專利名稱:堿性洗凈劑的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明是有關(guān)于一種用以去除附著于電子部件、金屬部件及陶瓷部件等部件上的油脂、樹脂及微粒等的堿性洗凈劑,更詳細(xì)地說,是關(guān)于一種用作液晶面板的垂直配向聚亞胺膜(特別是半燒成膜)的剝離液,或是用作半導(dǎo)體組件電路及液晶面板的半導(dǎo)體組件電路等電路制造時(shí)的光阻剝離液的堿性洗凈劑。
背景技術(shù):
一直以來,堿性洗凈劑相較于中性洗凈劑,因?yàn)閷?duì)于油脂、樹脂及微粒等的去除能力較為顯著,所以廣泛地使用在電子部件、金屬部件及陶瓷部件等的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)。但是,因?yàn)殇X等非鐵金屬容易被堿性洗凈劑所腐蝕,所以目前在一部份或全部使用鋁的電子部件等部件的洗凈方法,是不會(huì)使用堿性洗凈劑的。例如是電子部件,特別是液晶面板的聚亞胺配向膜,之前是水準(zhǔn)配向型,隨著對(duì)廣視角的液晶面板的需求越來越強(qiáng),垂直配向型的聚亞胺配向膜有增加的趨勢(shì)。如果是水準(zhǔn)配向型的聚亞胺配向膜玻璃基板,在完全燒成(燒成溫度約180℃)前的半燒成狀態(tài),此時(shí)不合格品可以N-甲基吡咯烷酮(N-methylpyrrolidone)等溶劑剝離其配向膜,且不會(huì)腐蝕鋁薄膜(內(nèi)聯(lián)機(jī))。但是在配向膜為垂直配向型的聚亞胺配向膜時(shí),因?yàn)槠湓诎霟蔂顟B(tài)的時(shí)候,無法使用N-甲基吡咯烷酮等溶劑加以剝離,所以須使用堿性洗凈劑加以剝離,如日本專利申請(qǐng)案早期公開第平6-306661號(hào)所述者。在這個(gè)時(shí)候,因?yàn)椴AЩ宓匿X薄膜(內(nèi)聯(lián)機(jī))會(huì)被腐蝕,所以鋁薄膜的部分用蠟等物質(zhì)進(jìn)行保護(hù)再進(jìn)行洗凈,接著再以烴類溶劑等溶劑去除蠟以使基板及鋁薄膜復(fù)原,或是將配向膜及鋁薄膜同時(shí)完全剝離及溶解,而僅使基板復(fù)原。
此外,關(guān)于半導(dǎo)體組件電路等的制程,為了去除形成內(nèi)聯(lián)機(jī)時(shí)所產(chǎn)生的光阻殘留物,一直以來都是使用胺系剝離劑來進(jìn)行。但是,胺系剝離劑具有腐蝕基板上的鋁及鎢等的金屬內(nèi)聯(lián)機(jī)及金屬薄膜的問題。這個(gè)問題可以使用含有第四級(jí)銨氫氧化物、糖類的水溶液來解決,日本專利申請(qǐng)案早期公開第平4-48633號(hào)所述者,但是在光阻的剝離性及抑制金屬內(nèi)聯(lián)機(jī)的腐蝕這兩方面,并無法同時(shí)完全滿足。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是提供一種金屬(特別是鋁)非腐蝕性佳的新型洗凈劑、洗凈方法及以此洗凈劑進(jìn)行洗凈的電子部件。
本發(fā)明人為達(dá)成上述目的,積極研究而完成本發(fā)明。
換言之,本發(fā)明提出一種堿性洗凈劑,由堿性成分(A)、不含氮原子且數(shù)量平均分子量在92-400的三-八價(jià)的多價(jià)醇類(B)、及選自不含氮原子且數(shù)量平均分子量在62-250的二價(jià)醇類(C1)及不含氮原子且數(shù)量平均分子量在32-500的一價(jià)醇類(C2)所組成的族群中至少一醇類(C)所組成。
本發(fā)明提出一種洗凈方法,適用于電子部件、電器部件或鋁建材,其特征在于使用本發(fā)明的洗凈劑,以選自超音波洗凈、噴淋(shower)洗凈、噴灑(spray)洗凈、浸漬及浸漬搖動(dòng)中一或多種的方法進(jìn)行洗凈。
本發(fā)明提出一種電子部件、電器部件或鋁建材,是以本發(fā)明的洗凈方法進(jìn)行洗凈、沖洗后,干燥而得。
本發(fā)明的洗凈劑具有金屬(特別是鋁)非腐蝕性佳的優(yōu)點(diǎn),例如是液晶面板用的玻璃基板及半導(dǎo)體基板的鋁內(nèi)聯(lián)機(jī)、濾光部件不會(huì)受到破壞,且半燒成垂直配向聚亞胺膜、光阻可在短時(shí)間內(nèi)被剝離及洗凈。因此,關(guān)于配向膜剝離洗凈制程(玻璃基板復(fù)原制程),不再是如習(xí)知般只能使玻璃基板復(fù)原,還可以同時(shí)使鋁內(nèi)聯(lián)機(jī)、濾光部材復(fù)原。
另外,本發(fā)明的洗凈劑在去除油份、指紋、樹脂及微粒的能力也是相當(dāng)出色。
為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂,下文特舉較佳實(shí)施例,作詳細(xì)說明如下。
具體實(shí)施例方式
在本發(fā)明中的堿性成分(A),例如是(A1)金屬氫氧化物[堿金屬氫氧化物(氫氧化鋰、氫氧化鈉及氫氧化鉀等)、堿土族金屬氫氧化物(氫氧化鈣、氫氧化鎂及氫氧化鋇等)]、(A2)碳酸鹽[堿金屬碳酸鹽(碳酸鈉及碳酸鉀等)、堿土族金屬碳酸鹽(碳酸鈣、碳酸鎂及碳酸鋇等)]、(A3)磷酸鹽[堿金屬磷酸鹽(焦磷酸鈉、焦磷酸鉀、三聚磷酸鈉及三聚磷酸鉀等)、堿土族金屬磷酸鹽(焦磷酸鈣、焦磷酸鎂、焦磷酸鋇、三聚磷酸鈣、三聚磷酸鎂及三聚磷酸鋇等)]、(A4)硅酸鹽[堿金屬硅酸鹽(硅酸鈉及硅酸鉀等)、堿土族金屬硅酸鹽(硅酸鈣、硅酸鎂及硅酸鋇等)]、(A5)氨、(A6)羥胺、(A7)下列一般式(1)所示的有機(jī)堿及這些物質(zhì)的混合物。
——(R5O)p-H(2)式中,R1例如是碳數(shù)為1-24的烴基,更佳的是碳數(shù)1-14的烴基,R2、R 3及R4中每一個(gè)為氫原子、碳數(shù)為1-24(更佳的是碳數(shù)為1-14)的烴基或一般式(2)所表示的官能基,R5為碳數(shù)2-4的烷撐基,p為1-6的整數(shù)。
在一般式(1)中,R1例如是直鏈或分枝的飽和或不飽和烴基、脂環(huán)式烴基及含有芳香環(huán)的烴基等。
直鏈或分枝的飽和烴基,例如是烷基(甲基、乙基,正、異、二級(jí)及三級(jí)丁基,辛基、2-乙基己基、十八烷基(octadecyl)等)。直鏈或分枝的不飽和烴基,例如是烯基(乙烯基、丙烯基、烯丙基及丁烯基等)。脂環(huán)式烴基,例如是環(huán)烷基(環(huán)己烷等)。含有芳香環(huán)的烴基,例如是芳烴基(苯基及萘基等)、芳烷基(苯甲基及苯乙基等)、烷芳烴基(甲苯基、乙苯基、壬苯基、甲萘基及乙萘基等)。
在這些烴基中,以洗凈性的觀點(diǎn)來看,較佳的是烷基及烯基。
若R1碳數(shù)在24以下,會(huì)有較佳的洗凈性(或剝離性,以下同)。
R2、R3及R4為烴基的時(shí)候,此烴基例如是與R1相同的烴基,其較佳的烴基也如同R1。若R2、R3及R4碳數(shù)在24以下,會(huì)有良好的洗凈性。
在一般式(2)中,R5例如是乙烯基、丙烯基及丁烯基等碳數(shù)為2-4的烯烴基。
若R5碳數(shù)在4以下,會(huì)有良好的洗凈性。p為1-6(較佳為1-3)的整數(shù),若p在6以下,會(huì)有良好的洗凈性。
有機(jī)堿(A7),例如是結(jié)合氮原子的下列(1)-(5)的陽離子和氫氧化物陰離子的鹽及這些物質(zhì)的混合物中至少一個(gè)烴基。
(1)含有四個(gè)烴基的四級(jí)銨陽離子含有四個(gè)碳數(shù)1-6的烷基的四烴基銨,例如是四甲基銨、四乙基銨、四(正或異)丙基銨、四(正、異或三級(jí))丁基銨、四戊基銨及四己基銨等。
含有三個(gè)碳數(shù)1-6的烷基的四烴基銨,例如是三甲基庚基銨、三甲基辛基銨、三甲基癸基銨、三甲基十二烷基銨、三甲基硬脂基(stearyl)銨、三甲基苯甲基銨、三乙基己基銨、三乙基辛基銨、三乙基硬脂基銨、三乙基苯甲基銨、三丁基苯甲基銨、三丁基辛基銨及三己基硬脂基銨等。
含有二個(gè)碳數(shù)1-6的烷基的四烴基銨,例如是二甲基二辛基銨、二乙基二辛基銨及二甲基二苯甲基銨等。
含有一個(gè)碳數(shù)1-6的烷基的四烴基銨,例如是甲基三辛基銨、乙基三辛基銨及甲基辛基二苯甲基銨等。
(2)含有三個(gè)烴基的三級(jí)胺陽離子含有三個(gè)碳數(shù)1-6的烷基的三烴基胺陽離子,例如是三甲基胺陽離子、三乙基胺陽離子及三丁基胺陽離子等。
含有二個(gè)碳數(shù)1-6的烷基的三烴基胺陽離子,例如是二甲基辛基胺陽離子、二甲基硬脂基胺陽離子、二乙基辛基胺陽離子、二丁基辛基胺陽離子及二甲基苯甲基胺陽離子等。
含有一個(gè)碳數(shù)1-6的烷基的三烴基胺陽離子,例如是甲基二辛基胺陽離子、乙基二辛基胺陽離子及甲基辛基苯甲基胺陽離子等。
(3)含有二個(gè)烴基的二級(jí)胺陽離子含有二個(gè)碳數(shù)1-6的烷基的二烴基胺陽離子,例如是二甲基胺陽離子、二乙基胺陽離子、二丁基胺陽離子及二己基胺陽離子等。
含有一個(gè)碳數(shù)1-6的烷基的二烴基胺陽離子,例如是甲基辛基胺陽離子、乙基辛基胺陽離子、丁基辛基胺陽離子、己基辛基胺陽離子、甲基硬脂基胺陽離子、甲基苯甲基胺陽離子及乙基苯甲基胺陽離子等。
(4)含有一個(gè)烴基的一級(jí)胺陽離子單烴基(碳數(shù)1-6)胺陽離子,例如是甲基胺陽離子、乙基胺陽離子、丁基胺陽離子及己基胺陽離子等。
(5)含有氧烯烴基的陽離子(i)含有一個(gè)氧烯烴基的陽離子,例如是羥乙基三甲基胺陽離子、羥乙基三乙基胺陽離子、羥丙基三甲基胺陽離子、羥丙基三乙基胺陽離子、羥乙基二甲基乙基胺陽離子及羥乙基二甲基辛基胺陽離子等。
(ii)含有二個(gè)氧烯烴基的陽離子,例如是二羥乙基二甲基胺陽離子、二羥乙基二乙基胺陽離子、二羥丙基二甲基胺陽離子、二羥丙基二乙基胺陽離子、二羥乙基甲基乙基胺陽離子、二羥乙基甲基辛基胺陽離子及雙(2-羥乙氧乙基)辛基胺陽離子等。
(iii)含有三個(gè)氧烯烴基的陽離子,例如是三羥乙基甲基胺陽離子、三羥乙基乙基胺陽離子、三羥乙基丁基胺陽離子、三羥丙基甲基胺陽離子、三羥丙基乙基胺陽離子及三羥乙基辛基胺陽離子等。
在堿性成分(A)中,以洗凈性及沖洗的觀點(diǎn)來看,較佳的是(A1)及(A7)。在(A1)中以洗凈性的觀點(diǎn)來看,較佳的是堿金屬氫氧化物,更佳的是氫氧化鈉及氫氧化鉀。在(A7)中,以洗凈性及沖洗的觀點(diǎn)來看,較佳的是上述(1)及(2)的鹽,更佳的是(1)的鹽,特別是含有四個(gè)碳數(shù)1-6的烷基的四烷基銨氫氧化物,特佳的是四甲基銨氫氧化物及四乙基銨氫氧化物。
上述的化合物,也可以混合使用。
在本發(fā)明中,不含氮原子且數(shù)量平均分子量為92-400[數(shù)量平均分子量以下略記為Mn,是以膠體透析層析儀(Gel Permeation Chromatography,GPC)進(jìn)行測(cè)定而得]的三-八價(jià)的多價(jià)醇類(B),例如是三-八價(jià)的脂肪族多價(jià)醇類(甘油、三羥甲基乙烷、三羥甲基丙烷、二甘油、三甘油、四甘油、五甘油、2-甲基甘油、1,2,4-丁三醇、甘蔗糖、葡萄糖、果糖、核醣、麥芽糖、海藻糖、木糖、丁四醇、木糖醇、山梨糖醇、甘露醇、蔗糖等)及這些物質(zhì)的氧化烯基(碳數(shù)為2-3)的附加物(附加的氧化烯基的數(shù)目為1-7個(gè))等。
在上述的物質(zhì)中,以洗凈性及沖洗的觀點(diǎn)來看,較佳的是甘油、二甘油、三甘油及山梨糖醇。
在本發(fā)明中,不含氮原子且Mn為62-250的二價(jià)醇類(C1),例如是二羥基烷類(碳數(shù)為2-8的二羥基烷類乙二醇、1,2丙烯乙二醇、1,3-丙烯乙二醇、1,4-丁二醇、1,6-己二醇及新戊基乙二醇等)、脂環(huán)式二醇類(碳數(shù)為6-15的二醇類環(huán)己烷-1,2-、1,3-、1,4-二醇、環(huán)戊烷-1,2-、1,3-二醇及氫化雙酚A等)、分子中含有一個(gè)醚基的二醇類(二次乙基乙二醇及二丙烯乙二醇等)及這些物質(zhì)的混合物。(C1)的分子量較佳的是在62以上且未滿150的范圍。
在本發(fā)明中,不含氮原子且Mn為32-500的一價(jià)醇類(C2),例如是碳數(shù)為1-12的脂肪族醇類、此醇類中附加碳數(shù)為2-4的烯烴基氧化物的化合物及這些物質(zhì)的混合物。碳數(shù)為1-12的脂肪族醇類,具體來說,例如是甲醇、乙醇、異丙醇及丁醇等。醇類中附加碳數(shù)為2-4的烯烴基氧化物的化合物,例如是乙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚、丙烯乙二醇單甲醚及乙二醇單丁謎等。
在(C)中,以洗凈性及耐腐蝕性的觀點(diǎn)來看,較佳的是(C1)中的乙二醇、丙烯乙二醇及二丙烯乙二醇、(C2)中的乙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚,更佳的是丙烯乙二醇及二乙二醇單甲醚。
關(guān)于本發(fā)明的洗凈劑,其中(A),(B)及(C)的含量,以洗凈性及耐腐蝕性的觀點(diǎn)來看,以該堿性成分(A)、(B)及(C)的總重量為基準(zhǔn),(A)較佳的含量為0.1-25%(以下“%”表示“重量%”),更佳為0.2-15%,(B)較佳的含量為1-25%,更佳為2-15%,(C)較佳的含量為60-95%,更佳為75-93%。此外,(A)與(B)的重量比,以洗凈姓及耐腐蝕性的觀點(diǎn)來看,較佳為10/90-99/1,更佳為20/80-80/20。
在本發(fā)明的洗凈劑中,除了(A)、(B)及(C)以外,必要時(shí)更可包括接口活性劑(D)、含有酰胺的親水性溶劑(E)、其它添加劑及/或水。
接口活性劑(D),例如是非離子接口活性劑(D1)、陰離子界面活性劑(D2)、陽離子界面活性劑(D3)及兩性界面活性劑(D4)及這些物質(zhì)的混合物。但是,在(D1)中,并不包括(B)及(C)的范圍中的醇類。此外,在(D3)中,并不包括一般式(1)所示的有機(jī)堿。
(D1),例如是烯烴基氧化物附加型非離子界面活性劑[高級(jí)醇類(碳數(shù)為8-18)、烷基酚(碳數(shù)為10-24)、高級(jí)脂肪酸(碳數(shù)為12-24)或高級(jí)烷基胺(碳數(shù)為8-24)等中,直接附加氧化烯基[碳數(shù)為2-4,例如是氧化乙烯基(以下簡(jiǎn)稱EO)、氧化丙烯基、氧化丁烯基,以下同]的產(chǎn)物(Mn為158-200,000);聚氧烯烴基乙二醇(Mn為150-6,000)與高級(jí)脂肪酸(碳數(shù)為12-24)等反應(yīng)的產(chǎn)物;在二醇類[上述(C1)中所述的物質(zhì)]或三-八價(jià)的多價(jià)醇[上述(B)中所述的物質(zhì)]等含有羥基的化合物與高級(jí)脂肪酸(碳數(shù)為12-24)反應(yīng)所得的酯化物上附加氧化烯基的產(chǎn)物(Mn為250-30,000)、在高級(jí)脂肪酸(碳數(shù)為8-24)酰胺上附加氧化烯基的產(chǎn)物(Mn為200-30,000)、在多價(jià)醇(上述的物質(zhì))烷基(碳數(shù)為8-60)醚上附加氧化烯基的產(chǎn)物(Mn為120-30,000)等],及多價(jià)醇(碳數(shù)為3-20)型非離子界面活性劑[多價(jià)醇脂肪酸(碳數(shù)為8-60)酯、多價(jià)脂肪酸烷基(碳數(shù)為8-60)醚、脂肪酸(碳數(shù)為8-60)烷醇酰胺]等。
(D2),例如是羧酸(碳數(shù)為8-22的飽和或不飽和脂肪酸)或其鹽類、羧甲基化合物的鹽類[碳數(shù)為8-16的脂肪族醇類及/或其的EO附加物(附加數(shù)目1-10)等的羧甲基化合物的鹽類等]、硫酸酯鹽類[高級(jí)醇硫酸酯鹽類(碳數(shù)為8-18的脂肪族脂類的硫酸酯鹽類等)等]、高級(jí)烷基醚硫酸酯鹽類[碳數(shù)為8-18的脂肪族脂類的EO附加物(附加數(shù)目1-10)的硫酸酯鹽類]、硫酸化油(天然的不飽和油脂或不飽和的蠟油進(jìn)行硫酸化后再中和所得的鹽類)、硫酸化脂肪酸脂(對(duì)不飽和脂肪酸的低級(jí)醇酯類進(jìn)行硫酸化后再中和所得的鹽類)、硫酸化烯烴(對(duì)碳數(shù)為12-18的烯烴類進(jìn)行硫酸化后再中和所得的鹽類)、磺酸鹽[烷基苯磺酸鹽、甲基萘磺酸鹽、磺基琥珀酸酯型、α-烯烴(碳數(shù)為12-18)磺酸鹽、Igepon T型(商品名)界面活性劑]及磷酸酯鹽[高級(jí)醇(碳數(shù)為8-60)磷酸酯鹽、高級(jí)醇(碳數(shù)為8-60)的EO附加物的磷酸酯鹽、烷基(碳數(shù)為4-60)酚的EO附加物的磷酸酯鹽等]等鹽類。
上述鹽類,例如是堿金屬(鈉、鉀等)鹽、堿土族金屬(鈣、鎂等)鹽、銨鹽、烷基胺(碳數(shù)為1-20)鹽及烷醇胺(碳數(shù)為2-12,例如是單、二、三乙醇胺)鹽等。
(D3),例如是第四級(jí)銨鹽型[四烷基(碳數(shù)為4-100)銨鹽,例如是氯化十二烷基三甲基銨、氯化二癸基二甲基銨、溴化二辛基二甲基銨、溴化硬脂基三甲基銨;三烷基(碳數(shù)為3-80)苯基銨鹽,例如是氯化十二烷基二甲基苯基銨(氯化苯甲烴銨);烷基(碳數(shù)為2-60)啶鹽,例如是氯化十六烷基啶鹽;聚氧烯烴基(碳數(shù)為2-4)三烴基銨鹽,例如是氯化聚氧乙烯基三甲基銨;Sapamine型(商品名)四級(jí)銨鹽,例如是硬脂酰胺乙基二乙基甲基銨的甲基硫酸鹽]、胺鹽型[脂肪族高級(jí)胺(碳數(shù)為12-60,例如是十二烷基胺、硬脂基胺、十六烷基胺、硬化牛脂胺、松香胺等)的無機(jī)酸(鹽酸、硫酸、硝酸及磷酸)鹽或有機(jī)酸(醋酸、丙酸、十二酸、油酸、安息香酸、琥珀酸、己二酸、壬二酸)鹽;低級(jí)胺(碳數(shù)為1-11)的高級(jí)脂肪酸(碳數(shù)為12-24,例如是硬脂酸、油酸)鹽;脂肪族胺(碳數(shù)為1-30)的EO附加物等的無機(jī)酸(上述的無機(jī)酸)鹽或有機(jī)酸(上述的有機(jī)酸)鹽;三級(jí)胺(三乙醇胺單硬脂酸酯、硬脂酰胺乙基二乙基甲基乙醇胺等)的無機(jī)酸(上述的無機(jī)酸)鹽或有機(jī)酸(上述的有機(jī)酸)鹽等]等。
(D4),例如是氨基酸兩性界面活性劑[高級(jí)烷基胺(碳數(shù)為12-18)的丙酸鈉等]、甜菜堿型兩性界面活性劑[烷基(碳數(shù)為12-18)二甲基甜菜堿等、烷基(碳數(shù)為12-18)二羥乙基甜菜堿等、椰子油脂肪酸酰胺丙基甜菜堿等]、硫酸酯鹽型兩性界面活性劑[高級(jí)烷基(碳數(shù)為8-18)胺的硫酸酯鈉鹽、羥乙基咪唑啉硫酸酯鈉鹽等]、磺酸鹽型兩性界面活性劑(五癸基胺基乙磺酸、咪唑啉磺酸等)、磷酸酯鹽型兩性界面活性劑[甘油高級(jí)脂肪酸(碳數(shù)為8-22)酯化物的磷酸酯胺鹽]等。
在(D1)-(D4)中,以洗凈性及耐腐蝕性的觀點(diǎn)來看,較佳的是(D1)及(D2),更佳的是(D1)。(D)的含量,以洗凈劑的總重量為基準(zhǔn),較佳為1-20%。
含有酰胺基的親水性溶劑(E),在對(duì)水的溶解度(g/100g的H2O)在3以上,而分子中含有一個(gè)以上酰胺基或水溶性酰胺,例如是2-吡咯烷酮及N-烷基(碳數(shù)為1-3)-2-吡咯烷酮等。在這些物質(zhì)中,以洗凈性及沖洗的觀點(diǎn)來看,較佳的是N-甲基-2-吡咯烷酮、N-乙基-2-吡咯烷酮、N-n-丙基-2-吡咯烷酮及N-異丙基-2-吡咯烷酮,更佳的是N-甲基-2-吡咯烷酮。(E)的含量,以洗凈劑的總重量為基準(zhǔn),從洗凈性、清洗及耐腐蝕性的觀點(diǎn)來看,較佳的是在30%以下,更佳的是1-20%。
水的含量,以洗凈劑的總重量為基準(zhǔn),從洗凈性、清洗及耐腐蝕性的觀點(diǎn)來看,較佳的是在39%以下,更佳的是1-38%,特佳的是2-30%。
其它添加劑(F),例如是抗銹劑[胺(碳數(shù)為6-30、例如是環(huán)己基胺、十二烷基胺、硬脂基胺等)的EO附加物(附加數(shù)目2-10)、鉻酸鹽、亞硝酸鹽、胺(碳數(shù)為6-30)的高級(jí)脂肪酸(碳數(shù)為8-30)鹽、二羧酸(碳數(shù)為12-24)的堿金屬(鈉、鉀等)鹽、銨鹽、或烷醇胺鹽(三乙醇胺鹽等)、二羧酸(碳數(shù)為12-24)的烷醇酰胺(例如是十二烷基琥珀酸二乙醇酰胺)、二羧酸(碳數(shù)為12-24)的烷醇酰胺堿金屬鹽(例如是十二烷基琥珀酸二乙醇酰胺鈉鹽)等]、抗氧化劑[酚類化合物(2,6,-二-t-丁基-4-甲基酚等)、含硫化合物(雙十二烷基硫二苯胺丙酸鹽等)、胺化合物(辛基化二苯基胺等)、磷化合物(三苯基亞磷酸鹽等)等]、金屬離子螯合劑(乙烯二胺四醋酸鈉、檸檬酸鈉等)、有機(jī)酸(檸檬酸、乙醇酸、琥珀酸、酒石酸、乳酸、反丁烯二酸、蘋果酸、乙酰酸、丁酸、吉草酸、草酸、順丁烯二酸、杏仁酸等)及這些物質(zhì)的堿金屬(鈉、鉀等)鹽、銨鹽或烷醇胺鹽(如三乙醇胺鹽)等。
(F)的含量,以洗凈劑的總重量為基準(zhǔn),防銹劑通常在20%以下,較佳的是0.5-10%,抗氧化劑通常在5%以下,較佳的是0.1-1%,金屬離子螯合劑通常在20%以下,較佳的是0.5-10%,有機(jī)酸通常在20%以下,較佳的是0.5-10%。
以本發(fā)明洗凈劑的重量為基準(zhǔn),(D)、(E)及(F)合計(jì)的含量,通常在40%以下,較佳的是在30%以下,更佳的是在20%以下。
本發(fā)明的洗凈劑在25℃時(shí)的黏度,通常在2-300mm2/s,從洗凈性及沖洗的觀點(diǎn)來看,較佳的是3-100mm2/s,更佳的是4-50mm2/s。其中,黏度是以奧斯瓦特(Ostwald)或?yàn)踟惵返?Ubbelohde)等黏度劑進(jìn)行測(cè)定。
本發(fā)明的洗凈劑,其適用的用途并無特別限定,可用于各種電子部件及鋁建材等進(jìn)行洗凈,較佳的是用于電子部件的洗凈,特別是廣泛地用在一部份或全部使用鋁的電子部件等部件的洗凈上。例如是液晶面板用的玻璃基板(配向膜圖案化之前的洗凈、不符合配向膜的玻璃及洗凈)、半導(dǎo)體基板、印刷電路板、電漿顯示玻璃基板、熱感應(yīng)頭等電子部件、空調(diào)冷卻膜、空氣清凈機(jī)的鋁電極板、電剃刀等的電器部件、鋁建材等。此外,洗凈的對(duì)象(污垢)為油分、指紋、樹脂、有機(jī)微粒等的有機(jī)物、無機(jī)微粒(例如是玻璃粉、陶瓷粉、金屬粉等)等的無機(jī)物。在本發(fā)明洗凈劑的這些洗凈對(duì)象中,特別適合用于液晶面板用的玻璃基板的洗凈(配向膜進(jìn)行薄膜化前玻璃基板的洗凈,或配向膜為不符合的玻璃基板的洗凈)。
本發(fā)明洗凈劑適用的使用方法,舉例來說,如液晶面板用的玻璃基板的剝離及洗凈方法,為超音波洗凈、噴淋(shower)洗凈、噴灑(spray)洗凈、浸漬、浸漬搖動(dòng)及這些方法組合的洗凈方法。
進(jìn)行洗凈時(shí),本發(fā)明的洗凈劑在必要時(shí)以水進(jìn)行稀釋為佳,更佳的是水的含量在上述水的含量范圍內(nèi)。
洗凈溫度,通常為10-70℃,較佳的是15-60℃。洗凈時(shí)間通常是0.2-120分,較佳的是0.5-30分。水的沖洗溫度通常是5-90℃,較佳的是10-70℃,沖洗的方法同上述所適用的洗凈方法。沖洗后,通常在50-150℃的環(huán)境中,較佳的是在60-100℃的環(huán)境中,進(jìn)行加熱干燥,時(shí)間通常在1-120分,較佳的是在3-60分,以得到干凈的液晶面板用的玻璃基板,如此即可使玻璃基板復(fù)原。
實(shí)施例以下,以一實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明,但此實(shí)施例并不用以限定本發(fā)明。此外,關(guān)于以下的各部份,以質(zhì)量比(part by weight)表示。
〔實(shí)施例1-8、比較例1-4〕表1中所記載的各部份(百分比表示)的各成分,在一升的燒杯中,在室溫下充分地?cái)嚢杓盎旌?,以制作出?shí)施例及比較例的洗凈劑。
表1中的代號(hào)說明如下A-1氫氧化鈉A-2四n-丁基銨氫氧化物A-3四乙基銨氫氧化物B-1甘油B-2二甘油B-3山梨糖醇C-1丙烯乙二醇C-2乙二醇C-3二乙二醇單甲醚實(shí)施例及比較例所得到的洗凈劑的評(píng)價(jià)方法如下所示,評(píng)價(jià)結(jié)果如表1所示。
1.配向膜剝離性在預(yù)先行程ITO膜(銦錫氧化膜)的玻璃基板(25×25mm,厚度為0.75mm)上,涂布聚亞胺樹脂。接著,在80℃進(jìn)行加熱黏附作業(yè),重復(fù)三次,即完成緊密黏附有半燒性的垂直配向聚亞胺膜(膜厚5μm)的玻璃基板實(shí)驗(yàn)片。實(shí)驗(yàn)片在洗凈劑(25℃)中,浸漬特定時(shí)間后,置于不銹鋼網(wǎng)上,以離子交換水噴淋(shower)洗凈一分鐘后,對(duì)另一面進(jìn)行同樣的沖洗步驟。然后,實(shí)驗(yàn)片在70℃循環(huán)風(fēng)干燥機(jī)中干燥十分鐘后,以顯微鏡觀察配向膜的剝離性,接著給予五種等級(jí)的評(píng)價(jià)。
<評(píng)價(jià)基準(zhǔn)>
5玻璃基板表面的配向膜全部剝離。
4玻璃基板表面的配向膜少部分殘留。
3玻璃基板表面的配向膜一部分殘留。
2玻璃基板表面的配向膜大部分殘留。
1玻璃基板表面的配向膜全部殘留。
2.光阻剝離性在三英吋的硅芯片上,涂布2μm厚的正光阻(可溶酚醛清漆樹脂)。接著,80℃進(jìn)行10分鐘的加熱黏附作業(yè),以完成實(shí)驗(yàn)片。實(shí)驗(yàn)片在洗凈劑中,溫度為50℃的環(huán)境下,浸漬特定時(shí)間后,以離子交換水噴淋(shower)洗凈一分鐘。然后,實(shí)驗(yàn)片在70℃的循環(huán)風(fēng)干燥機(jī)中干燥十分鐘后,以顯微鏡觀察光阻的剝離性,接著給予五種等級(jí)的評(píng)價(jià)。
<評(píng)價(jià)基準(zhǔn)>
5芯片表面的光阻全部剝離。
4芯片表面的光阻少部分殘留。
3芯片表面的光阻一部分殘留。
2芯片表面的光阻大部分殘留。
1芯片表面的光阻全部殘留。
3.腐蝕性緊密黏附有鋁薄膜(膜厚0.1μm)的玻璃基板實(shí)驗(yàn)片(25×25mm,厚度為0.75mm),在洗凈劑(40℃)中,浸漬特定時(shí)間后,測(cè)定鋁薄膜完全消失而使實(shí)驗(yàn)片變成透明的時(shí)間,作為其腐蝕時(shí)間。
4.腐蝕性-2鋁實(shí)驗(yàn)片(20×50mm,厚度為1mm)于洗凈劑中浸漬,在50℃的環(huán)境中放置一周后,以純水沖洗。接著,在90℃的環(huán)境中,干燥30分鐘后,測(cè)量其重量。腐蝕速度的算法以下式表示。
表1
本發(fā)明的洗凈劑,因?yàn)榫哂休^佳的鋁耐腐蝕性,且對(duì)油分、指紋、樹脂及微粒有良好的去除能力,所以不僅可用于液晶面板用玻璃基板、半導(dǎo)體用硅基板等電子部件的洗凈用途,也適用于電器部件、金屬部件及建材等的洗凈用途,可利用性相當(dāng)高。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上,然其并非用以限定本發(fā)明,任何熟習(xí)此技藝者,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),當(dāng)可作些許更動(dòng)與潤(rùn)飾,因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視后附的申請(qǐng)專利范圍所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種堿性洗凈劑,其特征在于其包括一堿性成分(A);一多價(jià)醇類(B),不含氮原子且平均分子量在92~400的三~八價(jià)醇類;以及至少一醇類(C),選自不含氮原子且平均分子量在62~250的二價(jià)醇類(C1)及不含氮原子且平均分子量在32~500的一價(jià)醇類(C2)所組成的族群。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的堿性洗凈劑,其特征在于其中所述的堿性成分(A)為一般式(1)所表示的有機(jī)堿,式中R1為碳數(shù)1~24的烴基,R2、R3及R4每一個(gè)為氫原子、碳數(shù)1~24的烴基或一般式(2)所表示的基,R5為碳數(shù)2~4的烯烴基,p為1~6的整數(shù)。 -(R5O)p-H (2)
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的堿性洗凈劑,其特征在于其中所述的堿性成分(A)為烷基碳數(shù)為1或2的四烷基銨氫氧化物。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的堿性洗凈劑,其特征在于其中以該堿性成分(A)、該多價(jià)醇類(B)及該醇類(C)的總重量為基準(zhǔn),該堿性成分(A)為0.1~25重量%,該多價(jià)醇類(B)為1~25重量%,該醇類(C)為60~95重量%。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的堿性洗凈劑,其特征在于其更包括下列物質(zhì)中的至少一種界面活性劑(D)、含有酰胺的親水性溶劑(E)、抗銹劑、抗氧化劑、金屬離子螯合劑、以及水。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的堿性洗凈劑,其特征在于其中以該堿性洗凈劑的總重量為基準(zhǔn),水為2~30重量%。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的堿性洗凈劑,其特征在于在50℃時(shí),鋁的腐蝕速度在10mdd以下。
8.一種洗凈方法,適用于一電子部件、一電器部件或一鋁建材,其特征在于使用根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的堿性洗凈劑,以選自超音波洗凈、噴淋(shower)洗凈、噴灑(spray)洗凈、浸漬及浸漬搖動(dòng)中一種以上的方法進(jìn)行洗凈。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的洗凈方法,其特征在于其中所述的電子部件包括一玻璃基板或一硅基板。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的洗凈方法,其特征在于其中所述的玻璃基板或該硅基板為至少一部份使用鋁的基板。
11.一種電子部件、電器部件或鋁建材,其特征在于是以根據(jù)權(quán)利要求8所述的洗凈方法進(jìn)行洗凈、沖洗后,干燥而得。
全文摘要
本發(fā)明提出一種堿性洗凈劑,由堿性成分(A)、多價(jià)醇類(B)及醇類(C)所組成。其中,多價(jià)醇類(B)為不含氮原子且平均分子量在92~400的三~八價(jià)的醇類。醇類(C)為選自不含氮原子且平均分子量在62~250的二價(jià)醇類(C1)及不含氮原子且平均分子量在32~500的一價(jià)醇類(C2)所組成的族群中至少一醇類。
文檔編號(hào)C11D7/10GK1693439SQ20051006617
公開日2005年11月9日 申請(qǐng)日期2005年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月30日
發(fā)明者山田康博, 川口幸治 申請(qǐng)人:三洋化成工業(yè)株式會(huì)社