本發(fā)明有關(guān)于一種降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)及其方法，尤指一種能提升揮發(fā)性有機尾氣處理的效率，并具有降低氮氧化物排放的效能，而適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)或化學相關(guān)產(chǎn)業(yè)的揮發(fā)性有機排氣處理系統(tǒng)或類似設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、目前在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)或光電產(chǎn)業(yè)的制造生產(chǎn)過程中都會產(chǎn)生具有揮發(fā)性有機氣體(vocs)，其中該揮發(fā)性有機氣體(vocs)中含有氮氧化物(nox)、硫氧化物(sox)等化合物，而氮氧化物(nox)、硫氧化物(sox)等化合物是造成光化學煙霧、酸雨及人類呼吸道疾病的重要原因之一。

2、近年來由于環(huán)保意識的提高及環(huán)保法令的日趨嚴格，燃燒后的脫硝設(shè)備逐漸受到重視，而傳統(tǒng)脫硝技術(shù)，利用選擇性觸媒還原法(scr)或是選擇性非觸媒還原法(sncr)處理氮氧化物(nox)，都是注入尿素或氨當還原劑進行反應(yīng)。

3、因此，本發(fā)明人有鑒于上述缺失，期能提出一種具有降低氮氧化物排放的效能的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)及其方法，且不需注入尿素或氨當還原劑進行反應(yīng)，令使用者可輕易操作組裝。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的主要目的，在于提供一種降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)及其方法，主要是由該直燃式焚燒爐(to)的出口輸出含至少一氮氧化物(nox)的處理尾氣至該處理輸出管路內(nèi)，并通過該凈氣排放旁通管路將至少一部分的第二次吸附后氣體輸送至該處理輸出管路，讓該至少一部分的第二次吸附后氣體能與該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣進行混合，以降低該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣的溫度，再進入該無氨觸媒裝置內(nèi)進行脫硝反應(yīng)，藉此，能提升揮發(fā)性有機尾氣處理的效率，并具有降低氮氧化物排放的效能，進而增加整體的實用性。

2、本發(fā)明的次一目的，在于提供一種降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)及其方法，通過該臭氧產(chǎn)生器產(chǎn)生一臭氧，并經(jīng)由該臭氧輸送管路輸送至該無氨觸媒裝置內(nèi)，而該無氨觸媒裝置的入口與該處理輸出管路的另一端連接，讓進行混合后至少一部分的處理尾氣進入該無氨觸媒裝置內(nèi)進行脫硝反應(yīng)，其中該無氨觸媒裝置設(shè)有至少一觸媒，而該無氨觸媒裝置的脫硝反應(yīng)利用該臭氧及該觸媒將該處理尾氣中含至少一氮氧化物(nox)進行氧化處理，并產(chǎn)生一脫硝反應(yīng)后氣體，再經(jīng)由該無氨觸媒輸出管路輸出至該煙囪排放，使具有提升去除氮氧化物(nox)的效率，以達到改善氮氧化物(nox)排放的效能，進而增加整體的效率性。

3、本發(fā)明的再一目的，在于提供一種降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)及其方法，通過該處理輸出管路裝設(shè)有一除塵器，而該除塵器設(shè)有一入口及一出口，當該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣含有至少一顆粒狀物時，該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣經(jīng)由該除塵器的入口進入該除塵器內(nèi)，以進行該至少一顆粒狀物的收集，再由該除塵器的出口輸出至該處理輸出管路，使具有除塵的效果，進而增加整體的使用性。

4、本發(fā)明的另一目的，在于提供一種降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)及其方法，且通過該風道讓該待處理氣體(如含一種以上具有揮發(fā)性有機化合物與空氣的混合氣)能輸送到該出風口，并經(jīng)由該出風口與該包圍屏蔽之間所留的氣道流出至該爐頭所產(chǎn)生燃燒火焰的前端，使能增加該待處理氣體中所含揮發(fā)性有化合物的破壞效率，而另一面為該爐頭的助燃氣體入口所進入的助燃氣體(如空氣或氧氣)設(shè)計提升超過燃燒當量的20％至30％，而過剩的助燃氣體能使得該爐頭所產(chǎn)生的燃燒火焰溫度下降，藉此，該待處理氣體(如含一種以上具有揮發(fā)性有機化合物與空氣的混合氣)經(jīng)過所產(chǎn)生的燃燒火焰后能使其氮氧化物的產(chǎn)生減少，而具有降低氮氧化物產(chǎn)生的效能，進而增加整體的操作性。

5、為了能夠更進一步了解本發(fā)明的特征、特點和技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細說明與附圖，所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本發(fā)明。

技術(shù)特征：

1.一種降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該無氨觸媒裝置進一步設(shè)有至少一觸媒，該無氨觸媒裝置的脫硝反應(yīng)利用該臭氧及該觸媒將該處理尾氣中含至少一氮氧化物(nox)進行氧化處理。

3.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該處理輸出管路進一步裝設(shè)有一除塵器，該除塵器設(shè)有一入口及一出口，當該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣含有至少一顆粒狀物時，該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣經(jīng)由該除塵器的入口進入該除塵器內(nèi)，以進行該至少一顆粒狀物的收集，再由該除塵器的出口輸出至該處理輸出管路。

4.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該至少一控制閥門進一步設(shè)置于該煙囪輸送管路時，該控制閥門為煙囪控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該煙囪的風量。

5.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該至少一控制閥門進一步設(shè)置于該處理輸出管路時，該控制閥門為處理輸出控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置的風量。

6.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該至少一控制閥門進一步于該處理輸出管路及該煙囪輸送管路上分別設(shè)置各一控制閥門時，于該處理輸出管路上為處理輸出控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置的風量，而該煙囪輸送管路上為煙囪控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該煙囪的風量。

7.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該凈氣排放旁通管路進一步設(shè)有一凈氣排放旁通控制閥門，以控制該至少一部分的第二次吸附后氣體輸送至該處理輸出管路的風量。

8.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該第一冷卻氣進氣管路進一步為供新鮮空氣或是外氣來進入。

9.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該第二冷卻氣進氣管路進一步為供新鮮空氣或是外氣來進入。

10.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該有機氣體進氣管路進一步設(shè)有一有機氣體連通管路，該有機氣體連通管路與該第一冷卻氣進氣管路連接，該有機氣體連通管路進一步設(shè)有一有機氣體連通控制閥門，以控制該有機氣體連通管路的風量。

11.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該第一凈氣排放管路進一步設(shè)有一第一凈氣連通管路，該第一凈氣連通管路與該第二冷卻氣進氣管路連接，該第一凈氣連通管路進一步設(shè)有一第一凈氣連通控制閥門，以控制該第一凈氣連通管路的風量。

12.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該第一脫附濃縮氣體管路進一步設(shè)有一風機。

13.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該第二脫附濃縮氣體管路進一步設(shè)有一風機。

14.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該第二凈氣排放管路進一步設(shè)有一風機。

15.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該凈氣排放旁通管路進一步設(shè)有一風機。

16.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該第二脫附濃縮氣體管路的另一端進一步與該有機氣體進氣管路相連接。

17.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該第二脫附濃縮氣體管路的另一端進一步與該第一冷卻氣進氣管路相連接。

18.如權(quán)利要求1所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于，該直燃式焚燒爐(to)進一步設(shè)有一風道、一爐頭及一包圍屏蔽，該風道設(shè)于該直燃式焚燒爐(to)內(nèi)，該爐頭結(jié)合于該直燃式焚燒爐(to)上，該風道與該直燃式焚燒爐(to)的入口連接，該風道設(shè)有一出風口，該爐頭設(shè)有一通道，該爐頭設(shè)有一爐頭屏蔽、一氣體燃料管及一助燃氣體入口，該氣體燃料管具有一氣體燃料入口、至少一第一段氣口及至少一第二段氣口，該爐頭屏蔽位于該氣體燃料管的第二段氣口處，該包圍屏蔽的一端結(jié)合于該爐頭屏蔽，該包圍屏蔽的另一端自該風道的出風口穿出，該風道的出風口大于該包圍屏蔽，使該風道的出風口與該包圍屏蔽之間留有一氣道。

19.一種降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，主要用于有機尾氣處理系統(tǒng)，且設(shè)有一直燃式焚燒爐(to)，一第一熱交換器、一第二熱交換器、一第三熱交換器、第四熱交換器、一第一冷側(cè)輸送管路、一第四冷側(cè)輸送管路、一第一吸附轉(zhuǎn)輪、一第二吸附轉(zhuǎn)輪、一煙囪、一煙囪輸送管路、一凈氣排放旁通管路及一無氨觸媒裝置，該直燃式焚燒爐(to)設(shè)有一入口、一出口及一處理輸出管路，該處理輸出管路的一端與該直燃式焚燒爐(to)的出口連接，該煙囪輸送管路的一端與該處理輸出管路連接，該煙囪輸送管路的另一端與該煙囪連接，該第一熱交換器設(shè)有第一冷側(cè)管路及第一熱側(cè)管路，該第二熱交換器設(shè)有第二冷側(cè)管路及第二熱側(cè)管路，該第三熱交換器設(shè)有第三冷側(cè)管路及第三熱側(cè)管路，該第四熱交換器設(shè)有第四冷側(cè)管路及第四熱側(cè)管路，第一冷側(cè)輸送管路的一端與該第一冷側(cè)管路的另一端連接，該第一冷側(cè)輸送管路的另一端與該第四冷側(cè)管路的一端連接，該第四冷側(cè)輸送管路的一端與該第四冷側(cè)管路的另一端連接，該第四冷側(cè)輸送管路的另一端與該直燃式焚燒爐(to)的入口連接，該第一吸附轉(zhuǎn)輪設(shè)有一吸附區(qū)、一冷卻區(qū)及一脫附區(qū)，該第一吸附轉(zhuǎn)輪連接有一有機氣體進氣管路、一第一凈氣排放管路、一第一冷卻氣進氣管路、一第一冷卻氣輸送管路、一第一熱氣輸送管路及一第一脫附濃縮氣體管路，該第二吸附轉(zhuǎn)輪設(shè)有一吸附區(qū)、一冷卻區(qū)及一脫附區(qū)，該第二吸附轉(zhuǎn)輪連接有一第二凈氣排放管路、一第二冷卻氣進氣管路、一第二冷卻氣輸送管路、一第二熱氣輸送管路及一第二脫附濃縮氣體管路，該凈氣排放旁通管路的一端與該第二凈氣排放管路連接，該第二凈氣排放旁通管路的另一端與該處理輸出管路連接，該無氨觸媒裝置設(shè)有一入口、一出口、一臭氧入口、一無氨觸媒輸出管路及一臭氧輸送管路，該無氨觸媒裝置的出口與該無氨觸媒輸出管路的一端連接，該無氨觸媒輸出管路的另一端與該煙囪連接，該臭氧輸送管路的一端與該無氨觸媒裝置的臭氧入口連接，該臭氧輸送管路的另一端與一臭氧產(chǎn)生器連接，而該有機尾氣處理方法的主要步驟包括：

20.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該無氨觸媒裝置進一步設(shè)有至少一觸媒，該無氨觸媒裝置的脫硝反應(yīng)利用該臭氧及該觸媒將該處理尾氣中含至少一氮氧化物(nox)進行氧化處理。

21.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該處理輸出管路進一步裝設(shè)有一除塵器，該除塵器設(shè)有一入口及一出口，當該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣含有至少一顆粒狀物時，該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣經(jīng)由該除塵器的入口進入該除塵器內(nèi)，以進行該至少一顆粒狀物的收集，再由該除塵器的出口輸出至該處理輸出管路。

22.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該至少一控制閥門進一步設(shè)置于該煙囪輸送管路時，該控制閥門為煙囪控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該煙囪的風量。

23.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該至少一控制閥門進一步設(shè)置于該處理輸出管路時，該控制閥門為處理輸出控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置的風量。

24.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該至少一控制閥門進一步于該處理輸出管路及該煙囪輸送管路上分別設(shè)置時，該處理輸出管路上為處理輸出控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置的風量，該煙囪輸送管路上為煙囪控制閥門，以控制該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣輸送至該煙囪的風量。

25.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該凈氣排放旁通管路進一步設(shè)有一凈氣排放旁通控制閥門，以控制該至少一部分的第二次吸附后氣體輸送至該處理輸出管路的風量。

26.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，于第一吸附轉(zhuǎn)輪吸附的步驟后進一步設(shè)有下列步驟：

27.如權(quán)利要求26所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該第一冷卻氣進氣管路進一步為供新鮮空氣或是外氣來進入。

28.如權(quán)利要求26所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該第一冷卻氣進氣管路進一步與一有機氣體連通管路連接，該有機氣體連通管路與該有機氣體進氣管路連接，該有機氣體連通管路進一步設(shè)有一有機氣體連通控制閥門，以控制該有機氣體連通管路的風量。

29.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，于第二吸附轉(zhuǎn)輪吸附的步驟后進一步設(shè)有下列步驟：

30.如權(quán)利要求29所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該第二冷卻氣進氣管路進一步為供新鮮空氣或是外氣來進入。

31.如權(quán)利要求29所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該第二冷卻氣進氣管路進一步與一第一凈氣連通管路連接，該第一凈氣連通管路與該第一凈氣排放管路連接，該第一凈氣連通管路進一步設(shè)有一第一凈氣連通控制閥門，以控制該第一凈氣連通管路的風量。

32.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該第一脫附濃縮氣體管路進一步設(shè)有一風機。

33.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該第二脫附濃縮氣體管路進一步設(shè)有一風機。

34.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該第二凈氣排放管路進一步設(shè)有一風機。

35.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該凈氣排放旁通管路進一步設(shè)有一風機。

36.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該第二脫附濃縮氣體管路進一步與該有機氣體進氣管路相連接。

37.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該第二脫附濃縮氣體管路進一步與該第一冷卻氣進氣管路相連接。

38.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，于處理尾氣輸出處理的步驟中進一步將該處理尾氣經(jīng)由該第四熱交換器的第四熱側(cè)管路輸送到該第三熱交換器的第三熱側(cè)管路內(nèi)，并經(jīng)由該第三熱交換器的第三熱側(cè)管路輸送到該第二熱交換器的第二熱側(cè)管路內(nèi)，再經(jīng)由該第二熱交換器的第二熱側(cè)管路輸送到該第一熱交換器的第一熱側(cè)管路內(nèi)，最后由該第一熱交換器的第一熱側(cè)管路的另一端輸送到該直燃式焚燒爐(to)的出口。

39.如權(quán)利要求19所述的降低氮氧化物的有機尾氣處理方法，其特征在于，該直燃式焚燒爐(to)進一步設(shè)有一風道、一爐頭及一包圍屏蔽，該風道設(shè)于該直燃式焚燒爐(to)內(nèi)，該爐頭結(jié)合于該直燃式焚燒爐(to)上，該風道與該直燃式焚燒爐(to)的入口連接，該風道設(shè)有一出風口，該爐頭設(shè)有一通道，該爐頭設(shè)有一爐頭屏蔽、一氣體燃料管及一助燃氣體入口，該氣體燃料管具有一氣體燃料入口、至少一第一段氣口及至少一第二段氣口，該爐頭屏蔽位于該氣體燃料管的第二段氣口處，該包圍屏蔽的一端結(jié)合于該爐頭屏蔽，該包圍屏蔽的另一端自該風道的出風口穿出，該風道的出風口大于該包圍屏蔽，使該風道的出風口與該包圍屏蔽之間留有一氣道。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明為一種降低氮氧化物的有機尾氣處理系統(tǒng)及其方法，主要是由該直燃式焚燒爐(TO)的出口輸出含至少一氮氧化物(NOx)的處理尾氣至該處理輸出管路內(nèi)，并通過該凈氣排放旁通管路將至少一部分的第二次吸附后氣體輸送至該處理輸出管路，讓該至少一部分的第二次吸附后氣體能與該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣進行混合，以降低該處理輸出管路內(nèi)至少一部分的處理尾氣的溫度，再進入該無氨觸媒裝置內(nèi)進行脫硝反應(yīng)，藉此，能提升揮發(fā)性有機尾氣處理的效率，并具有降低氮氧化物排放的效能。

技術(shù)研發(fā)人員：扶亞民
受保護的技術(shù)使用者：華懋科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/19