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降低氮氧化物的有機(jī)尾氣處理系統(tǒng)及其方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):41959191

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本發(fā)明有關(guān)于一種降低氮氧化物的有機(jī)尾氣處理系統(tǒng)及其方法,尤指一種能提升揮發(fā)性有機(jī)尾氣處理的效率,并具有降低氮氧化物排放的效能,而適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)或化學(xué)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的揮發(fā)性有機(jī)排氣處理系統(tǒng)或類似設(shè)備。背景技術(shù)、目前在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)或光電產(chǎn)業(yè)的制造生產(chǎn)過(guò)程中都會(huì)產(chǎn)生具有揮發(fā)性有機(jī)氣體(vocs),其中該揮發(fā)性有機(jī)氣體(vocs)中含有氮氧化物(nox)、硫氧化物(sox)等化合物,而氮氧化物(nox)、硫氧化物(sox)等化合物是造成光化學(xué)煙霧、酸雨及人類呼吸道疾病的重要原因之一。、近年來(lái)由于...
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