本技術(shù)涉及聚硅氧烷高效分離領(lǐng)域,特別涉及一種多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng)。
背景技術(shù):
1、多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng)是一種進(jìn)行聚硅氧烷高效分離加工的支撐設(shè)備,在多晶硅生產(chǎn)中,冷氫化、還原副產(chǎn)高沸物料,包括四氯乙硅烷、四氯乙硅氧烷、五氯乙硅烷、五氯乙硅氧烷、六氯乙硅烷、六氯乙硅氧烷等,其中四氯乙硅氧烷、五氯乙硅氧烷、六氯乙硅氧烷在多晶硅系統(tǒng)中不參與反應(yīng),隨著科技的不斷發(fā)展,人們對于多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng)的制造工藝要求也越來越高。
2、現(xiàn)有的多晶硅系統(tǒng)在使用時存在一定的弊端,現(xiàn)有的系統(tǒng)沒有對四氯乙硅氧烷、五氯乙硅氧烷、六氯乙硅氧烷這一部分物料有效分離,存在浪費(fèi)三氯氫硅、四氯化硅的問題,給實(shí)際的使用過程帶來了一定的不利影響,為此,我們提出一種多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、解決的技術(shù)問題:針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型提供了一種多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng),通過對四氯乙硅氧烷、五氯乙硅氧烷、六氯乙硅氧烷高效分離減少三氯氫硅、四氯化硅等輕組分的浪費(fèi),同時減少多晶硅生產(chǎn)中對水資源的浪費(fèi),可以有效解決背景技術(shù)中的問題。
2、技術(shù)方案:為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為:一種多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng),包括緩存罐、聚硅氧烷罐、精餾塔、冷凝器與再沸器,所述再沸器與緩存罐、聚硅氧烷罐和精餾塔連接,所述再沸器還連接有蒸汽箱與凝液箱,所述精餾塔與冷凝器連接,所述冷凝器連接有冷媒進(jìn)料箱、冷媒出料箱與產(chǎn)品罐,所述產(chǎn)品罐連接有泵,所述泵連接有界區(qū)。
3、優(yōu)選的,所述產(chǎn)品罐邊側(cè)連接有沖洗箱,所述沖洗箱連接有連接管,所述連接管連接有沖洗管,所述沖洗管位于產(chǎn)品罐的內(nèi)部,所述沖洗管的外壁定位有沖洗頭,所述產(chǎn)品罐的底部安裝有出液閥管,所述出液閥管連接有集液箱。
4、優(yōu)選的,所述再沸器的輸入端與緩存罐的輸出端貫通連接,所述再沸器的輸出端與聚硅氧烷罐和精餾塔的輸入端貫通連接。
5、優(yōu)選的,所述蒸汽箱的輸出端與再沸器的輸入端貫通連接,所述凝液箱的輸入端與再沸器的輸出端貫通連接。
6、優(yōu)選的,所述精餾塔的輸出端與冷凝器的輸入端貫通連接,所述冷凝器的輸入端與冷媒進(jìn)料箱的輸出端貫通連接,所述冷凝器的輸出端與冷媒出料箱的輸入端貫通連接,所述冷凝器的輸出端與產(chǎn)品罐的輸入端貫通連接。
7、優(yōu)選的,所述沖洗管在產(chǎn)品罐的內(nèi)部旋轉(zhuǎn)活動,且通過沖洗頭向產(chǎn)品罐內(nèi)壁沖灑,所述出液閥管控制產(chǎn)品罐內(nèi)部的沖洗液進(jìn)入集液箱內(nèi)部。
8、有益效果:與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型提供了一種多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng),具備以下有益效果:該一種多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng),通過對四氯乙硅氧烷、五氯乙硅氧烷、六氯乙硅氧烷高效分離減少三氯氫硅、四氯化硅等輕組分的浪費(fèi),同時減少多晶硅生產(chǎn)中對水資源的浪費(fèi),整個多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,使用的效果相對于傳統(tǒng)方式更好。
1.一種多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng),包括緩存罐(1)、聚硅氧烷罐(4)、精餾塔(6)、冷凝器(7)與再沸器(5),其特征在于:所述再沸器(5)與緩存罐(1)、聚硅氧烷罐(4)和精餾塔(6)連接,所述再沸器(5)還連接有蒸汽箱(2)與凝液箱(3),所述精餾塔(6)與冷凝器(7)連接,所述冷凝器(7)連接有冷媒進(jìn)料箱(8)、冷媒出料箱(9)與產(chǎn)品罐(10),所述產(chǎn)品罐(10)連接有泵(12),所述泵(12)連接有界區(qū)(11)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng),其特征在于:所述產(chǎn)品罐(10)邊側(cè)連接有沖洗箱(15),所述沖洗箱(15)連接有連接管(16),所述連接管(16)連接有沖洗管(13),所述沖洗管(13)位于產(chǎn)品罐(10)的內(nèi)部,所述沖洗管(13)的外壁定位有沖洗頭(14),所述產(chǎn)品罐(10)的底部安裝有出液閥管(17),所述出液閥管(17)連接有集液箱(18)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng),其特征在于:所述再沸器(5)的輸入端與緩存罐(1)的輸出端貫通連接,所述再沸器(5)的輸出端與聚硅氧烷罐(4)和精餾塔(6)的輸入端貫通連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng),其特征在于:所述蒸汽箱(2)的輸出端與再沸器(5)的輸入端貫通連接,所述凝液箱(3)的輸入端與再沸器(5)的輸出端貫通連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng),其特征在于:所述精餾塔(6)的輸出端與冷凝器(7)的輸入端貫通連接,所述冷凝器(7)的輸入端與冷媒進(jìn)料箱(8)的輸出端貫通連接,所述冷凝器(7)的輸出端與冷媒出料箱(9)的輸入端貫通連接,所述冷凝器(7)的輸出端與產(chǎn)品罐(10)的輸入端貫通連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多晶硅系統(tǒng)中聚硅氧烷高效分離系統(tǒng),其特征在于:所述沖洗管(13)在產(chǎn)品罐(10)的內(nèi)部旋轉(zhuǎn)活動,且通過沖洗頭(14)向產(chǎn)品罐(10)內(nèi)壁沖灑,所述出液閥管(17)控制產(chǎn)品罐(10)內(nèi)部的沖洗液進(jìn)入集液箱(18)內(nèi)部。