技術編號：41960489
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請涉及微光機電，尤其是涉及一種mems微鏡結構及mems微鏡集成產品。背景技術、微機電系統(tǒng)(micro?electro?mechanical?system，mems)振鏡是一種采用mems技術制造的，在驅動器作用下反射鏡按照一定規(guī)律偏轉的器件。目前，mems振鏡在許多領域中均得到廣泛應用，如光通信、激光投影、三維成像、激光雷達等。、本申請實用新型人在研究中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有的mems微鏡結構，不同的應用場景中mems微鏡結構的工作頻率不同，從幾百hz到幾十khz不等。當mems微鏡結構在較高頻率...
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該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。