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一種N×N通道的MEMS光開關模塊的制作方法

文檔序號:12120546閱讀:來源:國知局
技術總結
本發(fā)明為一種N×N通道的MEMS光開關模塊,兩個相同的MEMS芯片和兩個相同的N芯準直器安裝于同一基板上高度相同。兩個N芯準直器的透鏡平面與基板垂直且相互平行。兩個MEMS芯片的鏡片安裝平面垂直于基板相互呈90°,分別與兩個N芯準直器的透鏡矩陣平面成45°相對。第一N芯準直器的某根光纖導入的輸入光到達與之相對的第一MEMS芯片的鏡片被反射,到達第二MEMS芯片的某個鏡片再被反射,進入第二N芯準直器的某個透鏡,并由輸出光纖輸出??刂苾蓚€MEMS芯片的鏡片,改變光的行進方向,實現(xiàn)全光路切換。輸入輸出光纖位于MEMS芯片同一側,方便使用;通道數(shù)多,且可同時進行光路切換,響應快,插損低、穩(wěn)定性好,結構緊湊,體積小,重量輕。

技術研發(fā)人員:張策;周劍超;李流超;黃涌;李云燕;鄭安貴;唐炳促;余志強
受保護的技術使用者:中國電子科技集團公司第三十四研究所;桂林大為通信技術有限公司;桂林信通科技有限公司
文檔號碼:201611170211
技術研發(fā)日:2016.12.16
技術公布日:2017.03.15

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