本發(fā)明涉及基片處理系統(tǒng)、基片處理裝置和可視化方法。

背景技術(shù)：

1、在專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了氣流的可視化法，其中，在要可視化的氣流中混入利用該氣流而移動(dòng)的示蹤器(tracer)，以使包含特定的可見(jiàn)光區(qū)域的波長(zhǎng)的光束狀的激光反復(fù)掃描的方式照射到所述氣流，使此時(shí)產(chǎn)生的散射光通過(guò)僅在所述激光的振蕩波長(zhǎng)區(qū)域具有相對(duì)高的透射率的光學(xué)濾波器而識(shí)別該散射光。

2、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

3、專利文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)平7-35764號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題

2、本發(fā)明提供能夠容易地使基片處理裝置內(nèi)的流體的流動(dòng)的分布可視化的系統(tǒng)。

3、用于解決技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案

4、本發(fā)明的一個(gè)方面的基片處理系統(tǒng)包括：基片處理裝置，其具有收納基片的收納空間；朝向收納空間的攝像機(jī)；圖案，其被設(shè)置成在攝像機(jī)的視野內(nèi)展現(xiàn)，能夠經(jīng)由收納空間被攝像機(jī)拍攝；和映像生成部，其基于攝像機(jī)拍攝到的圖案的圖像的變化，生成表示收納空間中的流體的流動(dòng)的分布的映像數(shù)據(jù)。

5、發(fā)明效果

6、根據(jù)本發(fā)明，可提供能夠容易地使基片處理裝置內(nèi)的流體的流動(dòng)的分布可視化的系統(tǒng)。

技術(shù)特征：

1.一種基片處理系統(tǒng)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

7.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

8.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

11.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

13.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

14.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

16.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

18.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

20.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

21.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基片處理系統(tǒng)，其特征在于：

22.一種基片處理裝置，其特征在于，包括：

23.一種可視化方法，其特征在于：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供能夠容易地使基片處理裝置內(nèi)的流體的流動(dòng)的分布可視化的系統(tǒng)?；幚硐到y(tǒng)(1)包括：基片處理裝置(50)，其具有收納基片(W)的收納空間(A1)；朝向收納空間(A1)的攝像機(jī)(81)；圖案(82)，其被設(shè)置成在攝像機(jī)(81)的視野內(nèi)展現(xiàn)，能夠經(jīng)由收納空間(A1)被攝像機(jī)(81)拍攝；和映像生成部(211)，其基于攝像機(jī)(81)拍攝到的圖案(82)的圖像的變化，生成表示收納空間(A1)中的流體的流動(dòng)的分布的映像數(shù)據(jù)。

技術(shù)研發(fā)人員：宮窪祐允
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/19