技術(shù)編號(hào)：41960546
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體，特別涉及一種鍍膜裝置。背景技術(shù)、隨著科技的進(jìn)步，鍍膜技術(shù)在許多工業(yè)領(lǐng)域都發(fā)揮了重要作用，例如，在半導(dǎo)體領(lǐng)域，鍍膜技術(shù)是至關(guān)重要的一步。鍍膜技術(shù)主要依賴于加熱鍍膜材料，使鍍膜材料蒸發(fā)并凝結(jié)于基板表面而形成薄膜。、目前，在傳統(tǒng)的鍍膜裝置中，蒸發(fā)源與基板之間的間隔過大，升華后的鍍膜材料在達(dá)到基板表面之前更容易擴(kuò)散到周圍環(huán)境中，既浪費(fèi)了鍍膜材料，還導(dǎo)致基板表面的成膜效果較差，甚至無法在基板表面成膜。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、以下是對(duì)本文詳細(xì)描述的主題的概述，本概述并非是為了限制權(quán)利要求的保護(hù)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。