技術(shù)編號：41960467
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及聚硅氧烷高效分離領域，特別涉及一種多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng)。背景技術(shù)、多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng)是一種進行聚硅氧烷高效分離加工的支撐設備，在多晶硅生產(chǎn)中，冷氫化、還原副產(chǎn)高沸物料，包括四氯乙硅烷、四氯乙硅氧烷、五氯乙硅烷、五氯乙硅氧烷、六氯乙硅烷、六氯乙硅氧烷等，其中四氯乙硅氧烷、五氯乙硅氧烷、六氯乙硅氧烷在多晶硅系統(tǒng)中不參與反應，隨著科技的不斷發(fā)展，人們對于多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng)的制造工藝要求也越來越高。、現(xiàn)有的多晶硅系統(tǒng)在使用時存在一定的弊端，現(xiàn)有的系統(tǒng)...
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