本發(fā)明有關(guān)于一種具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，尤指一種通過該待處理氣體(如含一種以上具有揮發(fā)性有機(jī)化合物與空氣的混合氣)經(jīng)過所產(chǎn)生的燃燒火焰后能使其氮氧化物的產(chǎn)生減少，使具有降低氮氧化物產(chǎn)生的效能，而適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)或化學(xué)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的焚燒爐裝置或類似設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、目前在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)或光電產(chǎn)業(yè)的制造生產(chǎn)過程中都會(huì)產(chǎn)生具有揮發(fā)性有機(jī)氣體(vocs)，其中該揮發(fā)性有機(jī)氣體(vocs)中含有氮氧化物(nox)、硫氧化物(sox)等化合物，而氮氧化物(nox)、硫氧化物(sox)等化合物是造成光化學(xué)煙霧、酸雨及人類呼吸道疾病的重要原因之一。

2、而揮發(fā)性有機(jī)氣體(vocs)目前業(yè)界做法，大都是通過轉(zhuǎn)輪先進(jìn)行吸附及脫附等程序后，再將濃縮脫附的氣體送入該焚燒爐來進(jìn)行高溫分解。但是，在經(jīng)過高溫分解的過程中，該氮氧化物(nox)的生成和溫度有很大的關(guān)系，尤其是溫度夠高時(shí)，該氮氧化物(nox)的生成量增加，隨著反應(yīng)溫度(t)的升高，其反應(yīng)速率按指數(shù)規(guī)律增加，且當(dāng)反應(yīng)溫度(t)小于1200度c時(shí)，該氮氧化物(nox)的生成量不大，而當(dāng)反應(yīng)溫度(t)大于1300度c時(shí)，每增加100度c，則反應(yīng)速率增大6～7倍。

3、從上述可發(fā)現(xiàn)該氮氧化物(nox)的生成是一種緩慢的反應(yīng)過程，是由燃燒空氣中的氮(n)與反應(yīng)物如氧(o)和氫氧離子(oh)以及分子反應(yīng)而成的，所以，在焚燒爐的高溫分解中，如何降低燃燒溫度或降低氧氣濃度變的是很重要的課題。

4、因此，本發(fā)明人有鑒于上述缺失，期能提出一種具有降低氮氧化物產(chǎn)生的效能的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，令用戶可輕易操作組裝。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的主要目的，在于提供一種具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，主要是該焚燒爐裝置包括有一爐膛、一風(fēng)道、一爐頭及一包圍屏蔽的組合設(shè)計(jì)，且通過該風(fēng)道讓該待處理氣體(如含一種以上具有揮發(fā)性有機(jī)化合物與空氣的混合氣)能輸送到該出風(fēng)口，并經(jīng)由該出風(fēng)口與該包圍屏蔽之間所留的氣道流出至該爐頭所產(chǎn)生燃燒火焰的前端，使能增加該待處理氣體中所含揮發(fā)性有化合物的破壞效率，而另一面為該爐頭的助燃?xì)怏w入口所進(jìn)入的助燃?xì)怏w(如空氣或氧氣)設(shè)計(jì)提升超過燃燒當(dāng)量的20％至30％，而過剩的助燃?xì)怏w能使得該爐頭所產(chǎn)生的燃燒火焰溫度下降，藉此，該待處理氣體(如含一種以上具有揮發(fā)性有機(jī)化合物與空氣的混合氣)經(jīng)過所產(chǎn)生的燃燒火焰后能使其氮氧化物的產(chǎn)生減少，而具有降低氮氧化物產(chǎn)生的效能，進(jìn)而增加整體的實(shí)用性。

2、本發(fā)明的次一目的，在于提供一種具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，通過該爐頭設(shè)有一通道，而該氣體燃料管具有一氣體燃料入口、至少一第一段氣口及至少一第二段氣口，且該氣體燃料管的第一段氣口設(shè)于該爐頭的通道內(nèi)，當(dāng)該助燃?xì)怏w能進(jìn)入該爐頭的通道內(nèi)時(shí)，該助燃?xì)怏w能先在該爐頭的通道內(nèi)與由該氣體燃料管的第一段氣口所噴出的部份氣體燃料預(yù)先進(jìn)行混合，而混合部份氣體燃料的助燃?xì)怏w再流向該氣體燃料管的第二段氣口處，并與該第二段氣口所噴出的氣體燃料再混合，藉此，通過二段式的噴注氣體燃料，使燃燒火焰發(fā)生的預(yù)混順序與分配能更均勻，讓氮氧化物的產(chǎn)生減少，以達(dá)到改善氮氧化物排放的效能，進(jìn)而增加整體的效率性。

3、本發(fā)明的再一目的，在于提供一種具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，通過該爐頭結(jié)合于該爐膛上，而該爐頭的爐頭屏蔽位于該氣體燃料管的第二段氣口處，且該包圍屏蔽的一端結(jié)合于該爐頭屏蔽，該包圍屏蔽的另一端自該風(fēng)道的出風(fēng)口穿出，其中該風(fēng)道的出風(fēng)口大于該包圍屏蔽，使該風(fēng)道的出風(fēng)口與該包圍屏蔽之間留有一氣道，當(dāng)該氣體燃料由該第二段氣口噴出并產(chǎn)生一燃燒火焰時(shí)，該燃燒火焰由該爐頭的爐頭屏蔽穿過該包圍屏蔽，并通過該包圍屏蔽讓該燃燒火焰能避免被該待處理氣體(如含一種以上具有揮發(fā)性有機(jī)化合物與空氣的混合氣)進(jìn)入而影響該燃燒火焰噴出方向，使該燃燒火焰能聚集成一束狀，而具有集中的效果，進(jìn)而增加整體的使用性。

4、為了能夠更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征、特點(diǎn)和技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本發(fā)明。

技術(shù)特征：

1.一種具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該焚燒爐裝置包括：

2.如權(quán)利要求1所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該氣體燃料管的氣體燃料入口進(jìn)一步設(shè)于該爐膛外。

3.如權(quán)利要求1所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該氣體燃料入口進(jìn)一步供一氣體燃料進(jìn)入，該氣體燃料為天然氣、瓦斯的其中任一。

4.如權(quán)利要求3所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該氣體燃料進(jìn)一步由該第一段氣口噴出于該爐頭的通道內(nèi)。

5.如權(quán)利要求3所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該氣體燃料進(jìn)一步由該第二段氣口噴出，并產(chǎn)生一燃燒火焰。

6.如權(quán)利要求1所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該助燃?xì)怏w入口進(jìn)一步設(shè)于該爐膛外。

7.如權(quán)利要求1所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該助燃?xì)怏w入口進(jìn)一步供一助燃?xì)怏w進(jìn)入，該助燃?xì)怏w進(jìn)入該爐頭的通道內(nèi)，該助燃?xì)怏w為空氣、氧氣的其中任一。

8.如權(quán)利要求7所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該助燃?xì)怏w進(jìn)一步在該爐頭的通道內(nèi)先與該氣體燃料管的第一段氣口所噴出的氣體進(jìn)行預(yù)先混合，而混合后再流向該氣體燃料管的第二段氣口處。

9.如權(quán)利要求1所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該爐膛的氣體入口進(jìn)一步供一待處理氣體進(jìn)入，該待處理氣體為含一種以上具有揮發(fā)性有機(jī)化合物與空氣的混合氣。

10.如權(quán)利要求9所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該待處理氣體進(jìn)一步經(jīng)由該風(fēng)道輸送至該出風(fēng)口，并由該風(fēng)道的出風(fēng)口與該包圍屏蔽之間的該氣道流出。

11.如權(quán)利要求1所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該風(fēng)道與該爐膛之間進(jìn)一步設(shè)有至少一隔熱棉。

12.如權(quán)利要求1所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該風(fēng)道進(jìn)一步由金屬材質(zhì)制成。

13.如權(quán)利要求1所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該包圍屏蔽進(jìn)一步由金屬材質(zhì)制成。

14.如權(quán)利要求1所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該包圍屏蔽進(jìn)一步呈錐形體、圓錐形體、喇叭形體、正方形體、圓形體的其中任一。

15.如權(quán)利要求1所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該爐膛內(nèi)進(jìn)一步組裝有一第一熱交換器、一第二熱交換器、一第三熱交換器及一第四熱交換器，該第一熱交換器設(shè)有第一冷側(cè)管路及第一熱側(cè)管路，該第二熱交換器設(shè)有第二冷側(cè)管路及第二熱側(cè)管路，該第三熱交換器設(shè)有第三冷側(cè)管路及第三熱側(cè)管路，該第四熱交換器設(shè)有第四冷側(cè)管路及第四熱側(cè)管路。

16.如權(quán)利要求15所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該第一冷側(cè)管路與該第四冷側(cè)管路之間進(jìn)一步設(shè)有一第一冷側(cè)輸送管路，該第一冷側(cè)輸送管路的一端與該第一冷側(cè)管路的另一端連接，該第一冷側(cè)輸送管路的另一端與該第四冷側(cè)管路的一端連接。

17.如權(quán)利要求15所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該第四冷側(cè)管路與該爐膛的氣體入口之間進(jìn)一步設(shè)有一第四冷側(cè)輸送管路，該第四冷側(cè)輸送管路的一端與該第四冷側(cè)管路的另一端連接，該第四冷側(cè)輸送管路的另一端與該爐膛的氣體入口連接。

18.如權(quán)利要求1所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該爐膛內(nèi)進(jìn)一步組裝有一第一熱交換器、一第二熱交換器及一第三熱交換器，該第一熱交換器設(shè)有第一冷側(cè)管路及第一熱側(cè)管路，該第二熱交換器設(shè)有第二冷側(cè)管路及第二熱側(cè)管路，該第三熱交換器設(shè)有第三冷側(cè)管路及第三熱側(cè)管路。

19.如權(quán)利要求18所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該第一冷側(cè)管路與該第三冷側(cè)管路之間進(jìn)一步設(shè)有一第一冷側(cè)輸送管路，該第一冷側(cè)輸送管路的一端與該第一冷側(cè)管路的另一端連接，該第一冷側(cè)輸送管路的另一端與該第三冷側(cè)管路的一端連接。

20.如權(quán)利要求18所述的具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，其特征在于，該第三冷側(cè)管路與該爐膛的氣體入口之間進(jìn)一步設(shè)有一第三冷側(cè)輸送管路，該第三冷側(cè)輸送管路的一端與該第三冷側(cè)管路的另一端連接，該第三冷側(cè)輸送管路的另一端與該爐膛的氣體入口連接。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明為一種具有降低氮氧化物的焚燒爐裝置，主要是該焚燒爐裝置包括有一爐膛、一風(fēng)道、一爐頭及一包圍屏蔽的組合設(shè)計(jì)，且通過該風(fēng)道讓該待處理氣體能輸送到該出風(fēng)口，并經(jīng)由該出風(fēng)口與該包圍屏蔽之間所留的氣道流出至該爐頭所產(chǎn)生燃燒火焰的前端，使能增加該待處理氣體中所含揮發(fā)性有化合物的破壞效率，而另一面為該爐頭的助燃?xì)怏w入口所進(jìn)入的助燃?xì)怏w設(shè)計(jì)提升超過燃燒當(dāng)量的20％至30％，而過剩的助燃?xì)怏w能使得該爐頭所產(chǎn)生的燃燒火焰溫度下降，藉此，該待處理氣體(如含一種以上具有揮發(fā)性有機(jī)化合物與空氣的混合氣)經(jīng)過所產(chǎn)生的燃燒火焰后能使其氮氧化物的產(chǎn)生減少，而具有降低氮氧化物產(chǎn)生的效能。

技術(shù)研發(fā)人員：扶亞民
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華懋科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/19