技術(shù)編號：41959198
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明有關(guān)于一種具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，尤指一種通過該待處理氣體(如含一種以上具有揮發(fā)性有機(jī)化合物與空氣的混合氣)經(jīng)過所產(chǎn)生的燃燒火焰后能使其氮氧化物的產(chǎn)生減少，使具有降低氮氧化物產(chǎn)生的效能，而適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)或化學(xué)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的焚燒爐裝置或類似設(shè)備。背景技術(shù)、目前在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)或光電產(chǎn)業(yè)的制造生產(chǎn)過程中都會產(chǎn)生具有揮發(fā)性有機(jī)氣體(vocs)，其中該揮發(fā)性有機(jī)氣體(vocs)中含有氮氧化物(nox)、硫氧化物(sox)等化合物，而氮氧化物(nox)、硫氧化物(sox)等化合物是造成光...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。