專(zhuān)利名稱(chēng)：一種快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種清潔裝置，特別涉及一種針對(duì)快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清
潔裝置。
背景技術(shù)：
快速熱處理機(jī)臺(tái)的探測(cè)頭和反射面板用于探測(cè)腔室內(nèi)晶圓表面的溫度，采用光感原理對(duì)晶圓表面進(jìn)行探測(cè)?？焖贌崽幚頇C(jī)臺(tái)進(jìn)行性能維護(hù)的時(shí)候，涉及對(duì)探針頭和反射面板的清洗，通常使用含50%異丙醇的清潔布對(duì)反射面板的表面順時(shí)針進(jìn)行擦拭。探測(cè)頭的位置處于反射面板的中間，由七個(gè)探測(cè)頭組成分別檢測(cè)晶圓的七個(gè)方位點(diǎn)，由于探測(cè)頭表面是鑲嵌在反射面板的表面，在擦拭反射面板表面的同時(shí)需要對(duì)探測(cè)頭進(jìn)行特別的擦拭， 因?yàn)樘綔y(cè)頭的潔凈與否關(guān)系到監(jiān)測(cè)溫度的準(zhǔn)確性。在進(jìn)行清洗的過(guò)程，使用力度需要適中，過(guò)重容易造成反射面板劃傷，過(guò)輕容易使反射面板表面清潔度不夠。探測(cè)頭的擦拭和反射面板是一樣的，在擦拭反射面板的同時(shí)也對(duì)探測(cè)頭進(jìn)行清洗。但是探測(cè)頭表面是水晶制成，容易存留污跡，所以在清洗過(guò)程中需要著重對(duì)待。另外，如果擦拭不均勻，容易使反射面板的表面造成污染，影響下次的溫度測(cè)試結(jié)
^ ο

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型是為解決反射面板表面以及探測(cè)頭采用清潔布手動(dòng)清洗引起力度把握不準(zhǔn)和擦拭不均勻的缺陷，其目的在于提出一種快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置， 反射面板由固定環(huán)固定在快速熱處理機(jī)臺(tái)上，該清潔裝置包括外盤(pán)與內(nèi)盤(pán)，該外盤(pán)與固定環(huán)匹配，該外盤(pán)通過(guò)外盤(pán)上的第一定位銷(xiāo)固定在固定環(huán)上；內(nèi)盤(pán)與反射面板匹配，內(nèi)盤(pán)的表面包裹清潔布，內(nèi)盤(pán)與外盤(pán)活動(dòng)連接，內(nèi)盤(pán)與外盤(pán)之間設(shè)有第二定位銷(xiāo)。優(yōu)選地，該清潔布設(shè)有孔洞，清潔頭穿過(guò)孔洞安置在該孔洞處，該清潔頭的位置與反射面板上分布的探測(cè)頭的位置對(duì)應(yīng)。優(yōu)選地，該清潔頭的大小規(guī)格比探測(cè)頭大。優(yōu)選地，清潔布和清潔頭的材料采用高分子吸水材料。優(yōu)選地，內(nèi)盤(pán)內(nèi)部的底盤(pán)上固定電機(jī)，該電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上安裝有第一齒輪，該內(nèi)盤(pán)內(nèi)部還包括齒輪組，該齒輪組的輸入端與第一齒輪銜接。優(yōu)選地，該齒輪組中的各個(gè)齒輪相互銜接，并且該齒輪組的輸出端固定連接桿的一端，該連接桿的另一端安裝清潔頭。優(yōu)選地，第一定位銷(xiāo)分布于外盤(pán)下端邊緣。 優(yōu)選地，該內(nèi)盤(pán)與外盤(pán)通過(guò)軌道和滾珠活動(dòng)連接。優(yōu)選地，遠(yuǎn)離反射面板的內(nèi)盤(pán)表面安裝有手柄，該手柄靠近內(nèi)盤(pán)的邊緣。根據(jù)該快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置，旋轉(zhuǎn)手柄帶動(dòng)內(nèi)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)使安裝在內(nèi)盤(pán)表面的清潔布對(duì)反射面板的表面進(jìn)行順時(shí)針擦拭，力度把握均勻。
3[0014]進(jìn)一步地，該清潔裝置的清潔布還安置清潔頭，該清潔頭的位置與反射面板上分布的探測(cè)頭對(duì)應(yīng)。發(fā)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)齒輪使清潔頭旋轉(zhuǎn)起來(lái)，充分擦拭探測(cè)頭的表面。

參照附圖閱讀了本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
以后，將會(huì)更清楚地了解本實(shí)用新型的各個(gè)方面。其中，圖Ia為快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖Ib為快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖Ic為快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置仰視結(jié)構(gòu)示意圖；圖加為使用快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置進(jìn)行性能維護(hù)前后的檢測(cè)時(shí)間對(duì)比表格；以及圖2b為使用快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置進(jìn)行性能維護(hù)前后的檢測(cè)成功率對(duì)比表格。
具體實(shí)施方式
下面參照附圖，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。在整個(gè)描述中，相同的附圖標(biāo)記表示相同的部件。本實(shí)用新型提供的快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置，該裝置可以分別對(duì)反射面板和探測(cè)頭進(jìn)行清潔工作。既可以旋轉(zhuǎn)手柄對(duì)反射面板的表面進(jìn)行順時(shí)針擦拭，同時(shí)可以由電機(jī)帶動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)清潔頭，使清潔頭充分擦拭探測(cè)頭的表面。解決了反射面板表面以及探測(cè)頭采用潔凈布手動(dòng)清洗引起力度把握不準(zhǔn)和擦拭不均勻的缺陷。該快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板由固定環(huán)固定在快速熱處理機(jī)臺(tái)上，圖Ia為快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖Ib為快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖Ic為快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置仰視結(jié)構(gòu)示意圖。參照?qǐng)Dla，圖Ib以及圖lc，該快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置100包括外盤(pán)101與內(nèi)盤(pán) 102，該外盤(pán)101與固定環(huán)匹配，該外盤(pán)101通過(guò)外盤(pán)101上的第一定位銷(xiāo)107固定在固定環(huán)上；內(nèi)盤(pán)102與反射面板匹配，內(nèi)盤(pán)102的表面包裹清潔布，內(nèi)盤(pán)102與外盤(pán)101活動(dòng)連接，內(nèi)盤(pán)102與外盤(pán)101之間設(shè)有第二定位銷(xiāo)108。第一定位銷(xiāo)107分布于外盤(pán)101下端邊緣。在本實(shí)施例中，該內(nèi)盤(pán)101與外盤(pán)102通過(guò)軌道110和滾珠111活動(dòng)連接。遠(yuǎn)離反射面板的內(nèi)盤(pán)101表面安裝有手柄103，該手柄103靠近內(nèi)盤(pán)101的邊緣。清潔布設(shè)有孔洞，清潔頭109穿過(guò)孔洞安置在該孔洞處，該清潔頭109的位置與反射面板上分布的探測(cè)頭的位置對(duì)應(yīng)，并且清潔頭109的大小規(guī)格比探測(cè)頭大，便于對(duì)探測(cè)頭的清潔。清潔布和清潔頭109的材料采用高分子吸水材料。清潔布與清潔頭109隨時(shí)可以更換，省時(shí)省力。在本實(shí)施例中，高分子吸水材料為棉質(zhì)材料。內(nèi)盤(pán)102內(nèi)部的底盤(pán)上固定電機(jī)104，該電機(jī)104的轉(zhuǎn)軸112上安裝有第一齒輪 105，內(nèi)盤(pán)102內(nèi)部還包括齒輪組106，該齒輪組106的輸入端與第一齒輪105銜接。齒輪組106中的各個(gè)齒輪互相銜接，并且該齒輪組106的輸出端固定連接桿113的一端，，該連接桿113的另一端安裝清潔頭109。[0027]快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置100的第一定位銷(xiāo)107可以將外盤(pán)101固定在腔室中，內(nèi)盤(pán)102與反射面板接觸，內(nèi)盤(pán)102可以通過(guò)操作手柄103使內(nèi)盤(pán)102沿軌道 110進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，內(nèi)盤(pán)102表面包裹的清潔布對(duì)整個(gè)反射面板進(jìn)行擦拭。當(dāng)需要對(duì)分布在反射面板的探測(cè)頭進(jìn)行局部專(zhuān)門(mén)擦拭時(shí)，可以通過(guò)內(nèi)盤(pán)102和外盤(pán)101的第二定位削108，鎖住兩盤(pán)，啟動(dòng)電機(jī)104，齒輪組106其中的一個(gè)齒輪與該第一齒輪105銜接，該齒輪組106的各個(gè)齒輪間相互銜接，在電機(jī)104的啟動(dòng)下，第一齒輪105圍繞轉(zhuǎn)軸112轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)整個(gè)齒輪組106運(yùn)作，使與齒輪組106的齒輪連接的連接桿109旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)連接桿109上的清潔頭109旋轉(zhuǎn)對(duì)探測(cè)頭進(jìn)行擦拭。使用快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置100時(shí)，采用清潔布和清潔頭109的同時(shí)需配合使用50%異丙醇。該快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置100既可以對(duì)反射面板的表面進(jìn)行力度均勻的擦拭，又可以局部對(duì)分布在反射面板表面的探測(cè)頭進(jìn)行專(zhuān)門(mén)清潔。對(duì)反射面板的表面進(jìn)行擦拭時(shí)，旋轉(zhuǎn)手柄103帶動(dòng)內(nèi)盤(pán)102轉(zhuǎn)動(dòng)使包裹在內(nèi)盤(pán)102表面的清潔布對(duì)反射面板的整個(gè)表面進(jìn)行擦拭，當(dāng)需要對(duì)探測(cè)頭進(jìn)行專(zhuān)門(mén)擦拭時(shí)，電機(jī)104帶動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)連接桿 113，使連接桿113 —端安裝的清潔頭109充分擦拭探測(cè)頭的表面，完成對(duì)探測(cè)頭進(jìn)行的特別擦拭。圖加為使用快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置進(jìn)行性能維護(hù)前后的檢測(cè)時(shí)間對(duì)比表格。參照?qǐng)D加，分別對(duì)四臺(tái)機(jī)臺(tái)進(jìn)行檢測(cè)，使用該快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置100進(jìn)行性能維護(hù)所需的時(shí)間更短，大大提高了工作效率。圖2b為使用快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置進(jìn)行性能維護(hù)前后的檢測(cè)成功率對(duì)比表格。參照?qǐng)D2b，從2009年8月至2009年12月分別對(duì)四臺(tái)機(jī)臺(tái)進(jìn)行檢測(cè)，只有使用了本實(shí)用新型的清潔裝置進(jìn)行性能維護(hù)的機(jī)臺(tái)成功率每月均達(dá)100%，而其它三臺(tái)機(jī)臺(tái)均沒(méi)有每月都實(shí)現(xiàn)成功率100%。使用了本實(shí)用新型的清潔裝置有利于性能維護(hù)。上文中，參照附圖描述了本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
。但是，本領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員能夠理解，在不偏離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，還可以對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作各種變更和替換。這些變更和替換都落在本實(shí)用新型權(quán)利要求書(shū)所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置，所述反射面板由固定環(huán)固定在所述快速熱處理機(jī)臺(tái)上，所述清潔裝置包括外盤(pán)與內(nèi)盤(pán)，其特征在于，所述外盤(pán)與固定環(huán)匹配，所述外盤(pán)通過(guò)外盤(pán)上的第一定位銷(xiāo)固定在固定環(huán)上；所述內(nèi)盤(pán)與反射面板匹配，所述內(nèi)盤(pán)的表面包裹清潔布，所述內(nèi)盤(pán)與所述外盤(pán)活動(dòng)連接，所述內(nèi)盤(pán)與所述外盤(pán)之間設(shè)有第二定位銷(xiāo)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置，其特征在于，所述清潔布設(shè)有孔洞，清潔頭穿過(guò)所述孔洞安置在所述孔洞處，所述清潔頭的位置與所述反射面板上分布的探測(cè)頭的位置對(duì)應(yīng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置，其特征在于，所述清潔頭的大小規(guī)格比所述探測(cè)頭大。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置，其特征在于，所述清潔布和所述清潔頭的材料采用高分子吸水材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置，其特征在于，所述內(nèi)盤(pán)內(nèi)部的底盤(pán)上固定電機(jī)，所述電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上安裝有第一齒輪，所述內(nèi)盤(pán)內(nèi)部還包括齒輪組，所述齒輪組的輸入端與所述第一齒輪銜接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置，其特征在于，所述齒輪組中的各個(gè)齒輪相互銜接，并且所述齒輪組的輸出端固定連接桿的一端，所述連接桿的另一端安裝清潔頭。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置，其特征在于，所述第一定位銷(xiāo)分布于外盤(pán)下端邊緣。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置，其特征在于，所述內(nèi)盤(pán)與所述外盤(pán)通過(guò)軌道和滾珠活動(dòng)連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置，其特征在于，遠(yuǎn)離反射面板的內(nèi)盤(pán)表面安裝有手柄，所述手柄靠近所述內(nèi)盤(pán)的邊緣。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供了一種快速熱處理機(jī)臺(tái)反射面板的清潔裝置，反射面板由固定環(huán)固定在快速熱處理機(jī)臺(tái)上，該清潔裝置包括外盤(pán)與內(nèi)盤(pán)，外盤(pán)與固定環(huán)匹配，外盤(pán)通過(guò)外盤(pán)上的第一定位銷(xiāo)固定在固定環(huán)上；內(nèi)盤(pán)與反射面板匹配，內(nèi)盤(pán)的表面包裹清潔布，內(nèi)盤(pán)與外盤(pán)活動(dòng)連接，內(nèi)盤(pán)與外盤(pán)之間設(shè)有第二定位銷(xiāo)。該清潔裝置可以分別對(duì)反射面板和分布在反射面板上的探測(cè)頭進(jìn)行清潔工作，清潔的力度均勻。
文檔編號(hào)B08B1/04GK201997505SQ20102026601
公開(kāi)日2011年10月5日 申請(qǐng)日期2010年7月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月21日
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