1.一種N×N通道的MEMS光開關(guān)模塊，包括MEMS芯片和N芯準(zhǔn)直器，N芯準(zhǔn)直器含有N根光纖的陣列和相配合的N個透鏡的陣列，所述N為整數(shù)，取值范圍為2≤N≤16；其特征在于：
兩個相同的MEMS芯片和兩個相同的N芯準(zhǔn)直器安裝于同一基板(6)上，處于相同的高度；所述MEMS芯片含有N個微型反射鏡片，N個鏡片在同一平面上排布為陣列；MEMS芯片N個鏡片的陣列與N芯準(zhǔn)直器N根光纖的陣列相配合；
所述兩個N芯準(zhǔn)直器互相平行，其一為第一N芯準(zhǔn)直器(5)，其N根光纖為輸入光纖(51)，配合輸入光纖(51)的N個透鏡排布為平面矩陣，該平面與基板(6)垂直；另一為第二N芯準(zhǔn)直器(4)，其N根光纖為輸出光纖(41)，配合輸出光纖(41)的N個透鏡排布為平面矩陣，該平面與基板(6)垂直，所述兩個N芯準(zhǔn)直器(5、6)的透鏡平面相互平行；
所述兩個MEMS芯片的鏡片安裝平面垂直于基板(6)并且相互呈90°夾角，分別為第一MEMS芯片(2)和第二MEMS芯片(3)；第一N芯準(zhǔn)直器(5)的透鏡矩陣平面與第一MEMS芯片(2)的鏡片安裝平面相對，二者的交角為45°角，每個透鏡與第一MEMS芯片(2)的一個鏡片正相對；第二MEMS芯片(3)的鏡片安裝平面與第二N芯準(zhǔn)直器(4的透鏡矩陣平面相對，第二N芯準(zhǔn)直器(3)接收第二MEMS芯片(3)的鏡片反射的光束，第二N芯準(zhǔn)直器(4)的透鏡矩陣平面與第二MEMS芯片(3)的鏡片安裝平面間交角為45°。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的N×N通道的MEMS光開關(guān)模塊，其特征在于：
所述的第一、第二MEMS芯片(2、3)的鏡片安裝平面夾角、第一MEMS芯片(2)的鏡片安裝平面與第一N芯準(zhǔn)直器(5)的透鏡矩陣平面之間的交角以及第二MEMS芯片(3)的鏡片安裝平面與第二N芯準(zhǔn)直器(4)的透鏡矩陣平面之間的交角誤差小于等于±0.1°。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的N×N通道的MEMS光開關(guān)模塊，其特征在于：
盒體(1)扣在基板(6)上包容安裝于基板(6)上的第一、第二MEMS芯片(2、3)和第一、第二N芯準(zhǔn)直器(5、4)，盒體(1)與基板(6)固定連接，盒體壁上有輸入光纖(51)和輸出光纖(41)的過孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的N×N通道的MEMS光開關(guān)模塊，其特征在于：
所述第一MEMS芯片(2)和第二MEMS芯片(3)各固定于一個芯片基座(23)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的N×N通道的MEMS光開關(guān)模塊，其特征在于：
所述芯片基座(23)為可與標(biāo)準(zhǔn)電路板直接相連接的無引腳陶瓷型基座。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的N×N通道的MEMS光開關(guān)模塊，其特征在于：
所述芯片基座(23)連接轉(zhuǎn)接電路板(22)，MEMS芯片轉(zhuǎn)接件(21)將轉(zhuǎn)接電路板轉(zhuǎn)接固定于基板基座(61)，基板基座(61)固定安裝于基板(6)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的N×N通道的MEMS光開關(guān)模塊，其特征在于：
所述轉(zhuǎn)接電路板(22)為柔性電路板，MEMS芯片輸出的電信號經(jīng)轉(zhuǎn)接電路板(22)引出。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的N×N通道的MEMS光開關(guān)模塊，其特征在于：
所述第一N芯準(zhǔn)直器(5)和第二N芯準(zhǔn)直器(4)各固定于一個準(zhǔn)直器基座，準(zhǔn)直器基座經(jīng)基板基座(61)固定安裝于基板(6)。