本發(fā)明涉及多線切割領(lǐng)域，具體涉及一種六導(dǎo)輪多線切割機。

背景技術(shù)：

多線切割是一種通過金屬絲的高速往復(fù)運動，把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進行研磨，將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。傳統(tǒng)的多線切割機的導(dǎo)輪有十幾個甚至更多，繞線方式比較復(fù)雜，每個工作循環(huán)周期的時間較長，每次替換的導(dǎo)輪個數(shù)多，經(jīng)濟成本也很高。另外，單主軸多線切割機所能傳遞的扭矩比較小，有一定的限制，不能切割要求比較高的工件。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明旨在提供一種六導(dǎo)輪多線切割機，采用六導(dǎo)輪對鋼絲進行繞線，繞線方式比較簡單，在完成功能的前提下，每個工作循環(huán)周期的時間大大的減少了，也一定程度上縮小了設(shè)備的時間成本。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

一種六導(dǎo)輪多線切割機，包括機架以及設(shè)于所述機架正面的工作線輥、工作臺和工作臺驅(qū)動裝置；還包括有換向輪、線輥一、輔輪一、調(diào)整輪一、張緊輪一、線輥二、張緊輪二、調(diào)整輪二、輔輪二；所述工作線輥包括三根呈三角形排列的工作主軸，所述換向輪設(shè)于所述工作線輥的一側(cè)；所述線輥一、輔輪一、調(diào)整輪一、張緊輪一、線輥二、張緊輪二、調(diào)整輪二、輔輪二設(shè)于所述機架的另一側(cè)，所述線輥一、輔輪一、調(diào)整輪一和張緊輪一從下往上依次設(shè)置，所述張緊輪二、調(diào)整輪二、輔輪二、線輥二設(shè)于線輥一、輔輪一、調(diào)整輪一和張緊輪一的一側(cè)，并且從上往下依次設(shè)置。

進一步地，所述張緊輪一和張緊輪二分別通過張緊輪一伺服電機和張緊輪二伺服電機驅(qū)動轉(zhuǎn)動。

進一步地，所述張緊輪一和張緊輪二的一側(cè)分別設(shè)有尼龍限位輪。

進一步地，所述線輥一和線輥二分別由線輥一伺服電機和線輥二伺服電機驅(qū)動轉(zhuǎn)動。

進一步地，三根工作主軸分別通過一工作線輥伺服電機驅(qū)動轉(zhuǎn)動。作為另一種實施方式，其中兩根工作主軸分別通過一工作線輥伺服電機驅(qū)動轉(zhuǎn)動，一傳送帶分別繞過三根工作主軸，從而由工作線輥伺服電機驅(qū)動的工作主軸帶動另外一根工作主軸轉(zhuǎn)動。

進一步地，所述機架的頂部設(shè)有工作風(fēng)扇。

進一步地，固定所述線輥二和線輥一的一側(cè)機架設(shè)有風(fēng)琴式折疊保護罩，所述線輥二和線輥一的下方分別設(shè)有一傾斜收集板。

進一步地，所述六導(dǎo)輪多線切割機還包括有混合液流出裝置，所述混合液流出裝置設(shè)于三個工作主軸之間，包括至少兩根帶孔的空軸和篩板，所述空軸設(shè)于所述篩板內(nèi)，并連通于切割液和氯碳化硅的混合液的供給裝置。

本發(fā)明的有益效果在于：

1、本發(fā)明只采用了六個導(dǎo)輪(兩個調(diào)整輪、兩個輔輪和兩個張緊輪)就實現(xiàn)了對鋼絲進行繞線和完成了放線、收線和換向的所有功能，繞線方式比較簡單。在完成功能的前提下，每個工作循環(huán)周期的時間大大的減少了，也一定程度上縮小了設(shè)備的時間成本。

導(dǎo)輪屬于耗材，為保證設(shè)備的工作精度，每工作60小時，需將設(shè)備的全部導(dǎo)輪進行一次替換。由于本發(fā)明每次只需換下六個導(dǎo)輪，大大的節(jié)約了經(jīng)濟成本。

2、本發(fā)明中采用三主軸的結(jié)構(gòu)，并且三根主軸有較好的動作一致性，這樣可以傳遞更大的扭矩，可以加工更薄、要求更高的工件。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例的正面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實施例的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明實施例的另一個側(cè)面的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明實施例的切割液和氯碳化硅的混合液流出裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明實施例中切割液和氯碳化硅的混合液流出裝置的位置示意圖；

具體實施方式

以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步的描述，需要說明的是，本實施例以本技術(shù)方案為前提，給出了詳細的實施方式和具體的操作過程，但本發(fā)明的保護范圍并不限于本實施例。

如圖1所示，一種六導(dǎo)輪多線切割機，包括機架以及設(shè)于所述機架正面的工作線輥1、工作臺2和工作臺驅(qū)動裝置3。所述工作臺驅(qū)動裝置3驅(qū)動所述工作臺2豎直的向上或者向下運動。所述工作臺驅(qū)動裝置主要由伺服電機、滾珠絲杠副和減速裝置組成，伺服電機通過減速裝置驅(qū)動滾珠絲杠副運動，由滾珠絲杠副帶動工作臺作直線運動。當切割工件時，將工件放置在工作臺上，工作臺將帶動工件完成豎直方向的向上運動至工作線輥處，利用鋼絲對工件進行切割，當切割工作完成后，工作臺會帶動工件完成豎直方向的向下運動，進而完成卸料工作。

所述六導(dǎo)輪多線切割機還包括有換向輪4、線輥一7、輔輪一9、調(diào)整輪一10、張緊輪一11、線輥二16、張緊輪二12、調(diào)整輪二14、輔輪二15；所述工作線輥1包括三根呈三角形排列的工作主軸，所述換向輪4設(shè)于所述工作線輥1的一側(cè)；所述線輥一7、輔輪一9、調(diào)整輪一10、張緊輪一11、線輥二16、張緊輪二12、調(diào)整輪二14、輔輪二15設(shè)于所述機架的另一側(cè)，所述線輥一7、輔輪一9、調(diào)整輪一10和張緊輪一11從下往上依次設(shè)置，所述張緊輪二12、調(diào)整輪二14、輔輪二15、線輥二16與線輥一7、輔輪一9、調(diào)整輪一10和張緊輪一11并排設(shè)置，并且從上往下依次設(shè)置。

當開始工作時，線輥二16為空線輥，作為收線輥；線輥一7為滿線輥，作為放線棍。鋼絲的纏繞方式是鋼絲通過線輥一7，依次經(jīng)過輔輪一9，調(diào)整輪一10、張緊輪一11、換向輪4，然后通過三個工作輥1后依次經(jīng)過換向輪4、張緊輪二12、調(diào)整輪二14、輔輪二15、線輥二16。每次工作循環(huán)周期是放線200米，收線199米，這樣，每次工作循環(huán)后線輥二16上會累加1米的鋼線。當工作一段時間后，線輥二16上累積了足夠的鋼線(至少200米)，這樣，線輥二16和線輥一7的功能可以互換，也就是線輥一7充當收線輥，而線輥二16充當放線輥。在工作線輥的三根主軸的轉(zhuǎn)動下，纏繞在三根主軸上的鋼絲完成對工件的切割作業(yè)，通過更改鋼絲與鋼絲的間距可以完成不同厚度要求的切割工作。調(diào)整輪一和調(diào)整輪二保證鋼絲是垂直的，輔輪一9和輔輪二15的設(shè)置則使得當通過其間的鋼絲偏移時，將會對其進行自調(diào)整以保證鋼線始終是豎直的。張緊輪一和張緊輪二可以保持鋼絲在不松不緊、適合工作的狀態(tài)。

進一步地，所述張緊輪一11和張緊輪二12分別通過張緊輪一伺服電機27和張緊輪二伺服電機19驅(qū)動轉(zhuǎn)動。通過張緊輪一伺服電機27和張緊輪二伺服電機19驅(qū)動張緊輪一11和張緊輪二12轉(zhuǎn)動實現(xiàn)調(diào)整鋼絲的松緊。

進一步地，所述張緊輪一11和張緊輪二12的一側(cè)分別設(shè)有尼龍限位輪13。所述尼龍限位輪可以防止張緊輪在跳線的情況下大幅度擺動并造成危險。

進一步地，所述線輥一7和線輥二16分別由線輥一伺服電機21和線輥二伺服電機18驅(qū)動轉(zhuǎn)動。線輥一伺服電機21和線輥二伺服電機18驅(qū)動線輥一7和線輥二16轉(zhuǎn)動以實現(xiàn)收線或放線。

進一步地，三根工作主軸分別通過一工作線輥伺服電機20驅(qū)動轉(zhuǎn)動。作為另一種實施方式，其中兩根工作主軸分別通過一工作線輥伺服電機驅(qū)動轉(zhuǎn)動，并通過一v帶帶動另外一根工作主軸轉(zhuǎn)動。

通過采用三主軸的切割機構(gòu)，每個主軸分別由一個伺服電機驅(qū)動，或者通過兩個伺服電機驅(qū)動其中兩個工作主軸并通過傳送帶帶動另一個工作主軸，則可以實現(xiàn)三根主軸有很好的動作一致性，這樣可以傳遞很大的扭矩，可以加工更薄、要求更高的工件。尤其是采用三個伺服電機分別驅(qū)動一個工作主軸時，并不需要皮帶傳遞扭矩，這樣又在一定程度上節(jié)約了成本。

進一步地，所述機架的頂部設(shè)有工作風(fēng)扇5。所述工作風(fēng)扇將會對整個切割機完成進一步散熱，以保證機器可以正常工作

進一步地，固定所述線輥二16和線輥一7的一側(cè)機架分別有一個風(fēng)琴式折疊保護罩8，所述線輥二16和線輥一7的下方均設(shè)有一傾斜收集板6。所述傾斜收集板6是靠伺服電機通過同步帶以及滾珠絲杠副帶動的，分別與所對應(yīng)的線輥二和線輥一的動作保持一致。如圖3所示，傾斜收集板伺服電機17、滾珠絲杠螺母副24和傾斜收集板伺服電機23、滾珠絲杠螺母副22分別對應(yīng)所述線輥二16和線輥一7的下方的傾斜收集板6。

鋼絲加工零件后，會有一部分碎屑附著在鋼絲上，而所述風(fēng)琴式折疊保護罩展開時可以收集鋼絲隨著線輥轉(zhuǎn)動過程中甩下的碎屑，，而這些碎屑最終會掉落在線輥一和線輥二下方的傾斜收集板6上，傾斜收集板是靠伺服電機通過同步帶以及滾珠絲杠副帶動的，和線輥的動作保持一致，而碎屑最終掉落在下方的收集裝置(圖中未示)。

進一步地，所述六導(dǎo)輪多線切割機還包括有混合液流出裝置27，所述混合液流出裝置27設(shè)于三個工作主軸之間，如圖5所示。如圖4所示，所述混合液流出裝置包括至少兩根帶孔的空軸26和篩板25，所述空軸26設(shè)于所述篩板25內(nèi)，并連通于切割液和氯碳化硅的混合液的供給裝置。切割液和氯碳化硅的混合液會從兩根帶孔的空軸26流出，經(jīng)過篩板25之后，澆在加工中的工件表面，一方面有助于帶走因線切割動作產(chǎn)生的大量熱量；另一方面，其中的氯碳化硅有助于鋼絲對工件的切割。其中，混合液是按一定比例進行混合，并通過攪拌裝置對其進行攪拌以保證氯碳化硅始終懸浮于切割液中。

每個伺服電機都有進油管和出油管，其中的潤滑液一方面可以帶走伺服電機工作過程中產(chǎn)生的大量熱量；另一方面也起到一定的潤滑作用，而潤滑液將會進入冷卻裝置，冷卻后的潤滑油將會被循環(huán)利用。這樣，一方面節(jié)約了成本，同時也可以在一定程度上減少了對環(huán)境的污染。

皮帶和導(dǎo)輪均屬于耗材，每工作60小時，就必須完成一次全部導(dǎo)輪的換新。本發(fā)明僅采用六個導(dǎo)輪，和傳統(tǒng)多線切割機采用的十幾個甚至更多的導(dǎo)輪相比，大大節(jié)約了成本，而且繞線距離短，也大大節(jié)約了每個工作周期的時間成本。

對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，可以根據(jù)以上的技術(shù)方案和構(gòu)思，作出各種相應(yīng)的改變和變形，而所有的這些改變和變形都應(yīng)該包括在本發(fā)明權(quán)利要求的保護范圍之內(nèi)。