(shè)備。背景技術(shù)、目前在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)或光電產(chǎn)業(yè)的制造生產(chǎn)過(guò)程中都會(huì)產(chǎn)生具有揮發(fā)性有機(jī)氣體(vocs),其中該揮發(fā)性有機(jī)氣體(vocs)中含有氮氧化物(nox)、硫氧化物(sox)等化合物,而氮氧化物(nox)、硫氧化物(sox)等化合物是造成光化學(xué)煙霧、酸雨及人類呼吸道疾病的重要原因之一。、近年來(lái)由于...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。